一种超纯氨水的制备方法技术

本申请涉及一种超纯氨水的制备方法，包括如下步骤：（1）将液氨原料进行蒸发，得到汽氨；（2）将汽氨与液体进行分离，并进行活性炭吸附处理，得到一级氨气；（3）将一级氨气经过树脂吸附进行除油处理；（4）将除油处理后的汽氨进行水气分离，得到水气和二级氨气（5）将二级氨气使用超纯水进行多级吸收得到一级氨水；（6）将一级氨水使用金属离子吸附剂进行金属离子吸附，得到二级氨水；（7）将二级氨水进行超滤处理，得到超纯氨水。本申将一级氨水使用金属离子吸附剂进行金属离子的吸附，可达到提升超纯氨水的纯度的效果。氨水的纯度的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种超纯氨水的制备方法


[0001]本申请涉及超纯氨水制备的领域，尤其是涉及一种超纯氨水的制备方法。

技术介绍

[0002]超纯氨是微电子氮化硅和氮化镓掩蔽膜的主要材料，是光电子领域、半导体、发光二极管行业的重要原材料。其纯度对器件产品的使用寿命、材料的电学性能和光学性能具有直接的影响。
[0003]公开号为CN109133097A的中国专利申请文献公开了一种氨水的生产方法，包括以下步骤：(1)将工业级液氨通过减压阀调节流量进入液氨气化器，进行液氨气化，液氨气化流速稳定，制备得到氨气，备用；(2)将步骤(1)得到的氨气通过油水分离器除去氨气中又分和水分；(3)将步骤(2)得到的氨气用超纯水吸收得到氨水；(4)用微孔膜将步骤(3)中所得氨水进行过滤，收集滤液得到超纯氨水。本专利技术避免了传统方法中的精馏过程，操作简单，能耗低，产品质量稳定。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人认为超纯氨在制备过程中对金属离子的浓度有严格的要求，金属离子的含量会影响超纯氨水的纯度，故有必要研发一种可以降低超纯氨水中金属离子含量的超纯氨水的制本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超纯氨水的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：（1）将液氨原料进行蒸发，得到汽氨；（2）将汽氨与液体进行分离，并进行活性炭吸附处理，得到一级氨气；（3）将一级氨气经过树脂吸附进行除油处理；（4）将除油处理后的汽氨进行水气分离，得到水气和二级氨气（5）将二级氨气使用超纯水进行多级吸收得到一级氨水；（6）将一级氨水使用金属离子吸附剂进行金属离子吸附，得到二级氨水（7）将二级氨水进行超滤处理，得到超纯氨水。2.根据权利要求1所述的一种超纯氨水的制备方法，其特征在于：所述金属离子吸附剂的制备方法包括如下步骤：将改性氧化石墨烯与海藻酸钠混合后，加入去离子水与聚谷氨酸，搅拌均匀后，得到混合溶液；将混合溶液加入含有戊二醛和氯化钙的溶液中，搅拌后得到凝胶，凝胶用去离子水洗涤后得到金属离子吸附剂。3.根据权利要求2所述的一种超纯氨水的制备方法，其特征在于：所述改性氧化石墨烯的制备方法包括如下...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨鑫焱，徐成术，
申请(专利权)人：江苏达诺尔科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：