压电微机械超声波换能器及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种压电微机械超声波换能器及其制作方法，该压电微机械超声波换能器包括：一基底，包括一角部；一空腔，设置于所述基底内；一阻挡结构，接触所述基底的所述角部和所述空腔；以及一多层结构，设置于所述空腔上方并附着所述阻挡结构，其中，该多层结构包括接触所述空腔的至少一通孔。该制作方法包括：提供一基底；形成一阻挡结构，该阻挡结构接触所述基底；形成一多层结构，该多层结构设置于所述基底和所述阻挡结构上；形成至少一通孔，所述至少一通孔穿透所述多层结构；以及，经由所述至少一通孔对所述基底提供一蚀刻剂，以蚀刻所述基底的一部分而形成一空腔，其中所述阻挡结构直接接触该空腔。挡结构直接接触该空腔。挡结构直接接触该空腔。

【技术实现步骤摘要】
压电微机械超声波换能器及其制作方法


[0001]本专利技术涉及微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)的
，特别是涉及一种压电微机械超声波换能器(Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer,PMUT)及其制作方法。

技术介绍

[0002]在过去的几十年里，微机械超声波换能器(Micro Machined Ultrasonic Transducer,MUTs)受到了广泛的关注和研究，并成为各种消费电子产品的重要组成，例如是指纹传感器、邻近(proximity)传感器和手势传感器中的组成部件。一般来说，MUTs可以被分为两大类，例如是电容式微机械超声波换能器(CMUTs)和压电微机械超声波换能器(PMUTs)。对于典型的压电微机械超声波换能器而言，压电微机械超声波换能器包括由弹性材料、电极和压电材料所构成的膜层，此膜层会被设置于作为声波谐振器的空腔上，以提升压电微机械超声波换能器的声学性能。在压电微机械超声波换能器运作的过程中，经由膜层的振动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电微机械超声波换能器，其特征在于，包括：一基底，包括一角部；一空腔，设置于所述基底内；一阻挡结构，接触所述基底的所述角部和所述空腔；以及一多层结构，设置于所述空腔上方并附着所述阻挡结构，其中，该多层结构包括接触所述空腔的至少一通孔。2.如权利要求1所述的压电微机械超声波换能器，其特征在于，所述阻挡结构的高度大于所述至少一通孔的1/2高度。3.如权利要求1所述的压电微机械超声波换能器，其特征在于，所述多层结构包括至少两个电极和一压电层，该压电层设置于所述至少两个电极之间。4.如权利要求1所述的压电微机械超声波换能器，其特征在于，还包括一介电层，设置于所述多层结构上且填充至所述至少一通孔的一上部。5.如权利要求1所述的压电微机械超声波换能器，其特征在于，所述基底的材质相异于所述阻挡结构的材质，并且当使用气态氢氟酸作为蚀刻剂时，该蚀刻剂对于该基底和该阻挡结构的蚀刻选择比大于10。6.如权利要求5所述的压电微机械超声波换能器，其特征在于，所述基底为结晶硅所组成，且所述阻挡结构为氧化硅所组成。7.如权利要求1所述的压电微机械超声波换能器，其特征在于，所述阻挡结构的一下部埋设于所述基底中。8.如权利要求1所述的压电微机械超声波换能器，其特征在于，所述空腔的一底面高于所述阻挡结构的一底面。9.如权利要求1所述的压电微机械超声波换能器，其特征在于，所述阻挡结构的一侧壁重合于所述空腔的一侧壁。10.如权利要求1所述的压电微机械超声波换能器，其特征在于，还包括一介电层，设置于所述基底和所述多层结构之间，其中该介电层与所述阻挡结构具有相同的组成。11.如权利要求1所述的压电微机械超声波换能器，其特征在于，还包括设置于所述空腔下方并直接接触所述空腔的另一空腔，其中所述另一空腔的直径小于所述空腔的直径。12.如权利要求1所述的压电微机械超声波换能器，其特征在于，所述阻挡结构的一上部侧壁未切齐于该阻挡结构的...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱优，琼，
申请(专利权)人：世界先进积体电路股份有限公司，
类型：发明
国别省市：