电子货架制造技术

本发明专利技术提供一种电子货架以及在制品管理系统，该电子货架包含框架，传感器和显示器。该框架具有多个容器，且每一容器用以容纳一晶片载具；传感器具有一射频辨识（ＲＦＩＤ）读取器的一天线，该天线结合于所述多个容器的其中一容器，读取该容器所容纳的一晶片载具的识别码；该显示器根据所读取的所述识别码以显示所述晶片载具的相关信息，其中该传感器及该显示器设置于该电子货架。通过本发明专利技术提供的电子货架，可以在个别的制造阶段中由制造设备处理、由推车或作业员搬运、堆放在仓库上、货架上或其它装置中，更加方便地找到所需要的每个晶片货批。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术有关于计算机技术，且特别有关于电子货架以及在制品管理系统 和制造程序的管理。
技术介绍
目前的半导体产品在设计上体积越来越小，其制造程序也变得越来越复杂，在十年前一般需要100个制造阶段，到如今约需要400个制造阶段。从一制造阶段至另一制造阶段中间用晶片载具来承运晶片，晶片载具例如晶片 传送盒(pod)或前开式密闭箱(front opened unified pod，简称FOUP)等。有些 晶片载具在进入下一制造阶段以前，可以堆放在仓库(stocker)中或货架(rack) 上。在这些载具中的晶片货批必需可以被识别，使得作业员、机械人、或例 如推车(trolley)等其它的运输工具可以从仓库或货架中取得所要的晶片货批 (wafer 1ot)以运送至下一制造阶段。在制造设备及仓库中的晶片货批可以从计 算机集成制造(computer integrated manufacturing ，简称CIM)系统査询得到， 但是CIM系统却无法准确地追踪那些由作业员、推车运送或置放于货架上的 晶片货批。在统计上，晶片厂中晶片在运输器具(例如推车及作业员)、货架、 设备及仓库中的比例分别为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子货架，包含：一框架，具有多个容器，且每一容器用以容纳一晶片载具；一传感器，具有一射频辨识读取器的一天线，且该天线结合于所述多个容器的其中一容器，用以读取该容器所容纳的一晶片载具的识别码；以及一显示器，根据所读 取的所述识别码以显示该晶片载具的相关信息，其中该传感器及该显示器设置于该电子货架。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：庄家和，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]