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本发明公开了一种压电微机械超声波换能器及其制作方法，该压电微机械超声波换能器包括：一基底，包括一角部；一空腔，设置于所述基底内；一阻挡结构，接触所述基底的所述角部和所述空腔；以及一多层结构，设置于所述空腔上方并附着所述阻挡结构，其中，该多层...
该专利属于世界先进积体电路股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过世界先进积体电路股份有限公司授权不得商用。

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