一种改进的玻璃蚀刻设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种改进的玻璃蚀刻设备，其中，夹持篮具的两侧分别通过一篮具转轴旋转安装于蚀刻腔室的内部，夹持篮具设有角度感应模块，角度感应模块包括多个固定于夹持篮具侧部的感应块以及接近感应传感器，感应块以篮具转轴为中心沿圆周方向间隔分布，接近感应传感器固定于机体，并与各感应块接近感应配合，机体还设有篮具旋转驱动装置，篮具旋转驱动装置位于蚀刻腔室的外部，夹持篮具通过密封篮具驱动轴结构传动连接篮具旋转驱动装置；所述酸液喷淋装置、所述接近感应传感器以及篮具旋转驱动装置分别电连接于所述控制装置。与现有技术相比，实现蚀刻剂由玻璃基板的各个设定角度进行竖直喷淋，避免酸液喷淋不均，提高蚀刻质量。刻质量。刻质量。

【技术实现步骤摘要】
一种改进的玻璃蚀刻设备


[0001]本技术涉及玻璃蚀刻
，尤其是涉及一种改进的玻璃蚀刻设备。

技术介绍

[0002]化学湿式蚀刻方法是制作轻薄玻璃面板的常用方法，现有的玻璃蚀刻设备包括用于喷淋酸液的蚀刻室、用于夹持玻璃基板的篮具以及酸液喷淋装置，酸液喷淋装置固定在篮具的侧部或顶部，通过喷淋装置对装夹于篮具内的玻璃基板进行喷淋。现有的湿式蚀刻机，多采用两侧喷淋的蚀刻结构，玻璃基板装夹在同一竖直夹具，通过设于竖直夹具两侧的酸液喷淋装置对玻璃基板的两侧面进行均匀蚀刻，但是，这种蚀刻设备存在着，蚀刻效率低和酸液喷淋不均匀的缺点；也有采用顶部喷淋的蚀刻结构，玻璃基板被以间隔并列的方式装夹在篮具，通过设于篮具顶部的酸液喷淋装置进行蚀刻喷淋，酸液通过玻璃基板之间的间隔喷淋至玻璃基板的顶部表面，并在重力作用下覆盖玻璃基板的全部表面，但是，这种蚀刻设备仍然存在着酸液喷淋不均匀，蚀刻质量低的缺点，因此有必要予以改进。

