下载一种烘干槽装置以及硅片清洗系统的技术资料

文档序号:34871203

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本申请提供一种烘干槽装置以及硅片清洗系统,属于太阳能光伏器件制造领域。烘干槽装置包括烘干槽、保护件以及冲水管道;烘干槽的槽内设有风机、热风通道以及排水通道;保护件与烘干槽连接,保护件能够遮盖或漏出风机,且保护件能够打开或封闭热风通道的出风口...
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