一种单晶硅生产用分选仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅生产用分选仪，涉及单晶硅生产技术领域，为解决现有单晶硅生产用分选仪硅晶片放置结构，因为放置取出不便，造成放置取出困难且易对单晶硅片造成划伤风险的问题。包括光学分析仪，所述光学分析仪的上端设置有透镜仓，所述透镜仓的上端设置有硅片仓，所述硅片仓的上方设置有遮光密封盖，所述遮光密封盖的上端设置有把手，硅片放置板，其设置在所述透镜仓的内部，高度调节电机，其设置在远离所述硅片放置板与透镜仓内壁转轴连接处的一端，所述硅片放置板的内部设置有硅片检测孔，限位板，其设置在所述高度调节电机的上方内侧。电机的上方内侧。电机的上方内侧。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅生产用分选仪


[0001]本技术涉及单晶硅生产
，具体为一种单晶硅生产用分选仪。

技术介绍

[0002]单晶硅片：硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999%或以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。
[0003]在传统单晶硅晶片检测装置中，如申请号： 201720531819.X；名为：单晶硅晶片检测仪。该装置包括：工作台、X射线发生器和X射线光闸，工作台水平设置，X射线发生器固定设置在工作台的上端面的左端，X射线光闸固定装设在X射线发生器的右端面上。在定位轴的上端面上固定连接有闪烁探测器管夹，闪烁探测器设置在闪烁探测器管夹的夹持部分内。该技术具有不破坏单晶硅晶片样品、使用方便、结构简单、定向精度高等优点。
[0004]但是，该单晶硅生产用分选仪硅晶片放置结构，因为放置取出不便，造成放置取出困难且易对单晶硅片造成划伤风险的问题；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种单晶硅生产用分选仪。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种单晶硅生产用分选仪，以解决上述
技术介绍
中提出的现有单晶硅生产用分选仪硅晶片放置结构，因为放置取出不便，造成放置取出困难且易对单晶硅片造成划伤风险的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶硅生产用分选仪，包括光学分析仪，所述光学分析仪的上端设置有透镜仓，且透镜仓与光学分析仪焊接连接，所述透镜仓的上端设置有硅片仓，且硅片仓与透镜仓一体成型设置，所述硅片仓的上方设置有遮光密封盖，所述遮光密封盖的上端设置有把手，且把手与遮光密封盖螺栓固定连接；
[0007]还包括：
[0008]硅片放置板，其设置在所述透镜仓的内部，且硅片放置板的一端下方与透镜仓的内壁转轴连接；
[0009]高度调节电机，其设置在远离所述硅片放置板与透镜仓内壁转轴连接处的一端，且高度调节电机的输出端与硅片放置板传动连接，所述硅片放置板的内部设置有硅片检测孔，且硅片检测孔与硅片放置板一体成型设置；
[0010]限位板，其设置在所述高度调节电机的上方内侧，且限位板与硅片放置板螺栓固定连接。
[0011]优选的，所述限位板的上端设置有磁吸硅片压块，且磁吸硅片压块与限位板磁吸连接。
[0012]优选的，所述磁吸硅片压块的内侧下端设置有防刮花橡胶垫，且防刮花橡胶垫与磁吸硅片压块胶黏连接。
[0013]优选的，所述硅片放置板与透镜仓内壁转轴连接处的竖直上方设置有U型挡板，且U型挡板与硅片放置板螺栓固定连接。
[0014]优选的，所述透镜仓的内部设置有防尘密封透镜，且防尘密封透镜与透镜仓的内壁卡槽密封固定连接。
[0015]优选的，所述光学分析仪的一侧设置有连接杆，且连接杆与光学分析仪螺栓连接，所述连接杆的一侧设置有螺栓固定台，且螺栓固定台与连接杆固定连接。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0017]1、本技术通过透镜仓、硅片仓、硅片放置板、高度调节电机、限位板、磁吸硅片压块、防刮花橡胶垫、U型挡板、硅片检测孔的设置，将遮光密封盖提起取下磁吸硅片压块，硅片放置板斜向太高姿态，之后将单晶硅片的一端斜插入U型挡板的内部槽中，之后将单晶硅片放入硅片放置板中的环槽中，之后将磁吸硅片压块放置在限位板的上端，因为磁吸硅片压块具有磁吸性能，使得磁吸硅片压块能够磁吸连接在限位板的上端，之后高度调节电机驱动硅片放置板角度调节，使得硅片放置板的夹角调节至水平，若要取出硅片放置板内部的单晶硅片时，高度调节电机驱动抬高硅片放置板，使得单晶硅片更容易被取出，解决了现有单晶硅生产用分选仪硅晶片放置结构，因为放置取出不便，造成放置取出困难且易对单晶硅片造成划伤风险的问题。
