振动板接合体制造技术

在包含高刚性陶瓷的振动板与支撑基板的接合体的基础上，提供能够维持振动板的强度且防止振动板的剥离或开裂的结构。振动板接合体5具备：支撑基板3，其包含硅；振动板1A，其包含高刚性陶瓷且厚度为100μm以下；以及接合层2，其包含α－Si，位于支撑基板3与振动板1A之间，并与振动板1A的接合面1a接触。振动板1A的接合面1a的算术平均粗糙度Ra为0.01nm以上10.0nm以下，振动板1A的接合面1a的蚀坑密度为每100μm2具有10个以上。具有10个以上。具有10个以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】振动板接合体


[0001]本专利技术涉及能够用于MEMS(Micro Electro Mechanical System)镜等的将高刚性陶瓷振动板与支撑基板接合而成的接合体。

技术介绍

[0002]平视显示器(HUD)是“以在将视线保持于前方的状态下将需要的信息映入视野的方式进行显示的装置”。在汽车的驾驶中，与看仪表面板、控制台面板上的信息的情形相比，能够在将视线保持于前方的状态下看到信息，因此，对防止漫不经心的驾驶有效，此外，眼睛的焦点移动减少，所以，能够减轻司机的疲劳并提高安全性。
[0003]对HUD的原理进行说明。将荧光管、CRT、液晶显示器的图像映入车的挡风玻璃或透明的屏幕(合路器)。此处，HUD根据光学结构的不同而具有以下的2种方式。
[0004](1)以挡风玻璃等为屏幕而直接投影图像的Direct Projection方式
[0005](2)使挡风玻璃等作为反射镜发挥作用并在司机的视网膜上成像的Virtual Imaging方式
[0006]上述方式的最大区别在于：司机看到图像时的距离感。Direc本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种振动板接合体，其特征在于，具备：支撑基板，该支撑基板包含硅；振动板，该振动板包含高刚性陶瓷且厚度为100μm以下；以及接合层，该接合层包含α－Si，位于所述支撑基板与所述振动板之间，并与所述振动板的表面接触，所述振动板的所述表面的算术平均粗糙度Ra为0.01nm以上10.0nm以下，所述振动板的所述表面的蚀坑密度为每100μm2有10个以上。2.根据权利要求1所述的振动板接合体，其特征在于，所述接合层和所述支撑基板直接键合。3.根据权利要求1或2所述的振动板接合体，其特征在于，所述高刚性陶瓷选自由硅铝氧氮陶瓷、堇青石、多铝红柱石、透光性氧化铝、氮化铝、氮化硅及碳化硅构成的组。4.一种振动板接合体的制造方法，其包括：在包含高刚性陶瓷的高刚性陶瓷板的表面设置包含α－Si的接合层的工序、接下来将所述接合层的接合面和包含硅的支撑基板的...

【专利技术属性】
技术研发人员：鹈野雄大，多井知义，浅井圭一郎，丹羽真人，
申请(专利权)人：日本碍子株式会社，
类型：发明
国别省市：