【技术实现步骤摘要】
一种烘干槽装置以及硅片清洗系统
[0001]本申请涉及太阳能光伏器件制造领域,具体而言,涉及一种烘干槽装置以及硅片清洗系统。
技术介绍
[0002]现有技术中,硅片清洗系统中的烘干槽在使用以后,需要对其进行清洗,但是,现有的清洗方式存在清洗不彻底的问题,容易对后续进行烘干的硅片造成污染,从而降低硅片良率。
技术实现思路
[0003]本申请的目的在于提供一种烘干槽装置以及硅片清洗系统,能够改善烘干槽清洗不彻底的问题,从而保证硅片良率。
[0004]本申请的实施例是这样实现的:
[0005]第一方面,本申请实施例提供一种烘干槽装置,包括烘干槽、保护件以及冲水管道;烘干槽的槽内设有风机、热风通道以及排水通道;保护件与烘干槽连接,保护件能够遮盖或漏出风机,且保护件能够打开或封闭热风通道的出风口;冲水管道用于对烘干槽进行冲洗。
[0006]上述技术方案中,配置保护件与烘干槽连接,并且保护件能够遮盖或漏出风机并能够打开或封闭热风通道的出风口,使得便于通过配置冲水管道的方式对烘干槽进行清洗。冲水管道在对 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种烘干槽装置,其特征在于,包括:烘干槽,所述烘干槽的槽内设有风机、热风通道以及排水通道;保护件,所述保护件与所述烘干槽连接,所述保护件能够遮盖或漏出所述风机,且所述保护件能够打开或封闭所述热风通道的出风口;以及冲水管道,所述冲水管道用于对所述烘干槽进行冲洗。2.根据权利要求1所述的烘干槽装置,其特征在于,所述保护件包括第一保护件和第二保护件,所述第一保护件与所述烘干槽连接,用于遮盖或漏出所述风机;所述第二保护件与所述烘干槽连接,用于打开或封闭所述热风通道的出风口。3.根据权利要求2所述的烘干槽装置,其特征在于,所述第一保护件为保护罩,和/或所述第二保护件为保护板。4.根据权利要求3所述的烘干槽装置,其特征在于,所述第一保护件和所述第二保护件分别通过紧固件与所述烘干槽可拆卸连接。5.根据权利要求1所述的烘干槽装置,其特征在于,所述排水通道设...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵光才,赵华清,陈日强,
申请(专利权)人:通合新能源金堂有限公司,
类型:新型
国别省市:
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