一种硅晶棒的翻转装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅晶棒的翻转装置，包括底板，底板的顶部竖直设置有竖板，竖板的表面通过转轴设置有安装板，安装板远离竖板的一侧开设有安装槽，安装槽的内部设置有调节组件，调节组件上设置有两个夹持组件；调节组件包括齿轮、第一齿板、第二齿板、两个移动块和两个第一连接板，安装板的内部设置有第一电机，第一电机的输出端延伸至安装槽的内部并与齿轮连接，安装槽的内部设置有第一齿板和第二齿板，第一齿板和第二齿板分别位于齿轮的顶部和底部，且第一齿板和第二齿板相互远离，且第一齿板和第二齿板均与齿轮啮合连接，安装板的内部设置有两个移动槽。这样大大提升了夹持组件对硅晶棒的夹持效果。对硅晶棒的夹持效果。对硅晶棒的夹持效果。

【技术实现步骤摘要】
一种硅晶棒的翻转装置


[0001]本技术涉及硅晶棒加工
，具体涉及一种硅晶棒的翻转装置。

技术介绍

[0002]硅晶棒是制造集成电路的石英半导体材料，其生产一般主要包括几个工序：晶棒成长、晶棒裁切与检测、外径研磨。在加工过程中，需要专门的定位装置对硅晶棒进行夹持与翻转，以便满足不同工序的加工要求。现有的硅晶棒翻转装置上的夹持组件大多不具有调节能力，导致夹持组件对硅晶棒的夹持效果不好，影响对硅晶棒的加工。

技术实现思路

[0003]本技术提出一种硅晶棒的翻转装置，解决了现有技术中存在着硅晶棒的翻转装置上的夹持组件大多不具有调节能力，导致夹持组件对硅晶棒的夹持效果不好，影响对硅晶棒的加工的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅晶棒的翻转装置，包括底板，所述底板的顶部竖直设置有竖板，所述竖板的表面通过转轴设置有安装板，所述安装板远离所述竖板的一侧开设有安装槽，所述安装槽的内部设置有调节组件，所述调节组件上设置有两个夹持组件；
[0005]所述调节组件包括齿轮、第一齿板、第二齿板、两个移动块本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅晶棒的翻转装置，其特征在于，包括底板(1)，所述底板(1)的顶部竖直设置有竖板(2)，所述竖板(2)的表面通过转轴设置有安装板(3)，所述安装板(3)远离所述竖板(2)的一侧开设有安装槽，所述安装槽的内部设置有调节组件，所述调节组件上设置有两个夹持组件；所述调节组件包括齿轮(4)、第一齿板(5)、第二齿板(6)、两个移动块(7)和两个第一连接板(8)，所述安装板(3)的内部设置有第一电机，所述第一电机的输出端延伸至所述安装槽的内部并与所述齿轮(4)连接，所述安装槽的内部设置有所述第一齿板(5)和所述第二齿板(6)，所述第一齿板(5)和所述第二齿板(6)分别位于所述齿轮(4)的顶部和底部，且所述第一齿板(5)和所述第二齿板(6)相互远离，且所述第一齿板(5)和所述第二齿板(6)均与所述齿轮(4)啮合连接，所述安装板(3)的内部设置有两个移动槽，两个所述移动槽分别位于所述第一齿板(5)的顶部和所述第二齿板(6)的底部，两个所述移动槽的内部均设置有所述移动块(7)，两个所述移动块(7)的一端均延伸出所述移动槽，两个所述移动块(7)的延伸端分别与所述第一齿板(5)的顶部和所述第二齿板(6)的底部连接，所述第一齿板(5)和所述第二齿板(6)远离所述竖板(2)的一侧均设置有所述第一连接板(8)，两个所述第一连接板(8)均延伸...

【专利技术属性】
技术研发人员：李海云，于先功，
申请(专利权)人：青岛睿拓威智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：