【技术实现步骤摘要】
一种三点动平衡检测定位系统
[0001]本专利技术涉及晶体炉生产设备
，尤其涉及检测晶体炉的上驱动动平衡
技术介绍
[0002]晶体炉上驱动的旋转速度一般为0～30转/分钟。一旦出现不平衡将，将导致副室晃动，为了提升产能副室长度可达到7米以上，因此在端部轻微的晃动，便会给终端带来明显的晃动，增加长晶难度，并且长期的晃动会加速副室和锁紧环之间密封件的老化，导致真空度下降，甚至导致拉晶过程中晶棒坠落，坩埚破碎漏硅，损坏热场，造成人员伤害，且晶棒晃动会影响晶体的品质。因此需要确保上驱动的动平衡，符合设计要求。
[0003]目前现有的动平衡检测机构大部分针对的检测对象为轮胎、风扇，电机，曲轴，联轴器，传动轴、主轴、水泵叶轮、刀具、电动机和汽轮机的转子等,较少有针对大型晶体炉特性而做出的独有的动平衡检测系统。而如果套用如检测转子等现有的动平衡检测机构用于检测晶体炉，由于适配性较低，则造成整个检测机构结构复杂且对操作人员素质要求高，且操作人员的技术水平对调试的结果影响大，实用性欠缺。
技术实现思路
>[0004]专利技本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种三点动平衡检测定位系统，用以对晶体炉上驱动的动平衡进行检测定位，其特征在于：包括检测平台及数据处理模块；所述检测平台包括用于承载上驱动的圆形安装板、自圆形安装板向上延伸的三个接近开关支撑杆、位于接近开关支撑杆上的接近开关、位于圆形安装板上的上驱动定位扣、支撑圆形安装板的三个固定底座、位于三个固定底座及圆形安装板之间的称重传感器；所述三个接近开关支撑杆在圆周上以相互呈120
°
角、与圆心距离相同的均匀设置，每个称重传感器位于对应一个接近开关支撑杆的正下方；所述三个接近开关分别为第一接近开关、第二接近开关、第三接近开关；上驱动定位扣用以将晶体炉上驱动定心的安装固定于圆形安装板上，使每个接近开关分别对应位于底部的金属感应座正下方；多功能圆形安装板上外缘一周设有角度的刻度线；转动晶体炉上驱动时，当金属感应座首次触发第一接近开关时，数据处理模块自动进入计算，获知每一个称重传感器获得的当前重量x1、x2、x3，当进行多圈旋转之后可获知在t1、t2、t3秒时三个称重传感器获取数值最小，且t1、t2、t3三个时间之间差值为a/3秒，a为旋转一圈的时间；设第一接触开关为原点，因此当x1重量为最小时，通过t1...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴春生，王程平，王维川，罗汉昌，姜宏伟，
申请(专利权)人：南京晶能半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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