一种用于振动电容式静电传感器的机械振动结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于振动电容式静电传感器的机械振动结构，包括静电传感器，所述静电传感器外部设有待测试品，所述静电传感器内部设有振动发生器，所述振动发生器一端设有尾端固定支架，所述尾端固定支架一侧设有连接梁，所述连接梁另一侧设有第一机械振动梁，所述第一机械振动梁一端设有第一振动片，所述第一机械振动梁设有第一陶瓷片，测量时，第一陶瓷片通电产生振动，带动第一振动片振动，周期屏蔽静电传感器感应面，改变电容量大小，产生周期性电流信号，引入信号检测电路中，转换为电压信号并放大，得到测量静电感应处理信号，完成检测，该装置结构科学合理，使用安全可靠，为人们提供了很大的帮助。为人们提供了很大的帮助。为人们提供了很大的帮助。

【技术实现步骤摘要】
一种用于振动电容式静电传感器的机械振动结构


[0001]本技术涉及静电测试
，特别涉及一种用于振动电容式静电传感器的机械振动结构。

技术介绍

[0002]随着我国改革开放的深入，我国各行业先进技术迅速发展，静电研究成果逐渐被应用到各行各业中，利用静电感应、高压静电场的气体放电等效应和原理，实现多种加工工艺和加工设备，例如利用静电除尘、复印、喷涂、纺纱、植绒等；但静电的存在同样会带来一些威胁和隐患，静电放电(ESD)会造成电子设备故障和误动作，促进电子器件老化，降低生产成品率，在多易燃易爆物或粉尘的生产场所易引起爆炸和火灾，静电吸附导致胶片、塑料、造纸印刷工业收卷不齐，影响产品质量，造成安全隐患，中国电子工业每年因静电造成直接经济损失高达数十亿人民币，如果处理不当，静电的存在将严重威胁国民经济的安全。因此，为充分掌握并完善静电的应用，静电的防护与测量尤为重要，对静电进行准确测量是关键前提，静电测量核心部件为静电传感器，目前市场上的振动电容式静电传感器电容改变方式主要有变极距法和变面积法。其中变极距法是通过改变极板间垂直距离，该方法在极板上下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于振动电容式静电传感器的机械振动结构，包括静电传感器(12)，其特征在于，所述静电传感器(12)外部一侧设有待测试品(10)，所述待测试品(10)被测表面与静电传感器(12)一侧平行且保持间隙，所述静电传感器(12)与待测试品(10)被测表面共同构成电容器(11)，所述静电传感器(12)外部边缘设有静电传感器外壳(9)，所述静电传感器(12)内部设有振动发生器(13)，所述振动发生器(13)一端设有尾端固定支架(1)，所述尾端固定支架(1)一侧固定设有连接梁(2)，所述连接梁(2)远离尾端固定支架(1)一侧的两端分别固定设有第一机械振动梁(3)和第二机械振动梁(4)，所述第一机械振动梁(3)平行于第二机械振动梁(4)，所述第一机械振动梁(3)远离尾端固定支架(1)的一端固定设有第一振动片(7)，所述第一振动片(7)垂直于第一机械振动梁(3)的长度方向，所述第二机械振动梁(4)远离尾端固定支架(1)的一端固定设有第二振动片(8)，所述第二振动片(8)垂直于第二机械振动梁(4)的长度方向，所述第一机械振动梁(3)内壁中部贴附设有第一陶瓷片(5)，所述第二机械振动梁(4)内壁中部贴附设有第二陶瓷片(6)，所述尾端固定支架(1)远离第一机械振动梁(3)的一端设有第一定位齿(102)，所述第一定位齿(102)与连接梁(2)之间设有定位孔(101)，所述连接梁(2)靠近第一机械振动梁(3)和第二机械振动梁(4)的一端中部设有第二定位齿(203)，所述尾端固定支架(1)外部设有静电传感器外壳(9)，所述尾端固定支架(1)通过定位孔(101)机械固定于静电传感器外壳(9)，所述第一定位齿(102)将尾端固定支架(1)电性连接固定于静电传感器外壳(9)上，所述第二定位齿(203)将连接梁(2)电性连接固定于静电传感器外壳(9)上，所述连接梁(2)靠近第一机械振动梁(3)和第二机械振动梁(4)的一端两侧分别设有连接副梁(202)，所述连接副梁(202)与定位孔(10...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈永，朱熠辰，孙昊，
申请(专利权)人：无锡研平电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：