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本发明公开了一种三点动平衡检测定位系统，用以对晶体炉上驱动的动平衡进行检测定位，包括检测平台及数据处理模块；所述检测平台包括三个接近开关和三个称重传感器，通过三点检测动平衡，精确度高，容易调整。数据处理模块通过接近开关根据原点和转速等数据可...
该专利属于南京晶能半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京晶能半导体科技有限公司授权不得商用。

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