本公开提供了一种支撑调节装置及角分辨光电子能谱分析系统，支撑调节装置包括：支撑架，包括底板、固定在底板上的支架；多个调节模块，安装在底板下方，调节模块用于在至少一个维度上对底板进行调节。角分辨光电子能谱分析系统包括：角分辨光电子能谱分析器以及支撑调节装置，用于支撑所述角分辨光电子能谱分析器。器。器。
【技术实现步骤摘要】
支撑调节装置及角分辨光电子能谱分析系统
[0001]本公开涉及仪器的支撑调节装置
，特别涉及一种支撑调节装置及角分辨光电子能谱分析系统。
技术介绍
[0002]支撑调节装置通常用于支承各种仪器、设备，例如，角分辨光电子能谱(Angle resolved photoemission spectroscopy,简称ARPES)。角分辨光电子能谱利用光电效应研究固体的电子结构。当一束高强度的单色光照射到样品上时，样品内的电子会吸收光子发生跃迁，当电子的能量大于表面势垒时，便有一定的几率逃逸出样品表面，发生光电效应，而这样的电子被称为光电子。
[0003]具有角度分辨能力的光电子能谱技术称为角分辨光电子能谱 (ARPES)。角分辨光电子能谱技术的重要因素包括：一是激发光电子的光源，二是探测光电子的能量分析器。电子能量分析器在光电子能谱技术中处于核心位置，它可以探测光电子的动能和出射角度。但是角分辨光电子能谱实验中必须保证样品表面的清洁，样品表面任何污染包括空气中气体分子的沉积都会导致光电子能谱不能正确反映材料本征的电子结构。所以光电子能谱实验中的样品必须处于高真空的环境中，以避免空气对样品表面的污染。而高真空也可以提高电子的平均自由程，有利于光电子顺利运动到电子探测器中。
[0004]因此，角分辨光电子能谱分析器需要与真空腔配合使用。由于角分辨光电子能谱分析器比较笨重，通常需要通过吊车将角分辨光电子能谱分析器与真空腔的窗口对接后再进行安装，并通过支撑装置支撑。
[0005]目前，角分辨光电子能谱分析器的支撑装置结构简陋、功能单一，且安装能量分析器的时候比较复杂，需要耗费大量的人力和物力，对分析器的安装和拆卸比较困难，影响分析器的拆装和后期仪器检修的效率。
技术实现思路
[0006]本公开提供了一种支撑调节装置，其特征在于，包括：支撑架，包括底板、固定在底板上的支架；多个调节模块，安装在底板下方，调节模块用于在至少一个维度上对底板进行调节。
[0007]在一些实施例中，调节模块包括：模块基座；移动块，设置在模块基座上；支撑柱，设置在移动块上，与底板连接，用于对底板进行支撑；一个或多个调节杆，安装在模块基座上，与移动块连接，用于在至少一个维度上对移动块进行调节，以通过支撑柱调节底板。
[0008]在一些实施例中，一个或多个调节杆包括：多个水平调节杆，用于在水平的横向和/或纵向上对移动块进行调节，以通过支撑柱调节底板。
[0009]在一些实施例中，支撑柱包括：螺杆，下螺母，套设在螺杆且位于底板下方，用于支撑底板。
[0010]在一些实施例中，支撑柱还包括：上螺母，套设在螺杆上且位于底板上方，用于将
螺杆与底板固定连接。
[0011]在一些实施例中，底板包括：回字型底板或中空半六边形底板。
[0012]在一些实施例中，多个调节模块包括设置在底板边、角处的多个调节模块。
[0013]在一些实施例中，多个调节模块包括：第一调节模块，设置在半六边形底板的长边的第一端；第二调节模块，设置在半六边形底板的长边的第二端；以及第三调节模块，设置在与长边相对的短边的中间位置。
[0014]在一些实施例中，支撑调节装置还包括：多个鱼眼接头，安装在支架上；以及多个L型连接块，与鱼眼接头连接。
[0015]在一些实施例中，支撑调节装置还包括：底座，多个调节模块固定设置在底座上；多个滑块，固定连接在底座下方；以及至少一个滑轨，多个滑块与至少一个滑轨滑动连接。
[0016]在一些实施例中，至少一个滑轨包括第一滑轨和第二滑轨；多个滑块包括第一对滑块和第二对滑块；第一对滑块与第一滑轨滑动连接，第二对滑块与第二滑轨滑动连接。
[0017]在一些实施例中，第一对滑块偏心安装在底座靠近承重位置处，第二对滑块与第一对滑块对称安装。
[0018]在一些实施例中，支撑调节装置还包括：支撑螺杆，穿设在底板上。
[0019]在一些实施例中，支撑调节装置还包括：下支撑螺母，套设在支撑螺杆上，且位于底板下方，用于支撑底板；以及上支撑螺母，套设在支撑螺杆上，且位于底板上方，用于将支撑螺杆与底板固定连接。
