温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本公开提供了一种用于安装真空设备的升降装置及真空系统,用于安装真空设备的升降装置包括:真空密封组件,用于与真空设备真空密封;升降组件,与真空密封组件连接,用于升降真空密封组件,以将真空密封组件与真空设备的真空窗口分离或配合。空窗口分离或配合...该专利属于费勉仪器科技(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过费勉仪器科技(上海)有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本公开提供了一种用于安装真空设备的升降装置及真空系统,用于安装真空设备的升降装置包括:真空密封组件,用于与真空设备真空密封;升降组件,与真空密封组件连接,用于升降真空密封组件,以将真空密封组件与真空设备的真空窗口分离或配合。空窗口分离或配合...