氟氮混合气中杂质含量分析系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种氟氮混合气中杂质含量分析系统，包括：第一六通阀，包括a1阀门至f1阀门，且a1阀门连接待分析的氟气；第一定量杯，其两端分别连接b1及e1阀门；第一载气单元，连接c1阀门；顺序串联于d1阀门的第一反应炉、第一三氧化铝吸附柱以及13X分子筛；第一反应气管道，连接于d1阀门及第一反应炉之间；第二六通阀，包括a2阀门至f2阀门，且a2阀门连接f1阀门，且f2阀门连接排气管道；第二定量杯，其两端分别连接b2及e2阀门；第二载气单元，连接c2阀门；顺序串联于d2阀门的第二反应炉、第二三氧化铝吸附柱以及Porapak Q柱；第二反应气管道，连接于d2阀门及第二反应炉之间；顺序连接于13X分子筛及Porapak Q柱之后的TCD检测器、甲烷转化炉以及FID检测器。甲烷转化炉以及FID检测器。甲烷转化炉以及FID检测器。

【技术实现步骤摘要】
氟氮混合气中杂质含量分析系统


[0001]本技术涉及一种氟氮混合气中杂质含量分析系统。

技术介绍

[0002]氟气是现代氟化工或氟化学领域中重要的材料之一，在新能源、新材料等领域应用越来越广泛。鉴于氟气的化学性质十分活泼，具有很强的氧化性，除全氟化合物外，可以与几乎所有有机物和无机物反应，这就很大程度限制了分析方法和分析辅助用品的选择。在GB/T 26251
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2010《氟及氟氮混合气》中也仅是将氟气转化为氯气来分析，所测得氯气含量表达为氟气含量，用差减法计算出HF的含量，这种分析方法不仅存在分析数据不准确的问题，同时氯气的强腐蚀性也会对分析仪器造成不可逆的损伤，大大降低了分析仪器及配件的使用寿命。
[0003]传统方法使用氟氯油柱，其内装粒径0.18mm
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0.25mm聚四氟氯乙烯担体，担体涂覆三氟氯乙烯，失效后更换。该色谱柱用于分离O2、N2、Cl2，并分析Cl2。该分析方法需将氟气转化为Cl2再进行分离检测，首先氟气的转化率不能确保完全进行，其次氟氯油柱何时失效难以把控，另外生成的Cl2有很强的腐蚀性，易造成配件腐蚀、老化。

