一种烘干槽装置以及硅片清洗系统制造方法及图纸

技术编号:34871203 阅读:34 留言:0更新日期:2022-09-08 08:18
本申请提供一种烘干槽装置以及硅片清洗系统,属于太阳能光伏器件制造领域。烘干槽装置包括烘干槽、保护件以及冲水管道;烘干槽的槽内设有风机、热风通道以及排水通道;保护件与烘干槽连接,保护件能够遮盖或漏出风机,且保护件能够打开或封闭热风通道的出风口;冲水管道用于对烘干槽进行冲洗,通过该烘干槽装置,能够改善烘干槽清洗不彻底的问题,从而保证硅片良率。证硅片良率。证硅片良率。

【技术实现步骤摘要】
一种烘干槽装置以及硅片清洗系统


[0001]本申请涉及太阳能光伏器件制造领域,具体而言,涉及一种烘干槽装置以及硅片清洗系统。

技术介绍

[0002]现有技术中,硅片清洗系统中的烘干槽在使用以后,需要对其进行清洗,但是,现有的清洗方式存在清洗不彻底的问题,容易对后续进行烘干的硅片造成污染,从而降低硅片良率。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供一种烘干槽装置以及硅片清洗系统,能够改善烘干槽清洗不彻底的问题,从而保证硅片良率。
[0004]本申请的实施例是这样实现的:
[0005]第一方面,本申请实施例提供一种烘干槽装置,包括烘干槽、保护件以及冲水管道;烘干槽的槽内设有风机、热风通道以及排水通道;保护件与烘干槽连接,保护件能够遮盖或漏出风机,且保护件能够打开或封闭热风通道的出风口;冲水管道用于对烘干槽进行冲洗。
[0006]上述技术方案中,配置保护件与烘干槽连接,并且保护件能够遮盖或漏出风机并能够打开或封闭热风通道的出风口,使得便于通过配置冲水管道的方式对烘干槽进行清洗。冲水管道在对烘干槽的槽壁以及角落进行全方位冲洗时,保护件能够对风机以及热风通道中的电路进行保护,从而实现对烘干槽安全、高效的清洗。
[0007]在一些可选的实施方案中,保护件包括第一保护件和第二保护件,第一保护件与烘干槽连接,用于遮盖或漏出风机;第二保护件与烘干槽连接,用于打开或封闭热风通道的出风口。
[0008]上述技术方案中,保护件设置为第一保护件和第二保护件,分别通过第一保护件和第二保护件对风机和热风通道进行保护,该保护方式便于对风机和热风通道进行单独控制,使得对保护件的控制操作具有较好的便利性。
[0009]在一些可选的实施方案中,第一保护件为保护罩,和/或第二保护件为保护板。
[0010]上述技术方案中,第一保护件设置为保护罩,第二保护件设置为保护板,这种针对风机和热风通道的出风口外形不同进行设置的形式,使得在通过冲水管道对烘干槽进行冲洗时,保护件对风机和热风通道中的电路具有更好的保护效果。
[0011]在一些可选的实施方案中,第一保护件和第二保护件分别通过紧固件与烘干槽可拆卸连接。
[0012]上述技术方案中,第一保护件和第二保护件分别通过紧固件与烘干槽可拆卸连接,这种连接形式便于进行保护件的拆装。
[0013]在一些可选的实施方案中,排水通道设置有控制阀,控制阀用于控制排水通道的
开闭。
[0014]上述技术方案中,排水通道设置有控制阀,使得烘干槽打开风机和热风通道对硅片进行烘干操作时,能够保证烘干槽有较好的气密性,进而保证烘干效果。
[0015]在一些可选的实施方案中,排水通道的入口处设置有滤网。
[0016]上述技术方案中,在排水通道的入口处设置有滤网,滤网能够防止硅片和硅渣进入排水通道,避免造成排水通道的阻塞。
[0017]在一些可选的实施方案中,烘干槽设置有两组热风通道,两组热风通道的出风口分布在烘干槽相对的两个侧壁并相对设置。
[0018]上述技术方案中,烘干槽设置两组热风通道,用于提供充足的热量,从而保证烘干效果;此外,两组热风通道的出风口分布在烘干槽相对的两个侧壁并相对设置,该设置形式便于进行两组热风通道的布局。
[0019]在一些可选的实施方案中,两组热风通道的出风口的相对设置方向为第一方向,烘干槽的底部设置有两组风机,两组风机沿第一方向并排分布。
[0020]上述技术方案中,烘干槽设置两组风机,便于将热风通道提供的热量较好地扩散到整个烘干槽,从而保证烘干效果;两组风机沿第一方向并排分布,该设置形式便于进行两组风机的布局。
[0021]在一些可选的实施方案中,热风通道的出风口的相对设置方向为第一方向,烘干槽设置有两组排水通道,在第一方向上,两组排水通道的入口位于烘干槽底部的两端。
[0022]上述技术方案中,烘干槽设置两组排水通道,在冲水管道在对烘干槽进行冲洗时,便于将水快速地排除烘干槽;在第一方向上,两组排水通道的入口位于烘干槽底部的两端,该设置形式便于进行两组排水通道的布局。
[0023]第二方面,本申请实施例提供一种硅片清洗系统,包括第一方面实施例提供的烘干槽装置。
[0024]上述技术方案中,包含该烘干槽装置的硅片清洗系统,能够在硅片烘干阶段,保证硅片的洁净度,从而保证硅片在整个清洗阶段的良率。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本申请的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0026]图1为本申请实施例提供的一种烘干槽装置的俯视图;
[0027]图2为本申请实施例提供的一种烘干槽装置的主视图视角下的剖视图。
[0028]图标:10

烘干槽装置;100

烘干槽;110

风机;120

热风通道;130

排水通道;131

控制阀;132

滤网;200

保护件;210

第一保护件;220

第二保护件;300

冲水管道;
[0029]a

第一方向。
具体实施方式
[0030]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本申请实施例
中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0031]因此,以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围,而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
[0032]应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0033]在本申请的描述中,需要说明的是,术语“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0034]在本申请的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“连接”应做广义理解,例如本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种烘干槽装置,其特征在于,包括:烘干槽,所述烘干槽的槽内设有风机、热风通道以及排水通道;保护件,所述保护件与所述烘干槽连接,所述保护件能够遮盖或漏出所述风机,且所述保护件能够打开或封闭所述热风通道的出风口;以及冲水管道,所述冲水管道用于对所述烘干槽进行冲洗。2.根据权利要求1所述的烘干槽装置,其特征在于,所述保护件包括第一保护件和第二保护件,所述第一保护件与所述烘干槽连接,用于遮盖或漏出所述风机;所述第二保护件与所述烘干槽连接,用于打开或封闭所述热风通道的出风口。3.根据权利要求2所述的烘干槽装置,其特征在于,所述第一保护件为保护罩,和/或所述第二保护件为保护板。4.根据权利要求3所述的烘干槽装置,其特征在于,所述第一保护件和所述第二保护件分别通过紧固件与所述烘干槽可拆卸连接。5.根据权利要求1所述的烘干槽装置,其特征在于,所述排水通道设...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵光才赵华清陈日强
申请(专利权)人:通合新能源金堂有限公司
类型:新型
国别省市:

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