光罩固持系统及提供光罩固持系统观察光罩的方法技术方案

一种光罩固持系统及提供光罩固持系统观察光罩的方法，该光罩固持系统包括一内盒及一外盒。所述内盒配置来接收具有第一识别特征的一光罩，所述内盒包括：一内基座，具有一光罩容置区，其被一外围区域围绕，所述光罩容置区限定一相应地布置成允许观察所述第一识别特征的第一观察区；及一内盖，配置来与内基座的外围区域接合，从而限定一用于容置所述光罩的内部。所述外盒配置来接收内基座，并包括：一外基座，其上限定一第二观察区域，其中，当所述外基座接收所述内盒时，第二观察区域可观察地与第一观察区域对准；及一外盖，配置来与所述外基座接合并覆盖所述内盒。座接合并覆盖所述内盒。座接合并覆盖所述内盒。

【技术实现步骤摘要】
光罩固持系统及提供光罩固持系统观察光罩的方法
[0001]本申请是申请号为201980005342.3的分案申请，原申请的专利技术名称为“光掩膜固持系统”，原申请的申请日为2019年10月28日。


[0002]本申请要求于2018年10月29日提交的美国临时专利申请号62/751,736的优先权，其通过引用并入本文，并且成为说明书的一部分。
[0003]本公开涉及用于存储，输送，运输和处理诸如光罩和晶片的易碎物体的容器，尤其涉及用于存储，输送，运输和光罩的固持系统。

技术介绍

[0004]半导体工业中，基于光罩固持器的载荷精确度的要求的提高，光罩固持器也随着发展以强化对潜在的环境危害的保护。
[0005]例如，新一代的光罩固持器有时具有双盒结构，其包括用于容纳光罩的内盒，和用于容纳内盒的外盒。在输送过程中，光罩可能会收容在内盒中。为了执行光刻工艺，可以打开外盒以允许从中取出内盒。然后，在抵达曝光设备内部的指定位置时，可以打开内盒以使用光罩来进行后续曝光过程。

