一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法技术

本发明专利技术提供一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，涉及半导体废气处理领域，所述测试方法包括以下步骤：所述测试平台控制器向所述设备控制器发送设备运行指令；所述设备控制器控制设备处于点火运行状态；所述测试平台控制器在确定所述设备处于点火运行状态的情况下，向所述设备控制器发送报警指令。本发明专利技术实施例提供的基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，可自动进行检测工作，大大节约了人力，完全自动化的检测机制，解决了绝大部分的出厂测试项目，包括软件逻辑纠错、线缆差错等问题，提高了工厂质检效率，并且根据程序流程的执行，准确地完成了工作，改变了原来一直靠人工按步骤进行检测的枯燥乏味工作。枯燥乏味工作。枯燥乏味工作。

【技术实现步骤摘要】
一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法


[0001]本专利技术涉及半导体废气处理领域，尤其涉及一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法。

技术介绍

[0002]工厂在生产半导体测试设备的过程中，往往会花费很多的时间在产品的出厂测试上，工厂每天质检设备只有3台左右，而且也有人为原因会造成某些功能的漏检。采用人工的质检方式存在时间花费多，工作效率低，且易出现漏检的情况。

技术实现思路

[0003]本专利技术提供一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，用以解决现有的设备测试技术存在效率低和容易出现漏检的问题。
[0004]本专利技术提供一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，所述半导体废气处理设备的生产测试平台包括打印机、测试平台交互终端和测试平台控制器，所述测试平台交互终端分别与所述打印机以及所述测试平台控制器连接，所述设备控制器分别与所述设备交互终端以及所述测试平台控制器连接；所述测试方法包括以下步骤：
[0005]步骤100，所述测试平台控制器向所述设备控制器发送设备运行指令；
[0006]步骤110，所述设备控制器控制设备处于点火运行状态；
[0007]步骤120，所述测试平台控制器在确定所述设备处于点火运行状态的情况下，向所述设备控制器发送报警指令；
[0008]步骤130，所述设备控制器将所述报警信息发送至所述设备交互终端进行显示，并输出对应的控制信号控制设备的执行器动作；
[0009]步骤140，在所述测试平台控制器确定所述设备交互终端显示的报警信息与所述执行器的动作中的至少一个出现错误时，所述测试平台控制器将错误位置信息输出至所述测试平台交互终端进行显示。
[0010]根据本专利技术实施例提供的一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，在执行所述步骤100之前还执行以下步骤：
[0011]步骤80，所述测试平台控制器向所述设备控制器发送第一指令，所述设备控制器将采样数值上传至所述设备交互终端进行显示；
[0012]步骤90，所述测试平台控制器获取所述设备交互终端的显示数据，并将显示数据与所述设备控制器上传的数值进行一一比对，若出现数据对应错误则输出至所述测试平台交互终端进行显示，并通过所述打印机打印输出结果。
[0013]根据本专利技术实施例提供的一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，在执行所述步骤80之前还执行以下步骤：
[0014]步骤60，所述测试平台控制器向所述设备交互终端发送第二指令，所述设备交互终端将存储的设定值下传至所述设备控制器；
[0015]步骤70，所述测试平台控制器将所述设备交互终端下传的所述设定值与所述设备控制器接收的数据进行一一比对，若出现数据对应错误则输出至所述测试平台交互终端进行显示，并通过所述打印机打印输出结果。
[0016]根据本专利技术实施例提供的一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，在执行所述步骤140之后还执行以下步骤：
[0017]步骤150，所述测试平台控制器向所述设备控制器发送功能测试指令；
[0018]步骤160，所述测试平台控制器获取所述设备控制器与所述功能测试指令对应的输出信号和输入信号，并确定所述输出信号和所述输入信号分别与所述功能测试指令是否对应；
[0019]步骤170，若所述输出信号和所述输入信号中的至少一个与所述功能测试指令不对应，则所述测试平台控制器将错误位置信息输出至所述测试平台交互终端进行显示。
[0020]根据本专利技术实施例提供的一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，在执行所述步骤150之前还执行以下步骤：