技术实现思路

[0003]针对现有技术存在的不足，本技术的目的是提供一种改进的玻璃蚀刻设备，实现玻璃基板在蚀刻喷淋过程中进行竖直旋转，蚀刻剂能够由玻璃基板的各个角度进行竖直喷淋，避免酸液喷淋不均，提高蚀刻质量。
[0004]为了实现上述目的，本技术所采用的技术方案是：一种改进的玻璃蚀刻设备，包括控制装置、机体、设于机体内部的蚀刻腔室、酸液喷淋装置以及夹持篮具，酸液喷淋装置位于夹持篮具的上方，夹持篮具的两侧分别通过一篮具转轴旋转安装于蚀刻腔室的内部，夹持篮具设有角度感应模块，角度感应模块包括多个固定于夹持篮具侧部的感应块以及接近感应传感器，感应块以篮具转轴为中心沿圆周方向间隔分布，接近感应传感器固定于机体，并与各感应块接近感应配合，机体还设有篮具旋转驱动装置，篮具旋转驱动装置位于蚀刻腔室的外部，夹持篮具通过密封篮具驱动轴结构传动连接篮具旋转驱动装置；酸液喷淋装置、接近感应传感器以及篮具旋转驱动装置分别电连接于控制装置。
[0005]在进一步的技术方案中，夹持篮具的侧部设有多个内磁铁定位件，各内磁吸定位件分别以篮具转轴为中心沿圆周方向间隔分布；蚀刻腔室内设有至少一个磁极方向相反的外磁吸定位件，在接近感应传感器与感应块接近感应配合时，外磁吸定位件与相应的内磁铁定位件磁性连接。
[0006]在进一步的技术方案中，内磁吸定位件与感应块的数量相同，并且各内磁吸定位件分别与相应的感应快沿径向对齐；内磁吸定位件与外磁吸定位件磁吸配合并组合形成磁吸定位组件，磁吸定位组件的设置数量为四组，各磁吸定位组件分别沿篮具转轴为中心沿圆周方向间隔分布，相邻两个磁吸定位组件的夹角为90 度，以实现夹持篮具进行0度、90度、270度或180度的喷淋角度定位。
[0007]在进一步的技术方案中，篮具旋转驱动装置包括一固定在机体外侧的伺服电机；
密封篮具驱动轴结构包括一通过滚珠轴承安装于机体的驱动转轴，伺服电机传动连接于驱动转轴的外侧端，驱动转轴的内侧设有至少一个油封密封圈；驱动转轴的内端安装有篮具主动齿轮，篮具转轴安装有篮具从动齿轮，篮具主动齿轮与篮具从动齿轮之间活动啮合。
[0008]在进一步的技术方案中，驱动转轴的外侧端同轴安装有一被动皮带轮；伺服电机的输出轴安装有一减速机，减速机的输出轴安装有主动皮带轮，主动皮带轮和被动皮带轮之间套设有传动皮带，被动皮带轮的直径大于主动皮带轮的直径。
[0009]在进一步的技术方案中，机体的内部设有两个以上蚀刻腔室，每个蚀刻腔室内分别设有用作喷淋不同蚀刻剂的酸液喷淋装置；蚀刻腔室的底部设有横向导杆结构以及小车驱动机构，横向导杆结构上活动安装有篮具小车装置，篮具小车装置包括活动小车底座、中间篮具支架以及夹持篮具，活动小车底座活动安装于横向导杆结构，并且传动连接于小车驱动机构；中间篮具支架固定于活动小车底座的顶部，各外磁吸定位件分别固定在中间篮具支架的两侧；夹持篮具通过篮具转轴旋转安装于中间篮具支架。
[0010]在进一步的技术方案中，活动小车底座的底部的两侧分别设有滚轮结构；横向导杆结构包括两个相互平行设置的光杆，活动小车底座通过滚轮结构滑动安装于光杆；小车驱动机构包括丝杆驱动结构、链轮驱动结构或皮带轮驱动结构。
[0011]在进一步的技术方案中，蚀刻腔室的前侧面设有可视化窗口。
[0012]在进一步的技术方案中，感应块的外表盖设有一高分子防腐蚀盖帽。
[0013]在进一步的技术方案中，内磁铁定位件以及外磁吸定位件分别设有一结构相同的防腐蚀定位结构，防腐蚀定位结构包括一外表面设有外螺纹结构的磁铁套，磁铁套的内部掏空成型有用作装配强磁铁的套腔，套腔的腔口通过一塞子封闭，塞子与磁铁套之间焊接。
[0014]采用上述结构后，本技术和现有技术相比所具有的优点是：本技术提供了一种改进的玻璃蚀刻设备，通过外置的篮具旋转驱动装置对篮具进行旋转调节，是蚀刻剂能以预设的喷淋角度对玻璃基板进行均匀喷淋，避免酸液喷淋不均，提高蚀刻质量；通过接触感应结构对夹持篮具进行喷淋角度的判断，保证玻璃基板在预设的旋转角度进行数字喷淋蚀刻，进一步提高蚀刻处理的均匀度以及蚀刻质量；通过内外磁吸定位结构对夹持篮具进行旋转角度的锁定，避免在蚀刻剂喷淋过程中，篮具发生晃动，导致蚀刻不均匀。
附图说明
