本发明专利技术公开了一种超声波石英研磨装置及研磨工艺，其装置包括研磨块和超声波控制器，所述研磨块的内部设有安装腔，所述安装腔内至少设有一个超声波振子，所述超声波振子的上端设有与超声波控制器连接的导线，所述研磨块的底部设有浅槽。本发明专利技术与现有技术相比的优点在于：在超声波的震动下，研磨砂也会分散得更均匀，从而提到研磨质量；超声波振子使研磨块上附加以超声振动，使研磨块与工件间的研磨砂高频震动，提高研磨效率；研磨块的底部有盲槽，相对于传统平底的研磨块，盲槽不仅仅增大石英在研磨时的摩擦力，还可以留住研磨砂，减缓研磨砂流失，避免频繁添加研磨砂，减少研磨砂的损耗，提高研磨的效率。提高研磨的效率。提高研磨的效率。
【技术实现步骤摘要】
一种超声波石英研磨装置及研磨工艺
[0001]本专利技术涉及石英加工
，具体是指一种超声波石英研磨装置及研磨工艺。
技术介绍
[0002]石英研磨是为了改善石英表面粗糙度的目的，使石英工件表面的粗糙度可以达到半导体级的要求，传统的研磨方式是靠操作人员手工压住研磨块作来回往复运动，研磨砂也靠手工涂抹均匀，对操作人员研磨技巧有要求，力道不同，研磨效果不同。单纯的靠人力研磨劳动强度大，加工时间长。
技术实现思路
[0003]本专利技术要解决的技术问题是克服以上的技术缺陷，提供一种超声波石英研磨装置及研磨工艺。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术提供的技术方案为：一种超声波石英研磨装置，包括研磨块和超声波控制器，所述研磨块的内部设有安装腔，所述安装腔内至少设有一个超声波振子，所述超声波振子的上端设有与超声波控制器连接的导线，所述研磨块的底部设有浅槽。
[0005]进一步地，所述研磨块的上端设有防水接头，所述导线靠近研磨块的一端穿过防水接头并延伸至安装腔内。
[0006]进一步地，所述导线为防水弹簧软线。
[0007]进一步地，所述浅槽为十字型。
[0008]进一步地，所述研磨块由石英、硅或陶瓷制成。
[0009]进一步地，所述超声波控制器可用于控制超声波振子的振动时间。
[0010]一种超声波石英研磨装置的研磨工艺，具体包括以下步骤：
[0011]步骤一：固定好研磨工件，在工件上均匀铺上研磨砂；
[0012]步骤二：根据研磨工艺，通过超声波控制器设置好超声波频率并设置工作时间；
[0013]步骤三：将研磨块放置到工件上的研磨区域做往复移动。
[0014]本专利技术与现有技术相比的优点在于：1.在超声波的震动下，研磨砂也会分散得更均匀，从而提到研磨质量。2.超声波振子使研磨块上附加以超声振动，使研磨块与工件间的研磨砂高频震动，提高研磨效率。3.所述研磨块的底部有盲槽，相对于传统平底的研磨块，盲槽不仅仅增大石英在研磨时的摩擦力，还可以留住研磨砂，减缓研磨砂流失，避免频繁添加研磨砂，减少研磨砂的损耗，提高研磨的效率。
附图说明
[0015]图1是本专利技术一种超声波石英研磨装置研磨块和超声波控制器的配合结构示意图。
[0016]图2是本专利技术一种超声波石英研磨装置研磨块的内部结构示意图。
[0017]图3是本专利技术一种超声波石英研磨装置研磨块的底部结构示意图。
[0018]如图所示：1、研磨块，2、超声波控制器，3、安装腔，4、超声波振子，5、导线，6、浅槽，7、防水接头。
具体实施方式
[0019]下面结合附图对本专利技术做进一步的详细说明。
[0020]下面结合附图来进一步说明本专利技术的具体实施方式。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。
[0021]需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
[0022]为了使本专利技术的内容更容易被清楚地理解，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0023]结合附图1
‑
附图3，一种超声波石英研磨装置，包括研磨块1和超声波控制器2，所述研磨块1的内部设有安装腔3，所述安装腔3内至少设有一个超声波振子4，所述超声波振子4的上端设有与超声波控制器2连接的导线5，所述研磨块1的底部设有浅槽6。
[0024]所述研磨块1的上端设有防水接头7，所述导线5靠近研磨块1的一端穿过防水接头7并延伸至安装腔3内。
[0025]所述导线5为防水弹簧软线。
[0026]所述浅槽6为十字型。
[0027]所述研磨块1由石英、硅或陶瓷制成。
[0028]所述超声波控制器2可用于控制超声波振子4的振动时间。
[0029]一种超声波石英研磨装置的研磨工艺，具体包括以下步骤：
[0030]步骤一：固定好研磨工件，在工件上均匀铺上研磨砂；
[0031]步骤二：根据研磨工艺，通过超声波控制器2设置好超声波频率并设置工作时间；
[0032]步骤三：将研磨块1放置到工件上的研磨区域做往复移动。
[0033]本专利技术在具体实施时，首先固定好待研磨的工件，在工件上均匀铺上研磨砂，根据研磨工艺需求，设置好超声波频率，设置工作时间。然后将研磨块放置到工件上的研磨区域做往复移动。启动超声波振子，超声波振子使研磨块上附加以超声振动，使研磨块与工件间的研磨砂高频震动，在传统研磨加工运动和超声高频振动共同作用下，研磨砂不断滑擦、研磨石英工件表面，提高了研磨效率。在超声波的震动下，研磨砂也会分散得更均匀，从而提到研磨质量。
[0034]以上对本专利技术及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本专利技术的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本专利技术创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本专利技术的保护范围。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种超声波石英研磨装置，包括研磨块(1)和超声波控制器(2)，其特征在于，所述研磨块(1)的内部设有安装腔(3)，所述安装腔(3)内至少设有一个超声波振子(4)，所述超声波振子(4)的上端设有与超声波控制器(2)连接的导线(5)，所述研磨块(1)的底部设有浅槽(6)。2.根据权利要求1所述的一种超声波石英研磨装置，其特征在于，所述研磨块(1)的上端设有防水接头(7)，所述导线(5)靠近研磨块(1)的一端穿过防水接头(7)并延伸至安装腔(3)内。3.根据权利要求2所述的一种超声波石英研磨装置，其特征在于，所述导线(5)为防水弹簧软线。4.根据权利要求1所述的一种超声波石英研...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈海源，杨军，张月清，房玉林，
申请(专利权)人：江苏富乐德石英科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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