本公开实施例提供一种静电检测装置、静电监控系统。静电检测装置包括：感应模块，被设置在与待检测物体之间的距离为预设距离的位置，用于感应待检测物体的静电场，并产生与静电场相对应的感应电信号；信号选择模块，与感应模块连接，用于在感应电信号满足预设范围的情况下，接收感应电信号并输出感应电信号；放大模块，与信号选择模块连接，用于对感应电信号进行放大，并输出对应的第一电压信号；检测模块，与放大模块连接，用于采集第一电压信号，并根据基准电压和第一电压信号确定与静电场对应的静电电压。本公开的技术方案，提高了静电检测装置的精确度和灵敏度。测装置的精确度和灵敏度。测装置的精确度和灵敏度。
【技术实现步骤摘要】
一种静电检测装置、静电监控系统
[0001]本公开涉及显示
，尤其涉及一种静电检测装置、静电监控系统。
技术介绍
[0002]显示基板在生产过程中会产生静电，如果静电释放(ESD)能力不足，显示基板内部会出现电荷聚集，导致产品缺陷(Charge Mura)，例如垂直条纹(Block)、二分屏、三分屏等缺陷。
[0003]现有技术中的静电检测技术，精确度和灵敏性偏低，很难满足需求。
技术实现思路
[0004]本公开实施例提供一种静电检测装置、静电监控系统，以解决或缓解现有技术中的一项或更多项技术问题。
[0005]作为本公开实施例的第一个方面，本公开实施例提供一种静电检测装置，包括：
[0006]感应模块，被设置在与待检测物体之间的距离为预设距离的位置，用于感应待检测物体的静电场，并产生与静电场相对应的感应电信号；
[0007]信号选择模块，与感应模块连接，用于在感应电信号满足预设范围的情况下，接收感应电信号并输出感应电信号；
[0008]放大模块，与信号选择模块连接，用于对感应电信号进行放大，并输出对应的第一电压信号；
[0009]检测模块，与放大模块连接，用于采集第一电压信号，并根据基准电压和第一电压信号确定与静电场对应的静电电压。
[0010]在一些实施例中，检测模块的检测范围为
‑
20V～0和0～+20V。
[0011]在一些实施例中，感应模块包括音叉感应器和采样电容，音叉感应器包括感应子模块和触点连接机构，感应子模块用于感应静电场，并在静电场的作用下驱动触点连接机构动作；触点连接机构在不同的静电场的驱动下与采样电容的不同触点连接，以使采样电容产生与静电场相对应的感应电信号。
[0012]在一些实施例中，放大模块包括电流放大调节器和信号转换子模块，电流放大调节器用于对感应电信号进行放大，并产生放大后的电流信号；信号转换子模块用于将接收到的放大后的电流信号转换为对应的第一电压信号并输出。
[0013]在一些实施例中，静电检测装置还包括电阻模块，电阻模块包括输入端和输出端，电阻模块的输入端与感应模块连接，电阻模块的输出端与检测模块连接，电阻模块用于在感应电信号不满足预设范围的情况下，供感应电信号通过并在输出端产生第二电压信号；
[0014]检测模块用于采集第一电压信号或者第二电压信号，并根据基准电压和采集到的电压信号确定与静电场对应的静电电压。
[0015]在一些实施例中，感应电信号为交流电流信号，预设范围为小于或等于电流阈值。
[0016]在一些实施例中，预设距离的范围为20mm～30mm。
[0017]在一些实施例中，感应模块的检测区域的直径为Φ150mm～Φ200mm。
[0018]在一些实施例中，待检测物体包括显示基板，显示基板包括薄膜晶体管，至少一个薄膜晶体管的有源层的材质为金属氧化物。
[0019]作为本公开实施例的第二方面，本公开实施例提供一种静电监控系统，包括本公开任一实施例中的静电检测装置。
[0020]在一些实施例中，静电监控系统还包括处理器，处理器与静电检测装置中的检测模块连接，处理器用于接收静电电压，并将在预设时间范围内接收到的静电电压进行处理，以确定累积静电电压。
[0021]在一些实施例中，静电监控系统还包括静电消除装置，静电消除装置用于在累计静电电压大于或等于预设电压阈值的情况下，产生中和电荷以对待检测物体产生的静电荷进行中和。
[0022]本公开实施例的技术方案，通过设置信号选择模块可以对被放大模块放大的感应电信号进行选择，减小了可以被放大模块放大的感应电信号的范围，进而减小了检测模块检测的信号范围；并且，放大模块将满足预设范围的感应电信号进行放大后输出给检测模块，从而，可以提高检测模块的检测精度和灵敏度，进而提高了静电检测装置的精确度和灵敏度，提高了静电检测装置的ESD检测性能。
[0023]上述概述仅仅是为了说明书的目的，并不意图以任何方式进行限制。除上述描述的示意性的方面、实施方式和特征之外，通过参考附图和以下的详细描述，本公开进一步的方面、实施方式和特征将会是容易明白的。
附图说明