技术实现思路

[0004]本技术提供了一种氟氮混合气中杂质含量分析系统，可以有效解决上述问题。
[0005]本技术是这样实现的：
[0006]一种氟氮混合气中杂质含量分析系统，包括：
[0007]第一六通阀，其包括a1阀门至f1阀门，且a1阀门连接待分析的氟气；
[0008]第一定量杯，其两端分别连接b1及e1阀门；
[0009]第一载气单元，连接c1阀门；
[0010]顺序串联于d1阀门的第一反应炉、第一三氧化铝吸附柱以及13X分子筛；
[0011]第一反应气管道，连接于d1阀门及所述第一反应炉之间；
[0012]第二六通阀，其包括a2阀门至f2阀门，且a2阀门连接f1阀门，且f2阀门连接排气管道；
[0013]第二定量杯，其两端分别连接b2及e2阀门；
[0014]第二载气单元，连接c2阀门；
[0015]顺序串联于d2阀门的第二反应炉、第二三氧化铝吸附柱以及Porapak Q柱；
[0016]第二反应气管道，连接于d2阀门及所述第二反应炉之间；
[0017]顺序连接于所述13X分子筛及所述Porapak Q柱之后的TCD检测器、甲烷转化炉以及FID检测器。
[0018]本技术的有益效果是：本技术提供的氟氮混合气中杂质含量分析系统，完全摒除了反应后气体的腐蚀性，使待分析气体中的氟气与气体A完全反应，微量的AxFy经
三氧化二铝填充柱充分吸收，彻底去除气体中的氟气及强酸物质，避免了氟气与后续色谱柱中的填充物反应以及AxFy对后续系统的腐蚀，从而准确分析出各杂质含量，提高了分析准确性。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0020]图1是本技术实施例提供的氟氮混合气中杂质含量分析系统的结构示意图。
[0021]图2
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4是本技术实施例提供的氟氮混合气中杂质含量分析方法的流程图。
[0022]图5是本技术实施例提供的氟氮混合气中杂质含量分析方法中FID检测器的出峰情况。
[0023]图6是本技术实施例提供的氟氮混合气中杂质含量分析方法中TCD检测器的出峰情况。
具体实施方式
[0024]为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。
[0025]在本技术的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0026]参照图1所示，本技术实施例提供一种氟氮混合气中杂质含量分析系统，其包括：
[0027]第一六通阀10，其包括a1阀门至f1阀门，且a1阀门连接待分析的氟气；
[0028]第一定量杯11，其两端分别连接b1及e1阀门；
[0029]第一载气单元32，连接c1阀门；
[0030]顺序串联于d1阀门的第一反应炉12、第一三氧化铝吸附柱13以及13X分子筛14；
[0031]第一反应气管道33，连接于d1阀门及所述第一反应炉12之间；
[0032]第二六通阀20，其包括a2阀门至f2阀门，且a2阀门连接f1阀门，且f2阀门连接排气管道；
[0033]第二定量杯21，其两端分别连接b2及e2阀门；
[0034]第二载气单元34，连接c2阀门；
[0035]顺序串联于d2阀门的第二反应炉22、第二三氧化铝吸附柱23以及Porapak Q柱24；
[0036]第二反应气管道35，连接于d2阀门及所述第二反应炉22之间；
[0037]顺序连接于所述13X分子筛14及所述Porapak Q柱24之后的TCD检测器15、甲烷转化炉16以及FID检测器17。
[0038]作为进一步改进的，所述第一载气单元32以及所述第二载气单元34可以为He气载气单元。
[0039]作为进一步改进的，所述第一定量杯11及所述第二定量杯21的容量相同，其容量可以为1～5毫升。在本实施例中，所述第一定量杯11及所述第二定量杯21用于对进入的待分析氟气气体进行定量，以便将定量后的气体进行分离和分析。因此，所述第一定量杯11及所述第二定量杯21确保了进行分离和分析前的气体的量是确定的，如此有利于进一步提高对杂质定量分析的准确程度。
[0040]在实施例中，所述第一定量杯11及所述第二定量杯21的容量被设置为如上范围是因为，一方面当定量杯的容量小于1毫升时，定量后的气体的总量相对较低，不可避免地要求后续分析仪器的分析精度提高，这将使得成本大大提高，换言之，如果分析仪器的分析精度有限，则定量杯的容量小于1毫升很本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氟氮混合气中杂质含量分析系统，其特征在于，包括：第一六通阀(10)，其包括a1阀门至f1阀门，且a1阀门连接待分析的氟气；第一定量杯(11)，其两端分别连接b1及e1阀门；第一载气单元(32)，连接c1阀门；顺序串联于d1阀门的第一反应炉(12)、第一三氧化铝吸附柱(13)以及13X分子筛(14)；第一反应气管道(33)，连接于d1阀门及所述第一反应炉(12)之间；第二六通阀(20)，其包括a2阀门至f2阀门，且a2阀门连接f1阀门，且f2阀门连接排气管道；第二定量杯(21)，其两端分别连接b2及e2阀门；第二载气单元(34)，连接c2阀门；顺序串联于d2阀门的第二反应炉(22)、第二三氧化铝吸附柱(23)以及Porapak Q柱(24)；第二反应气管道(35)，连接于d2阀门及所述第二反应炉(22)之间；顺序连接于所述13X分子筛(14)及所述Porapak Q柱(24...

【专利技术属性】
技术研发人员：王凤侠，张晓明，傅玉榕，张丽萍，赖金香，李婷，
申请(专利权)人：福建德尔科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：