用于固体化合物供应的钢瓶结构制造技术

本发明专利技术公开了一种用于固体化合物供应的钢瓶结构，包括瓶体和托盘。瓶体内形成有容置空间，所述瓶体上开设有入气口和出气口；至少两个托盘堆叠设置于所述容置空间内以形成一流体通道，相邻所述托盘之间形成有子流体通道，所述流体通道至少包括一子流体通道，所述流体通道的两端分别与所述入气口和出气口相连通，所述子流体通道在所述容置空间内横向分布。本发明专利技术的用于固体化合物供应的钢瓶结构，结构简单，且气流横向迂回运动，稳定性高，不会产生涡流，提高了气流携带固体化合物的蒸汽压及稳定性，减少了particle(颗粒度)问题。减少了particle(颗粒度)问题。减少了particle(颗粒度)问题。

【技术实现步骤摘要】
用于固体化合物供应的钢瓶结构


[0001]本专利技术是关于固体化合物供应容器
，特别是关于一种用于固体化合物供应的钢瓶结构。

技术介绍

[0002]固体化合物例如MO源为高纯金属有机化合物，或叫化合物半导体微结构材料，是先进的金属有机化学气相沉积(MOCVD)、分子束外延(MBE)，原子层沉积(ALD)等技术生长半导体微结构材料的支撑材料。
[0003]现有技术中用于产生固体化合物蒸汽的装置，其内通常分布有较复杂的用于输送载气及供气体流通的管道，制造成本高；且该管道使得装置内的气体呈现从底部至顶部或从顶部至底部的垂直纵向流动，该气体的纵向流动使得气流分布不稳定，载料量变化较大，同时易产生空气涡流，带走装置内的小颗粒，引发particle(颗粒度)问题。
[0004]公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在增加对本专利技术的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种用于固体化合物供应的钢瓶结构，其结构简单，且气流横向运动，稳定性高，不会产生涡流，提高了气流携带固体化合物的蒸汽压及稳定性，减少了particle(颗粒度)问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术的实施例提供了一种用于固体化合物供应的钢瓶结构，包括：
[0007]瓶体，其内形成有容置空间，所述瓶体上开设有入气口和出气口；
[0008]至少两个托盘，所述托盘堆叠设置于所述容置空间内以形成一流体通道，相邻所述托盘之间形成有子流体通道，所述流体通道至少包括一子流体通道，所述流体通道的两端分别与所述入气口和出气口相连通，所述子流体通道在所述容置空间内横向分布。
[0009]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述钢瓶结构包括两个托盘，两个托盘堆叠设置以形成一个子流体通道，所述子流体通道的两端分别与所述入气口和出气口相连通。
[0010]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述钢瓶结构包括至少三个托盘，至少三个托盘堆叠设置以形成至少两个相串联的子流体通道。
[0011]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述瓶体内形成有多个容置空间，每个所述容置空间内均形成有所述流体通道，多个所述流体通道之间串联设置，第一个流体通道与所述入气口相连通，最后一个流体通道与所述出气口相连通。
[0012]在本专利技术的一个或多个实施方式中，多个所述容置空间在水平方向上并列形成于所述瓶体内。
[0013]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述钢瓶结构还包括碰撞结构，所述碰撞结构具有入口端和出口端，所述入口端与所述流体通道直接或间接相连通，所述出口端与所
述出气口相连通，所述入口端和所述出口端之间形成有弯曲设置气体流道。
[0014]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述碰撞结构的入口端设置有滤网结构。
[0015]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述气体流道内形成有多个间隔设置的挡板，每个所述挡板上均开设有通气口，相邻所述挡板的通气口在载气流动方向上不重叠或仅部分重叠设置。
[0016]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述碰撞结构包括盘管，所述盘管具有多个折弯部，所述盘管内形成有弯曲设置的所述气体流道。
[0017]在本专利技术的一个或多个实施方式中，全部或部分所述托盘上表面和/或下表面上形成有若干用于引导气体流动的引流件。
[0018]在本专利技术的一个或多个实施方式中，多个所述引流件阵列分布于所述托盘表面，每个所述引流件均具有一定的成型深度。
