一种管式PECVD设备制造技术

本申请涉及太阳能电池技术领域，具体而言，涉及一种管式PECVD设备。管式PECVD设备包括炉管和集气管道；集气管道包括第一集气室、第二集气室和混合室；第一集气室设置有第一进气孔，第二集气室设置有第二进气孔，第一进气孔以及第二进气孔均用于与外界气源连通；第一集气室具有多个均与混合室连通的第一出气孔，第二集气室具有多个均与混合室连通的第二出气孔；混合室设置有与炉管连通的第三出气孔。本申请的管式PECVD设备可以将不同气源以多点进气方式在混合室内进行混合，有利于提高混合气中不同气源的混合程度，充分混合后的混合气再经第三出气孔进入炉管，有利于提高镀膜均匀性，提高产品良率。提高产品良率。提高产品良率。

【技术实现步骤摘要】
一种管式PECVD设备


[0001]本申请涉及太阳能电池
，具体而言，涉及一种管式PECVD设备。

技术介绍

[0002]镀膜工序是太阳能电池行业生产过程中的一道重要工序，在采用管式PECVD设备对硅片表面进行镀膜时，需要在炉管内通入氨气和硅烷两种反应特气，以使氨气和硅烷在炉管内反应并沉积在硅片表面形成氮化硅薄膜。但是，现有的管式PECVD设备的炉管内的氨气和硅烷分布不均，导致氨气和硅烷无法有效充分混合，导致镀膜均匀性不佳(例如电池片膜色不均匀)，产品良率低。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供一种管式PECVD设备，其旨在改善现有的管式PECVD设备的镀膜均匀性不佳的技术问题。
[0004]本申请提供一种管式PECVD设备，包括炉管和集气管道。
[0005]集气管道包括第一集气室、第二集气室和混合室。
[0006]第一集气室设置有第一进气孔，第二集气室设置有第二进气孔，第一进气孔以及第二进气孔均用于与外界气源连通；第一集气室具有多个均与混合室连通的第一出气孔，第二集气室具有多个均与混合室连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种管式PECVD设备，其特征在于，包括炉管和集气管道；所述集气管道包括第一集气室、第二集气室和混合室；所述第一集气室设置有第一进气孔，所述第二集气室设置有第二进气孔，所述第一进气孔以及所述第二进气孔均用于与外界气源连通；所述第一集气室具有多个均与所述混合室连通的第一出气孔，所述第二集气室具有多个均与所述混合室连通的第二出气孔；所述混合室设置有与所述炉管连通的第三出气孔。2.根据权利要求1所述的管式PECVD设备，其特征在于，所述第三出气孔的数量为多个，多个所述第三出气孔均与所述炉管连通。3.根据权利要求2所述的管式PECVD设备，其特征在于，所述第一集气室、所述第二集气室以及所述混合室均沿所述炉管的周向延伸；多个所述第三出气孔均朝向所述炉管的径向开设且沿所述炉管的周向间隔设置。4.根据权利要求3所述的管式PECVD设备，其特征在于，所述第一集气室、所述第二集气室以及所述混合室均为环形。5.根据权利要求4所述的管式PECVD设备，其特征在于，所述混合室具有不与所述炉管连通的第一区域，所述第一区域沿所述炉管的周向的两端所对应的圆心角为30
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【专利技术属性】
技术研发人员：刘超，刘文国，周辉文，
申请(专利权)人：通威太阳能安徽有限公司，
类型：新型
国别省市：