[0024]在附图中，除非另外规定，否则贯穿多个附图相同的附图标记表示相同或相似的部件或元素。这些附图不一定是按照比例绘制的。应该理解，这些附图仅描绘了根据本公开的一些实施方式，而不应将其视为是对本公开范围的限制。
[0025]图1为一种金属氧化物显示基板的截面示意图；
[0026]图2为本公开一实施例中静电检测装置的结构示意图；
[0027]图3为本公开一实施例中静电检测装置的应用场景示意图；
[0028]图4为本公开另一实施例中静电检测装置的结构示意图；
[0029]图5a为本公开一实施例中音叉感应器的结构示意图；
[0030]图5b为本公开一实施例中采样电容的结构示意图；
[0031]图6a为本公开一实施例中电流放大调节器的结构示意图；
[0032]图6b为本公开一实施例中信号转换子模块的结构示意图；
[0033]图7为本公开另一实施例中静电检测装置的结构示意图；
[0034]图8为本公开一实施例中静电监控系统的结构示意图；
[0035]图9为一种离子风枪的结构示意图。
具体实施方式
[0036]在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本公开的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。
因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
[0037]金属氧化物显示面板采用IGZO(铟镓锌氧化物)技术，具有高电子迁移率的特点，迁移率约为10cm2/vs，可以提高薄膜晶体管对像素电极的充放电速率，提高像素的响应速度，实现更快的刷新率。金属氧化物产品因为电子迁移速率快，面板内部容易出现电荷聚集残留。
[0038]图1为一种金属氧化物显示基板的截面示意图。如图1所示，显示基板包括设置在衬底11上的薄膜晶体管，还包括第一电极层13和第二电极层14，以及设置在相邻导电层之间的绝缘层。薄膜晶体管包括栅电极121、有源层122、源电极123和漏电极124。金属氧化物产品相比于A
‑
Si产品，有源层122采用IGZO膜材。在IGZO成膜后，相应的基板在转移过程中，线体设备的静电无法完全消除，从而，在基板切割生产过程中，基板内部因设备的静电也会导致电荷聚集。金属氧化物产品在模组生产过程中对静电防护要求严格，需要对设备的静电释放进行重点监控。
[0039]另外，不同材质对电荷的释放能力不同，导电材质例如绑定后的线路板可以将内部的感应电荷均匀释放至面板的金属导电线路内。而在绑定工艺之前，金属氧化物基板内部的IGZO膜层等对静电的释放能力不同，会导致基板内部出现电荷聚集导致产品缺陷(Charge Mura)，例如垂直条纹(B本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种静电检测装置，其特征在于，包括：感应模块，被设置在与待检测物体之间的距离为预设距离的位置，用于感应待检测物体的静电场，并产生与所述静电场相对应的感应电信号；信号选择模块，与所述感应模块连接，用于在所述感应电信号满足预设范围的情况下，接收所述感应电信号并输出所述感应电信号；放大模块，与所述信号选择模块连接，用于对所述感应电信号进行放大，并输出对应的第一电压信号；检测模块，与所述放大模块连接，用于采集所述第一电压信号，并根据基准电压和所述第一电压信号确定与所述静电场对应的静电电压。2.根据权利要求1所述的静电检测装置，其特征在于，所述检测模块的检测范围为
‑
20V～0和0～+20V。3.根据权利要求1所述的静电检测装置，其特征在于，所述感应模块包括音叉感应器和采样电容，所述音叉感应器包括感应子模块和触点连接机构，所述感应子模块用于感应所述静电场，并在所述静电场的作用下驱动所述触点连接机构动作；所述触点连接机构在不同的所述静电场的驱动下与所述采样电容的不同触点连接，以使所述采样电容产生与所述静电场相对应的所述感应电信号。4.根据权利要求1所述的静电检测装置，其特征在于，所述放大模块包括电流放大调节器和信号转换子模块，所述电流放大调节器用于对所述感应电信号进行放大，并产生放大后的电流信号；所述信号转换子模块用于将接收到的所述放大后的电流信号转换为对应的第一电压信号并输出。5.根据权利要求1
‑
4中任一项所述的静电检测装置，其特征在于，还包括电阻模块，所述电阻模块包括输...
【专利技术属性】
技术研发人员：王成，雷振华，赵小路，黄正峰，陈建军，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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