[0019]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述托盘包括底板以及边界侧板，所述边界侧板的上端开设有轴向对称的开口；
[0020]每个所述托盘的底板均覆盖在相邻所述托盘的边界侧板上方，以围合形成所述子流体通道。
[0021]与现有技术相比，本专利技术实施方式的用于固体化合物供应的钢瓶结构，通过内部结构设置使得气流在横向上迂回运动，提高气流的稳定性，不会产生涡流，减少了particle(颗粒度)问题。
[0022]本专利技术实施方式的用于固体化合物供应的钢瓶结构，通过在钢瓶内部划分多个串联的容置空间，可以增加流体通道的长度，以进一步提高气流携带固体化合物的蒸汽压及稳定性。
[0023]本专利技术实施方式的用于固体化合物供应的钢瓶结构，通过在出气口处设置碰撞结构，可以使得带起固体化合物固体颗粒的气体在经过碰撞结构后，产生一定的碰撞摩擦，去除气体中的固体化合物固体颗粒，进一步消除particle(颗粒度)问题。
[0024]本专利技术实施方式的用于固体化合物供应的钢瓶结构，通过将碰撞结构设置为弯曲延伸的盘管结构，同时盘管结构具有多个折弯处，可以大大增加撞击机会以及增加加热时间，减少小颗粒。
附图说明
[0025]图1是本专利技术实施例1的用于固体化合物供应的钢瓶结构的示意图；
[0026]图2是本专利技术实施例2的用于固体化合物供应的钢瓶结构的示意图；
[0027]图3是本专利技术实施例2的用于固体化合物供应的钢瓶结构的内部示意图；
[0028]图4是本专利技术实施例2的用于固体化合物供应的钢瓶结构中托盘主视图；
[0029]图5是图4中A
‑
A剖视图。
[0030]图6是本专利技术实施例3的用于固体化合物供应的钢瓶结构的内部示意图；
[0031]图7是本专利技术实施例3的用于固体化合物供应的钢瓶结构中托盘主视图；
[0032]图8是图7中A
‑
A剖视图。
[0033]图9是本专利技术实施例4的用于固体化合物供应的钢瓶结构的内部示意图；
[0034]图10是本专利技术实施例4的用于固体化合物供应的钢瓶结构中托盘主视图；
[0035]图11是图10中A
‑
A剖视图。
[0036]图12是本专利技术实施例1或2或3或4的用于固体化合物供应的钢瓶结构中碰撞结构的示意图；
[0037]图13是本专利技术实施例5的用于固体化合物供应的钢瓶结构中碰撞结构的示意图；
[0038]图14是本专利技术实施例6的用于固体化合物供应的钢瓶结构中碰撞结构的示意图；
[0039]图15是本专利技术实施例1或2或3或4或5或6的用于固体化合物供应的钢瓶结构中碰撞结构的内部细节图。
[0040]图16是本专利技术实施例7的用于固体化合物供应的钢瓶结构的示意图。
具体实施方式
[0041]下面结合附图，对本专利技术的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本专利技术的保护范围并不受具体实施方式的限制。
[0042]除非另有其它明确表示，否则在整个说明书和权利要求书中，术语“包括”或其变换如“包含”或“包括有”等等将被理解为包括所陈述的元件或组成部分，而并未排除其它元件或其它组成部分。
[0043]如
技术介绍
所言，现有的钢瓶结构(汽化器)，其内载气的流动方向均为垂直方向(瓶体的轴线方向)，容易形成涡流，使得气流分布不本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于固体化合物供应的钢瓶结构，其特征在于，包括：瓶体，其内形成有容置空间，所述瓶体上开设有入气口和出气口；至少两个托盘，所述托盘堆叠设置于所述容置空间内以形成一流体通道，相邻所述托盘之间形成有子流体通道，所述流体通道至少包括一子流体通道，所述流体通道的两端分别与所述入气口和出气口相连通，所述子流体通道在所述容置空间内横向分布。2.如权利要求1所述的用于固体化合物供应的钢瓶结构，其特征在于，所述钢瓶结构包括两个托盘，两个托盘堆叠设置以形成一个子流体通道，所述子流体通道的两端分别与所述入气口和出气口相连通。3.如权利要求1所述的用于固体化合物供应的钢瓶结构，其特征在于，所述钢瓶结构包括至少三个托盘，至少三个托盘堆叠设置以形成至少两个相串联的子流体通道。4.如权利要求1所述的用于固体化合物供应的钢瓶结构，其特征在于，所述瓶体内形成有多个容置空间，每个所述容置空间内均形成有所述流体通道，多个所述流体通道之间串联设置，第一个流体通道与所述入气口相连通，最后一个流体通道与所述出气口相连通。5.如权利要求4所述的用于固体化合物供应的钢瓶结构，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：茅炳荣，袁磊，陈化冰，沈斌，杨敏，
申请(专利权)人：江苏南大光电材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：