[0021]步骤150a，所述测试平台控制器向所述设备控制器发送设备运行指令；
[0022]步骤150b，所述设备控制器控制设备处于点火运行状态；
[0023]步骤150c，所述测试平台控制器确定所述设备是否处于点火运行状态。
[0024]根据本专利技术实施例提供的一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，在执行所述步骤170之前还执行以下步骤：
[0025]步骤170a，将所述步骤150a至所述步骤160重复执行至少两次。
[0026]根据本专利技术实施例提供的一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，所述测试平台控制器和所述设备控制器均为 PLC控制器，所述测试平台交互终端与所述设备交互终端均为HMI。
[0027]根据本专利技术实施例提供的一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，所述输出信号和所述输入信号可以为模拟信号，也可为数字信号。
[0028]根据本专利技术实施例提供的一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，所有所述设定值均不相同。
[0029]根据本专利技术实施例提供的一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，所述执行器可以为电磁阀、电机或者流量计。
[0030]本专利技术实施例提供的基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，可自动进行检测工作，大大节约了人力，完全自动化的检测机制，解决了绝大部分的出厂测试项目，包括软件逻辑纠错、线缆差错等问题，提高了工厂质检效率，并且根据程序流程的执行，准确地完成了工作，改变了原来一直靠人工按步骤进行检测的枯燥乏味工作。
附图说明
[0031]为了更清楚地说明本专利技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0032]图1是本专利技术实施例提供的半导体废气处理设备的生产测试平台的结构示意图。
[0033]附图标记：
[0034]100、打印机；200、测试平台交互终端；300、测试平台控制器； 400、设备控制器；500、设备交互终端。
具体实施方式
[0035]下面结合附图和实施例对本专利技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不能用来限制本专利技术的范围。
[0036]在本专利技术实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0037]在本专利技术实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，所述半导体废气处理设备的生产测试平台包括打印机、测试平台交互终端和测试平台控制器，所述测试平台交互终端分别与所述打印机以及所述测试平台控制器连接，所述设备控制器分别与所述设备交互终端以及所述测试平台控制器连接；其特征在于，所述测试方法包括以下步骤：步骤100，所述测试平台控制器向所述设备控制器发送设备运行指令；步骤110，所述设备控制器控制设备处于点火运行状态；步骤120，所述测试平台控制器在确定所述设备处于点火运行状态的情况下，向所述设备控制器发送报警指令；步骤130，所述设备控制器将所述报警信息发送至所述设备交互终端进行显示，并输出对应的控制信号控制设备的执行器动作；步骤140，在所述测试平台控制器确定所述设备交互终端显示的报警信息与所述执行器的动作中的至少一个出现错误时，所述测试平台控制器将错误位置信息输出至所述测试平台交互终端进行显示。2.根据权利要求1所述的基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，其特征在于，在执行所述步骤100之前还执行以下步骤：步骤80，所述测试平台控制器向所述设备控制器发送第一指令，所述设备控制器将采样数值上传至所述设备交互终端进行显示；步骤90，所述测试平台控制器获取所述设备交互终端的显示数据，并将显示数据与所述设备控制器上传的数值进行一一比对，若出现数据对应错误则输出至所述测试平台交互终端进行显示，并通过所述打印机打印输出结果。3.根据权利要求2所述的基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，其特征在于，在执行所述步骤80之前还执行以下步骤：步骤60，所述测试平台控制器向所述设备交互终端发送第二指令，所述设备交互终端将存储的设定值下传至所述设备控制器；步骤70，所述测试平台控制器将所述设备交互终端下传的所述设定值与所述设备控制器接收的数据进行一一比对，若出现数据对应错误则输出至所述测试平台交互终端进行显示，并通过所述打印...

【专利技术属性】
技术研发人员：王松，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：