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本申请涉及太阳能电池技术领域，具体而言，涉及一种管式PECVD设备。管式PECVD设备包括炉管和集气管道；集气管道包括第一集气室、第二集气室和混合室；第一集气室设置有第一进气孔，第二集气室设置有第二进气孔，第一进气孔以及第二进气孔均用于与外...
该专利属于通威太阳能(安徽)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过通威太阳能(安徽)有限公司授权不得商用。

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