[0020]在一些实施例中，本公开提供了一种角分辨光电子能谱分析系统，包括：角分辨光电子能谱分析器；以及支撑调节装置，用于支撑角分辨光电子能谱分析器。
[0021]根据本公开一些实施例的支撑调节装置能够带来有益的技术效果。例如，本公开一些实施例的支撑调节装置能够解决常规技术中支撑结构简陋、功能单一、能量分析器安装复杂、分析器拆装和检修效率低、耗费大量人力物力等问题，能够实现角分辨光电子能谱分析器安装和拆卸安全方便、多角度调整配合真空腔、提高检修维护和更换效率、节省人力物力的技术效果。
[0022]根据本公开一些实施例的角分辨光电子能谱分析系统能够带来有益的技术效果。例如，本公开一些实施例的角分辨光电子能谱分析系统能够解决常规技术中维修困难、调整效率低、设备使用效率低等问题，能够实现调整维修方便、适用多角度安装的真空腔、设备使用效率高、安全系数高的技术效果。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1示出根据本公开一些实施例的支撑调节装置的结构示意图；
[0025]图2示出根据本公开一些实施例的调节模块的结构示意图；
[0026]图3示出根据本公开一些实施例的鱼眼接头的结构示意图；
[0027]图4示出根据本公开一些实施例的滑动组件的结构示意图；
[0028]图5示出根据本公开一些实施例的角分辨光电子能谱分析系统的结构示意图。
[0029]在上述附图中，各附图标记分别表示：
[0030]100 支撑调节装置
[0031]10 支撑架
[0032]11 底板
[0033]12a、12b 支架
[0034]121a、121b 长杆
[0035]122a、122b 短杆
[0036]123a、123b 安装条
[0037]20、20a、20b、20c 调节模块
[0038]21 支撑柱
[0039]211 螺杆
[0040]212 下螺母
[0041]213 上螺母
[0042]22 移动块
[0043]23 调节杆
[0044]231 水平调节杆
[0045]2311a、2311b 纵向调节杆
[0046]2312a、2312b、2312c、2312d 横向调节杆
[0047]2313a、2313b 纵向调节螺母
[0048]2314a、2314b 横向调节螺母
[00本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种支撑调节装置，其特征在于，包括：支撑架，包括底板、固定在所述底板上的支架；多个调节模块，安装在所述底板下方，所述调节模块用于在至少一个维度上对所述底板进行调节，所述调节模块包括：模块基座；移动块，设置在所述模块基座上；支撑柱，设置在所述移动块上，与所述底板连接，用于对所述底板进行支撑；一个或多个调节杆，安装在所述模块基座上，与所述移动块连接，用于在至少一个维度上对所述移动块进行调节，以通过所述支撑柱调节所述底板。2.根据权利要求1所述的支撑调节装置，其特征在于，所述一个或多个调节杆包括：多个水平调节杆，用于在水平的横向和/或纵向上对所述移动块进行调节，以通过所述支撑柱调节所述底板。3.根据权利要求1所述的支撑调节装置，其特征在于，所述支撑柱包括：螺杆，下螺母，套设在所述螺杆上且位于所述底板下方，用于支撑所述底板。4.根据权利要求3所述的支撑调节装置，其特征在于，所述支撑柱还包括：上螺母，套设在所述螺杆上且位于所述底板上方，用于将所述螺杆与所述底板固定连接。5.根据权利要求1
‑
4中任一项所述的支撑调节装置，其特征在于，所述底板包括：回字型底板或中空半六边形底板。6.根据权利要求5所述的支撑调节装置，其特征在于，所述多个调节模块包括设置在所述底板边、角处的多个调节模块。7.根据权利要求5所述的支撑调节装置，其特征在于，所述多个调节模块包括：第一调节模块，设置在所述半六边形底板的长边的第一端；第二调节模块，设置在所述半六边形底板的长边的第二端；以及第三调节模块，设置在与长边相对的短...
【专利技术属性】
技术研发人员：高筱，
申请(专利权)人：费勉仪器科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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