[0018]2、通过遮光密封盖、把手、连接杆、螺栓固定台的设置，遮光密封盖极大提高了光学分析仪上方的遮光性能，防止外部光线对检测结果的影响，提高了单晶硅片的检测准确性和精度，连接杆和螺栓固定台极大提高了光学分析仪安装的稳定性，使得螺栓固定台能够牢牢螺栓固定的平台上，减少晃动对检测结果的影响。
附图说明
[0019]图1为本技术的整体结构示意图。
[0020]图2为本技术的透镜仓、硅片仓内部结构示意图。
[0021]图3为本技术的硅片放置板俯视结构示意图。
[0022]图4为本技术的A处局部放大图。
[0023]图中：1、光学分析仪；2、透镜仓；3、硅片仓；4、连接杆；5、螺栓固定台；6、遮光密封盖；7、把手；8、防尘密封透镜；9、硅片放置板；10、高度调节电机；11、限位板；12、磁吸硅片压块；13、防刮花橡胶垫；14、U型挡板；15、硅片检测孔。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0025]请参阅图1
‑
4，本技术提供的一种实施例：一种单晶硅生产用分选仪，包括光学分析仪1，光学分析仪1的上端设置有透镜仓2，且透镜仓2与光学分析仪1焊接连接，透镜仓2的上端设置有硅片仓3，且硅片仓3与透镜仓2一体成型设置，硅片仓3的上方设置有遮光密封盖6，遮光密封盖6的上端设置有把手7，且把手7与遮光密封盖6螺栓固定连接；
[0026]还包括：
[0027]硅片放置板9，其设置在透镜仓2的内部，且硅片放置板9的一端下方与透镜仓2的内壁转轴连接；
[0028]高度调节电机10，其设置在远离硅片放置板9与透镜仓2内壁转轴连接处的一端，且高度调节电机10的输出端与硅片放置板9传动连接，硅片放置板9的内部设置有硅片检测孔15，且硅片检测孔15与硅片放置板9一体成型设置；
[0029]限位板11，其设置在高度调节电机10的上方内侧，且限位板11与硅片放置板9螺栓固定连接。
[0030]进一步，限位板11的上端设置有磁吸硅片压块12，且磁吸硅片压块12与限位板11磁吸连接，磁吸硅片压块12方便将下方的单晶硅片夹紧固定。
[0031]进一步，磁吸硅片压块12的内侧下端设置有防刮花橡胶垫13，且防刮花橡胶垫13与磁吸硅片压块12胶黏连接，防刮花橡胶垫13有效防止单晶硅片的磁吸硅片压块12夹紧端被刮花损坏。
[0032]进一步，硅片放置板9与透镜仓2内壁转轴连接处的竖直上方设置有U型挡板14，且U型挡板14与硅片放置板9螺栓固定连接，U型挡板14用以硅片放置板9斜向设置时为单晶硅片的承托结构。
[0033]进一步，透镜仓2的内部设置有防尘密封透镜8，且防尘密封透镜8与透镜仓2的内壁卡槽密封固定连接，防尘密封透镜8有效提高了光学分析仪1上方的密封性。
[0034]进一步，光学分析仪1的一侧设置有连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅生产用分选仪，包括光学分析仪（1），所述光学分析仪（1）的上端设置有透镜仓（2），且透镜仓（2）与光学分析仪（1）焊接连接，所述透镜仓（2）的上端设置有硅片仓（3），且硅片仓（3）与透镜仓（2）一体成型设置，所述硅片仓（3）的上方设置有遮光密封盖（6），所述遮光密封盖（6）的上端设置有把手（7），且把手（7）与遮光密封盖（6）螺栓固定连接；其特征在于：还包括：硅片放置板（9），其设置在所述透镜仓（2）的内部，且硅片放置板（9）的一端下方与透镜仓（2）的内壁转轴连接；高度调节电机（10），其设置在远离所述硅片放置板（9）与透镜仓（2）内壁转轴连接处的一端，且高度调节电机（10）的输出端与硅片放置板（9）传动连接，所述硅片放置板（9）的内部设置有硅片检测孔（15），且硅片检测孔（15）与硅片放置板（9）一体成型设置；限位板（11），其设置在所述高度调节电机（10）的上方内侧，且限位板（11）与硅片放置板（9）螺栓固定连接。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产用分选仪，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：李瑞鹏，武瑞，武治军，曹政民，曹进根，万遥，陈春娟，贾鹏程，王大伟，贾海东，
申请(专利权)人：无锡中环应用材料有限公司，
类型：新型
国别省市：