技术实现思路

[0006]根据一实施例，本公开本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光罩固持系统，其特征在于，包括：一内盒，配置来接收一光罩，所述光罩具有一第一识别特征，所述内盒包括：一内基座，具有一光罩容置区，所述光罩容置区被一外围区域围绕，其中，所述内基座具有限定在所述光罩容置区中的第一观察区，及一内盖，配置来与所述内基座的外围区域接合，从而限定用于容置所述光罩的一内部；以及一外盒，配置来接收所述内盒，所述外盒包括：一外基座，具有一第二观察区域，其中，当所述外基座接收所述内基座时，所述第二观察区域可观察的与所述内盒的所述第一观察区域对准，及一外盖，配置来与所述外基座接合并覆盖所述内盒；其中，所述第一观察区配置至少一内部光学组件以允许观察所述第一识别特征，所述第二观察区配置一外部光学组件，并使所述外部光学组件的几何中心投影偏移所述外基座的几何中心以及投影偏移所述内部光学组件，而所述内部光学组件投影重迭所述外部光学组件，且所述外部光学组件的平面轮廓包括一个或多个圆弧状部分。2.如权利要求1所述的光罩固持系统，其特征在于，所述光罩具有一护膜，所述第一观察区配置两个内部光学组件以允许分别观察所述第一识别特征与所述护膜的一部分，所述第二观察区配置所述外部光学组件，并使所述外部光学组件的几何中心投影偏移所述外基座的几何中心以及投影偏移所述两个内部光学组件，而所述两个内部光学组件皆投影的重迭所述外部光学组件。3.一种光罩固持系统，其特征在于，包括：一内盒，配置来接收一光罩，所述光罩具有一第一识别特征，所述内盒包括：一内基座，具有一光罩容置区，所述光罩容置区被一外围区域围绕，其中，所述内基座具有限定在所述光罩容置区中的第一观察区，及一内盖，配置来与所述内基座的外围区域接合，从而限定用于容置所述光罩的一内部；以及一外盒，配置来接收所述内盒，所述外盒包括：一外基座，具有一第二观察区域，其中，当所述外基座接收所述内基座时，所述第二观察区域可观察的与所述内盒的所述第一观察区域对准，及一外盖，配置来与所述外基座接合并覆盖所述内盒；其中，所述第一观察区配置至少一内部光学组件以允许观察所述第一识别特征，所述第二观察区配置一外部光学组件，并使所述外部光学组件的几何中心投影偏移所述外基座的几何中心以及投影偏移所述内部光学组件，所述内部光学组件部分重迭于所述外部光学组件的平面面积。4.如权利要求3所述的光罩固持系统，其特征在于，所述光罩具有一护膜，所述第一观察区配置两个内部光学组件以允许分别观察所述第一识别特征与所述护膜的一部分，所述第二观察区配置所述外部光学组件，并使所述外部光学组件的几何中心投影偏移所述外基座的几何中心以及投影偏移所述两个内部光学组件，所述两个内部光学组件部分重迭于所述外部光学组件的平面面积。5.一种光罩固持系统，其特征在于，包括：一内盒，配置来接收一光罩，所述光罩具有一第一识别特征，所述内盒包括：一内基座，具有一光罩容置区，所述光罩容置区被一外围区域围绕，其中，所述内基座具有限定在所述光罩容置区中的第一观察区，及一内盖，配置来与所述内基座的外围区域接合，从而限定用于容置所述光罩的一内部；以及
一外盒，配置来接收所述内盒，所述外盒包括：一外基座，具有一第二观察区域，其中，当所述外基座接收所述内基座时，所述第二观察区域可观察的与所述内盒的所述第一观察区域对准，及一外盖，配置来与所述外基座接合并覆盖所述内盒；其中，所述第一观察区配置至少一内部光学组件以允许观察所述第一识别特征，所述第二观察区配置一外部光学组件，并使所述外部光学组件以及所述内部光学组件投影偏移所述外基座的几何中心，而所述内部光学组件投影的重迭所述外部光学组件。6.如权利要求5所述的光罩固持系统，其特征在于，所述光罩具有一护膜，所述第一观察区配置两个内部光学组件以允许分别观察所述第一识别特征与所述护膜的一部分，所述第二观察区配置所述外部光学组件，并使所述外部光学组件的几何中心投影偏移所述外基座的几何中心以及投影偏移所述两个内部光学组件，而所述两个内部光学组件皆投影的重迭所述外部光学组件。7.一种光罩固持系统，其特征在于，包括：一内盒，配置来接收一光罩，所述光罩具有一第一识别特征，所述内盒包括：一内基座，具有一光罩容置区，所述光罩容置区被一外围区域围绕，其中，所述内基座具有限定在所述光罩容置区中的第一观察区，及一内盖，配置来与所述内基座的外围区域接合，从而限定用于容置所述光罩的一内部；以及一外盒，配置来接收所述内盒，所述外盒包括：一外基座，具有一第二观察区域，其中，当所述外基座接收所述内基座时，所述第二观察区域可观察的与所述内盒的所述第一观察区域对准，及一外盖，配置来与所述外基座接合并覆盖所述内盒；其中，所述第一观察区配置至少一内部光学组件以允许观察所述第一识别特征，所述第二观察区配置一外部光学组件且所述内部光学组件投影的重迭所述外部光学组件，所述外基座具有矩形轮廓且具有一对称轴，所述外部光学组件的几何中心到所述对称轴的距离小于所述矩形轮廓的长度和/或宽度的30％。8.如权利要求7所述的光罩固持系统，其特征在于，所述光罩具有一护膜，所述第一观察区配置两个内部光学组件以允许分别观察所述第一识别特征与所述护膜的一部分，且所述两个内部光学组件皆投影的重迭所述外部光学组件。9.一种光罩固持系统，其特征在于，包括：一内盒，配置来接收一光罩，所述光罩具有一第一识别特征，所述内盒包括：一内基座，具有一光罩容置区，所述光罩容置区被一外围区域围绕，其中，所述内基座具有限定在所述光罩容置区中的第一观察区，及一内盖，配置来与所述内基座的外围区域接合，从而限定用于容置所述光罩的一内部；以及一外盒，配置来接收所述内盒，所述外盒包括：一外基座，具有一第二观察区域，其中，当所述外基座接收所述内基座时，所述第二观察区域可观察的与所述内盒的所述第一观察区域对准，及一外盖，配置来与所述外基座接合并覆盖所述内盒；其中，所述第一观察区配置至少一内部光学组件以允许观察所述第一识别特征，所述第二观察区配置一外部光学组件且所述内部光学组件投影的重迭所述外部光学组件，所述外基座具有矩形轮廓且具有一对称轴，所述外部光学组件的几何中心到所述对称轴的距离大于所述矩形轮廓的长度和/或宽度的10％。10.如权利要求9所述的光罩固持系统，其特征在于，所述光罩具有一护膜，所述第一观
察区配置两个内部光学组...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱铭乾，庄家和，林书弘，薛新民，
申请(专利权)人：家登精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：