预测装置、预测方法以及程序制造方法及图纸

本发明专利技术构建一种反映了说明变量的变动与目的变量的变动的因果关系的回归模型。预测装置使用从生产设备获得的工艺数据来预测产物的特性值。此外，预测装置具备：工艺数据获取部，从存储从生产设备获得的工艺数据的存储装置读出所述工艺数据；以及预测模型生成部，生成基于因果关系信息对从生产设备获得的工艺数据的特征进行了学习的预测模型，其中，该因果关系信息对读出的工艺数据中所包括的预先决定的作为说明变量的第一工艺数据与作为目的变量的第二工艺数据或与该第二工艺数据相应的值的组合进行定义，预测模型生成部以根据说明变量的正负的变动方向来决定目的变量的正负的变动方向的方式生成预测模型。正负的变动方向的方式生成预测模型。正负的变动方向的方式生成预测模型。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】预测装置、预测方法以及程序


[0001]本公开涉及预测装置、预测方法以及程序。

技术介绍

[0002]以往，提出了一种在制造工艺中预测产物的质量或基于预测来进行动作的控制的技术。例如，提出了一种在制造工艺的制造中途预测产品的特性值，并基于该预测结果来计算后续工序的制造工艺的控制条件的预测系统(专利文献1)。本系统具备：数据库，储存按每个批次在制造工艺的工序中测定的数据和/或表示制造工艺的状态的数据；数式模型生成部，使用储存于数据库的数据来生成制造工艺的数式模型；产品特性预测部，对于制造中的批次，关于已处理的工序将实绩值输入数式模型，关于未处理工序将基于过去的批次而获得的代表值输入数式模型来预测产品的特性值；以及最优制造条件计算部，根据通过产品特性预测部得到的预测结果来计算未处理工序中的要控制的对象的工序的最优制造条件，该系统按每个规定的控制对象工序对制造中的批次实施通过产品特性预测部进行的预测和通过最优制造条件计算部进行的计算。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本专利第64774本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种预测装置，使用从生产设备获得的工艺数据来预测产物的特性值，所述预测装置具备：工艺数据获取部，从存储从所述生产设备获得的所述工艺数据的存储装置读出所述工艺数据；以及预测模型生成部，生成基于因果关系信息对从所述生产设备获得的所述工艺数据的特征进行了学习的预测模型，其中，所述因果关系信息对读出的所述工艺数据中所包括的预先决定的作为说明变量的第一工艺数据与作为目的变量的第二工艺数据或与该第二工艺数据相应的值的组合进行定义，所述预测模型生成部以根据所述说明变量的正负的变动方向来决定所述目的变量的正负的变动方向的方式生成所述预测模型。2.根据权利要求1所述的预测装置，其中，所述预测模型是第一时间点的输出至少依赖于该第一时间点的过去的第二时间点的输出的自回归模型。3.根据权利要求1或2所述的预测装置，其中，对于所述因果关系信息，使用危险与可操作性研究HAZOP、失效模式与影响分析FMEA、故障树分析法FTA、事件树分析法ETA或基于这些中的任一种的分析方法来生成所述工艺数据与所述特性值的因果关系。4.根据权利要求1～3中任一项所述的预测装置，其中，所述预测模型是包括多个预测式的分级结构，具有将通过第一预测式计算出的预测值包括在说明变量中的第二预测式。5.根据权利要求1～4中任一项所述的预测装置，其中，与所述第二工艺数据相应的值是通过缩分法对多个第二工艺数据进行采样而得到的值，所述预测模型生成部基于所述生产设备内的处理对象的停留时间，将所述生产设备中的所述第一工艺数据的获取定时的范围和与所述第二工艺数据相应的值的计算定时建立对应，生成所述预测模型。6.根据权利要求1～5中任一项所述的预测装置，其中，所述生产设备进行按每个规定的处理单位依次对处理对象进行处理的分批工序和之后连续地对所述处理对象进行处理的连续工序，所述预测模型生成部基于所述生产设备内的所述处理对象的停留时间，将所述分...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈本洋，高桥麻里奈，筱原修二，光吉俊二，灰塚真浩，小园英俊，三好史浩，
申请(专利权)人：株式会社大赛璐，
类型：发明
国别省市：