用于安装真空设备的升降装置及真空系统制造方法及图纸

本公开提供了一种用于安装真空设备的升降装置及真空系统，用于安装真空设备的升降装置包括：真空密封组件，用于与真空设备真空密封；升降组件，与真空密封组件连接，用于升降真空密封组件，以将真空密封组件与真空设备的真空窗口分离或配合。空窗口分离或配合。空窗口分离或配合。

【技术实现步骤摘要】
用于安装真空设备的升降装置及真空系统


[0001]本公开涉及真空设备
，特别涉及一种用于安装真空设备的升降装置及真空系统。

技术介绍

[0002]真空蒸镀是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料使之气化，从而使得镀膜材料在衬底表面凝聚成膜的技术。真空蒸镀是应用最广泛的气相沉积技术之一，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高等优点。蒸发源是真空蒸镀技术的核心，目前共混掺杂多种材料的膜层会采用多个蒸发源进行蒸镀。给蒸发源进行换料时，传统技术一般通过拆取蒸发源本身自带法兰，从而将蒸发源从镀膜腔上拆下更换镀膜材料或对蒸发源进行检修。而对于多个蒸发源需要换料时，每个蒸发源也需要分别拆除，过程繁琐，换料和检修困难。
[0003]另外，蒸发源上连接有许多线路和管路，拆卸放置不便，极易造成设备损坏。同时蒸发源的安装具有方向性，安装操作也十分繁琐，并且具有安装错误的风险，造成实验或生产效率低下。

技术实现思路

[0004]本公开提供了一种用于安装真空设备的升降装置，包括：真空密封组件，用于与真空设备真空密封；升降组件，与真空密本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于安装真空设备的升降装置，其特征在于，包括：真空密封组件，用于与所述真空设备真空密封；升降组件，与所述真空密封组件连接，用于升降所述真空密封组件，以将所述真空密封组件与所述真空设备的真空窗口分离或配合。2.根据权利要求1所述的用于安装真空设备的升降装置，其特征在于，所述升降组件包括：至少一个引导组件，与所述真空密封组件连接，用于引导所述真空密封组件的升降。3.根据权利要求2所述的用于安装真空设备的升降装置，其特征在于，所述引导组件包括：至少一个滑轨，至少一个滑块，所述滑块与所述真空密封组件固定连接，与所述滑轨滑动连接。4.根据权利要求3所述的用于安装真空设备的升降装置，其特征在于，所述滑块包括：导向轴承，滑动设置在所述滑轨上。5.根据权利要求3所述的用于安装真空设备的升降装置，其特征在于，还包括：至少一个立柱，用于支撑所述真空设备，所述至少一个滑轨沿立柱的竖直方向设置在所述至少一个立柱上。6.根据权利要求5所述的用于安装真空设备的升降装置，其特征在于，所述至少一个立柱包括：第一立柱，与所述真空设备连接，用于支撑所述真空设备；以及第二立柱，在与所述第一立柱相对的一侧与所述真空设备连接，用于支撑所述真空设备；所述升降组件包括：第一驱动装置，所述第一驱动装置的输出端与所述真空密封组件连接；以及第二驱动装置，所述第二驱动装置的输出端在与所述第一驱动装置相对的一侧与所述真空密封组件连接，其中，所述第一驱动装置和所述第二驱动装置的连线与所述第一立柱和所述第二立柱的连线垂直。7.根据权利要求1所述的用于安装真空...

【专利技术属性】
技术研发人员：高筱，李红伟，赵嘉峰，
申请(专利权)人：费勉仪器科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：