半导体用大气等离子清洗设备制造技术

本实用新型专利技术涉及等离子清洗设备技术领域，尤其涉及半导体用大气等离子清洗设备。其技术方案包括：包括等离子清洗设备本体和电机，等离子清洗设备本体的一侧固定连接有散热箱，散热箱的一侧通过对接杆对接安装有安装架，安装架的一侧滑动安装有安装板。本实用新型专利技术通过设置有安装板、清洁板、安装架与对接杆之间的相互配合，可以较为方便的通过对接杆与散热箱之间进行对接安装，通过清洁板的一侧与通风口之间进行对接，通过安装板顺着活动杆进行移动，使安装板能够同步带动清洁板对通风口内部的灰尘进行清洁，能够减小对散热的影响，增加了实用时，使散热效果更好。使散热效果更好。使散热效果更好。

【技术实现步骤摘要】
半导体用大气等离子清洗设备


[0001]本技术涉及等离子清洗设备
，具体为半导体用大气等离子清洗设备。

技术介绍

[0002]等离子清洗机也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果，等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态，对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。
[0003]经检索，专利公告号为CN214184399U公开了一种等离子清洗设备，该技术涉及等离子应用
，具体是一种等离子清洗设备，所述外壳的内部顶端安装有电机箱，所述电机箱内安装有第二电机，所述第二电机的输出端贯穿电机箱并固定安装有转盘，所述转盘的下方等间距均匀安装有等离子发生器，所述外壳的内部底端一侧安装有真空泵，现有的技术中CN214184399U在使用的过程中，通风孔的内部会残留较多灰尘，内侧的灰尘不方便进行清理，影响散热效果，清理时较为麻烦，降低了实用性，同时在进行清洁后清洁板不方便进行更换，使在进行使用是不方便进行安装和拆卸，降低了实用性，鉴于此我们提出半导体用大气等离子清洗设备来解决现有的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供半导体用大气等离子清洗设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：半导体用大气等离子清洗设备，包括等离子清洗设备本体和电机，所述等离子清洗设备本体的一侧固定连接有散热箱，所述散热箱的一侧通过对接杆对接安装有安装架，所述安装架的一侧滑动安装有安装板，所述散热箱的顶部螺旋安装有与安装板配合的对接扣，所述散热箱的前端与后端皆滑动连接有卡合板。
[0006]可以较为方便的通过对接杆与散热箱之间进行对接安装，通过清洁板的一侧与通风口之间进行对接，通过安装板顺着活动杆进行移动，使安装板能够同步电动清洁板对通风口的内部进行清洁，使在进行清洁的过程中更加便捷，增加了实用时，使散热效果更好。
[0007]优选的，所述散热箱的一侧开设有通风口，安装板的内侧固定连接有与通风口对应的清洁板。通过清洁板的一侧与通风口之间进行对接，使安装板能够同步电动清洁板对通风口的内部进行清洁。
[0008]优选的，所述散热箱与卡合板之间通过限位板滑动连接，且卡合板与散热箱之间通过螺杆螺纹安装。通过螺杆能够带动卡合板顺着限位板移动，使卡合杆与卡合孔之间能够方便的进行对接，能够方便的将安装架与散热箱之间进行卡合。
[0009]优选的，所述卡合板的内侧焊接有延伸至散热箱内部的卡合杆，对接杆的外侧开
设有与卡合杆配合的卡合孔。卡合杆与卡合孔之间能够方便的进行对接，能够方便的将安装架与散热箱之间进行卡合，使在对安装架进行安装和拆卸时更加方便。
[0010]优选的，所述安装架与安装板之间通过活动杆滑动安装，且安装板与对接扣之间通过固定旋钮固定。通过固定旋钮能够方便豆浆安装板与对接扣之间进行固定，同时在对安装架进行拆卸的过程中，利用固定旋钮能够方便的进行分离，增加了实用性。
[0011]优选的，所述散热箱与对接扣之间通过往复丝杆螺旋安装，且散热箱的后端固定连接有与往复丝杆配合的电机。通过往复丝杆能够使卡合板顺着限位板进行移动，利用限位板能够方便的将卡合板进行限位，通过电机能够方便的带动往复丝杆旋转，使在进行清洁时更加方便。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、通过设置有安装板、清洁板、安装架与对接杆之间的相互配合，可以较为方便的通过对接杆与散热箱之间进行对接安装，通过清洁板的一侧与通风口之间进行对接，通过安装板顺着活动杆进行移动，使安装板能够同步带动清洁板对通风口内部的灰尘进行清洁，能够减小对散热的影响，增加了实用时，使散热效果更好。
