【技术实现步骤摘要】
一种具有鼓氮功能的酸洗溶液槽
[0001]本技术属于LED生产制造过程中的酸洗设备，具体涉及一种具有鼓氮功能的酸洗溶液槽。
技术介绍
[0002]在现代LED生产制造过程中，因环境、运输、生产工艺等因素的影响会在晶片表面落下有机物。在匀胶作业前需要清洗，将晶片放在卡塞内，再由机械手将提篮依次放入指定的酸洗槽，该酸洗清洁效果一直是各个厂家追求的目标。国内现有大部分LED制作行业都是使用同一结构的酸洗槽，虽然槽体外观设计有所不同，但总体布局与功能大同小异。
[0003]现有酸洗溶液的配置方法，具体步骤如下
[0004]步骤一注入3L双氧水
[0005]其中双氧水可以使有碳化的机物形成气体排出。
[0006]步骤二注入15L浓硫酸
[0007]其中浓硫酸使芯片上的有机物等碳化。
[0008]步骤三打开槽内温控功能
[0009]控制混合后的溶液保持在一定温度，促进清洗效果。
[0010]现在的清洗方法由于浓硫酸的密度大于双氧水的密度，会使浓硫酸沉积在槽底处于下层，双氧水...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有鼓氮功能的酸洗溶液槽，包括槽体，其特征在于，在槽体内底部沿其周向固定安装特氟龙管，特氟龙管上具有若干个均匀分布的出气孔，特氟龙管的进气端位于槽体外，并且进气端连接单向阀的出口，单向阀的进口连接进气管道，进气管道连接开关阀，开关阀连接氮气气源。2.如权利要求1所述的具有鼓氮功能的酸洗溶液槽，其特征在于，槽体内固定安装有冷却管固定架，冷却管固定架上具有自上往下间隔设置的冷却管固定槽，特氟龙管固定在最下端的冷却管固定槽内。3.如...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐威，倪瑞，朱伟，徐东，
申请(专利权)人：淮安澳洋顺昌光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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