[0015]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0016]图1是本技术的结构示意图。
[0017]图2是本技术的另一结构示意图。
[0018]图3是本技术的篮具小车装置的结构示意图。
[0019]图4是本技术的篮具小车装置的分解示意图。
[0020]图5是本技术的夹持篮具的结构示意图。
[0021]图6是本技术的外磁吸定位件的结构示意图。
具体实施方式
[0022]以下仅为本技术的较佳实施例，并不因此而限定本技术的保护范围。
[0023]一种改进的玻璃蚀刻设备，包括控制装置、机体1、设于机体1内部的蚀刻腔室10、
酸液喷淋装置以及夹持篮具23，酸液喷淋装置位于夹持篮具23的上方，夹持篮具23的两侧分别通过一篮具转轴239旋转安装于蚀刻腔室10的内部，夹持篮具23设有角度感应模块，角度感应模块包括多个固定于夹持篮具23侧部的感应块232以及接近感应传感器，感应块232以篮具转轴239为中心沿圆周方向间隔分布，接近感应传感器固定于机体1，并与各感应块232接近感应配合，机体1还设有篮具旋转驱动装置12，篮具旋转驱动装置12位于蚀刻腔室10的外部，夹持篮具23通过密封篮具驱动轴结构传动连接篮具旋转驱动装置12；酸液喷淋装置、接近感应传感器以及篮具旋转驱动装置12分别电连接于控制装置。本技术提供的蚀刻设备通过外置的篮具旋转驱动装置对篮具进行旋转调节，是蚀刻剂能以预设的喷淋角度对玻璃基板进行均匀喷淋，避免酸液喷淋不均，提高蚀刻质量；通过接触感应结构对夹持篮具进行喷淋角度的判断，保证玻璃基板在预设的旋转角度进行数字喷淋蚀刻，进一步本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种改进的玻璃蚀刻设备，包括控制装置、机体(1)、设于机体(1)内部的蚀刻腔室(10)、酸液喷淋装置以及夹持篮具(23)，酸液喷淋装置位于夹持篮具(23)的上方，其特征在于：夹持篮具(23)的两侧分别通过一篮具转轴(239)旋转安装于蚀刻腔室(10)的内部，夹持篮具(23)设有角度感应模块，角度感应模块包括多个固定于夹持篮具(23)侧部的感应块(232)以及接近感应传感器，感应块(232)以篮具转轴(239)为中心沿圆周方向间隔分布，接近感应传感器固定于机体(1)，并与各感应块(232)接近感应配合，机体(1)还设有篮具旋转驱动装置(12)，篮具旋转驱动装置(12)位于蚀刻腔室(10)的外部，夹持篮具(23)通过密封篮具驱动轴结构传动连接篮具旋转驱动装置(12)；所述酸液喷淋装置、所述接近感应传感器以及篮具旋转驱动装置(12)分别电连接于所述控制装置。2.根据权利要求1所述的一种改进的玻璃蚀刻设备，其特征在于：所述夹持篮具(23)的侧部设有多个内磁铁定位件，各内磁吸定位件(231)分别以篮具转轴(239)为中心沿圆周方向间隔分布；蚀刻腔室(10)内设有至少一个磁极方向相反的外磁吸定位件(221)，在所述接近感应传感器与所述感应块(232)接近感应配合时，外磁吸定位件(221)与相应的内磁铁定位件磁性连接。3.根据权利要求2所述的一种改进的玻璃蚀刻设备，其特征在于：所述内磁吸定位件(231)与所述感应块(232)的数量相同，并且各内磁吸定位件(231)分别与相应的感应快沿径向对齐；内磁吸定位件(231)与所述外磁吸定位件(221)磁吸配合并组合形成磁吸定位组件，磁吸定位组件的设置数量为四组，各磁吸定位组件分别沿所述篮具转轴(239)为中心沿圆周方向间隔分布，相邻两个磁吸定位组件的夹角为90度。4.根据权利要求3所述的一种改进的玻璃蚀刻设备，其特征在于：所述篮具旋转驱动装置(12)包括一固定在所述机体(1)外侧的伺服电机(121)；所述密封篮具驱动轴结构包括一通过滚珠轴承安装于机体(1)的驱动转轴(124)，伺服电机(121)传动连接于驱动转轴(124)的外侧端，驱动转轴(124)的内侧设有至少一个油封密封圈；驱动转轴(124)的内端安装有篮具主动齿轮(125)，所述篮具转轴(239)安装有篮具从动齿...

【专利技术属性】
技术研发人员：金万龙，
申请(专利权)人：东莞市龙博自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：