[0014]2、通过设置有卡合板、卡合杆与卡合孔的相互配合，通过螺杆能够带动卡合板顺着限位板移动，使卡合杆与卡合孔之间能够方便的进行对接，能够方便的将安装架与散热箱之间进行卡合，使在对安装架进行安装和拆卸时更加方便，方便进行清洗维护，提高了便捷性。
附图说明
[0015]图1为本技术的外观立体示意图；
[0016]图2为本技术的散热箱主视图；
[0017]图3为本技术的安装架局部结构示意图；
[0018]图4为本技术的卡合板局部结构示意图。
[0019]图中：1、等离子清洗设备本体；101、散热箱；102、通风口；103、安装架；104、活动杆；105、安装板；106、对接杆；107、卡合孔；108、清洁板；2、电机；201、往复丝杆；202、对接扣；203、固定旋钮；204、限位板；205、卡合板；206、螺杆；207、卡合杆。
具体实施方式
[0020]下文结合附图和具体实施例对本技术的技术方案做进一步说明。
[0021]实施例一
[0022]如图1、图2、图3和图4所示，本技术提出的半导体用大气等离子清洗设备，包括等离子清洗设备本体1和电机2，等离子清洗设备本体1的一侧固定连接有散热箱101，散热箱101的一侧通过对接杆106对接安装有安装架103，安装架103的一侧滑动安装有安装板105，散热箱101的顶部螺旋安装有与安装板105配合的对接扣202，散热箱101的前端与后端皆滑动连接有卡合板205，散热箱101的一侧开设有通风口102，安装板105的内侧固定连接有与通风口102对应的清洁板108，散热箱101与卡合板205之间通过限位板204滑动连接，且卡合板205与散热箱101之间通过螺杆206螺纹安装，卡合板205的内侧焊接有延伸至散热箱101内部的卡合杆207，对接杆106的外侧开设有与卡合杆207配合的卡合孔107。
[0023]基于实施例1的半导体用大气等离子清洗设备工作原理是：可以较为方便的通过对接杆106与散热箱101之间进行对接安装，通过对接扣202与安装板105之间进行安装，通过清洁板108的一侧与通风口102之间进行对接，通过固定旋钮203能够将安装板105与对接扣202进行连接，通过电机2带动往复丝杆201旋转，使对接扣202能够往复移动，通过安装板105顺着活动杆104进行移动，使安装板105能够同步电动清洁板108对通风口102的内部进行清洁，使在进行清洁的过程中更加便捷，增加了实用时，通过螺杆206能够带动卡合板205顺着限位板204移动，使卡合杆207与卡合孔107之间能够方便的进行对接，能够方便的将安装架103与散热箱101之间进行卡合，使在对安装架103进行安装和拆卸时更加方便，对通风口102更好的进行更换，操作方便快捷。
[0024]实施例二
[0025]如图2和图4所示，本技术提出的半导体用大气等离子清洗设备，相较于实施例一，本实施例还包括：安装架103与安装板105之间通过活动杆104滑动安装，且安装板105与对接扣202之间通过固定旋钮203固定，散热箱10本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.半导体用大气等离子清洗设备，包括等离子清洗设备本体(1)和电机(2)，其特征在于：所述等离子清洗设备本体(1)的一侧固定连接有散热箱(101)，所述散热箱(101)的一侧通过对接杆(106)对接安装有安装架(103)，所述安装架(103)的一侧滑动安装有安装板(105)，所述散热箱(101)的顶部螺旋安装有与安装板(105)配合的对接扣(202)，所述散热箱(101)的前端与后端皆滑动连接有卡合板(205)。2.根据权利要求1所述的半导体用大气等离子清洗设备，其特征在于：所述散热箱(101)的一侧开设有通风口(102)，安装板(105)的内侧固定连接有与通风口(102)对应的清洁板(108)。3.根据权利要求1所述的半导体用大气等离子清洗设备，其特征在于：所述散热箱(101)与卡合板(205)之间通过限位板(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：万华亿，韦太球，
申请(专利权)人：深圳市震华等离子体智造有限公司，
类型：新型
国别省市：