下载机器人以及包括机器人的基板运送系统的技术资料

文档序号:34944125

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本发明提供一种机器人。机器人(100)包括基座(1)、臂(3)和手(8),所述基座(1)具有多个侧部,所述臂(3)可旋转地连接在基座(1),所述手(8)连接在臂(3)。臂(3)与基座(1)的连接部分从俯视来看最接近于第一侧部(11a)配置着...
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