下载光罩固持系统及提供光罩固持系统观察光罩的方法的技术资料

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一种光罩固持系统及提供光罩固持系统观察光罩的方法,该光罩固持系统包括一内盒及一外盒。所述内盒配置来接收具有第一识别特征的一光罩,所述内盒包括:一内基座,具有一光罩容置区,其被一外围区域围绕,所述光罩容置区限定一相应地布置成允许观察所述第一识...
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