压电设备及MEMS设备制造技术

提供一种压电设备及MEMS设备，能够实现小型化。压电设备具备：第一基板，包括第一面，所述第一面配置有压电元件以及连接于所述压电元件的第一电极的；第二基板，包括第二面，所述第二面配置有连接于控制电路的第二电极；以及第三基板，配置在所述第一基板与所述第二基板之间，所述第三基板包括与所述第一面接合的第三面以及与所述第二面对置的第四面，所述第三基板具备：贯穿孔，从所述第三面贯穿到所述第四面；以及第三电极，设置于所述贯穿孔并连接于所述第一电极，所述第二电极连接于所述第三电极并经由所述第三电极与所述第一电极电连接。接。接。

【技术实现步骤摘要】
压电设备及MEMS设备


[0001]本专利技术涉及压电设备及MEMS(微机电系统)设备。

技术介绍

[0002]以往，已知有安装有MEMS设备的电子设备，该MEMS设备具备MEMS元件。
[0003]例如，专利文献1所记载的电子设备为打印机，并具备喷出墨而在记录介质上形成图像的记录头。
[0004]该记录头中，以面对供给墨的压力室的方式设置致动器单元，并通过致动器单元使压力室的压力变化而使墨从设置于压力室的喷嘴喷出。
[0005]该致动器单元是设置有压电元件作为MEMS元件的压电设备，并具备：面对压力室设置的振动板、设置于振动板的压电元件、控制压电元件的驱动IC以及配置在振动板与驱动IC之间的密封板。
[0006]密封板具有与振动板对置的面以及贯穿与驱动IC对置的面的贯穿孔，在该贯穿孔中设置有贯穿布线。另外，在密封板的与振动板对置的面上设置有与贯穿布线导通的导电膜，该导电膜经由凸起电极与设置在振动板的独立端子导通。另一方面，在密封板的与驱动IC对置的面上设置有与贯穿布线导通的上表面侧布线，且上表面侧布线连接于驱动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电设备，其特征在于，具备：第一基板，包括第一面，所述第一面配置有压电元件以及连接于所述压电元件的第一电极；第二基板，包括第二面，所述第二面配置有连接于控制电路的第二电极；以及第三基板，配置在所述第一基板与所述第二基板之间，所述第三基板包括与所述第一面接合的第三面以及与所述第二面对置的第四面，所述第三基板具备：贯穿孔，从所述第三面贯穿到所述第四面；以及第三电极，设置于所述贯穿孔并连接于所述第一电极，所述第二电极连接于所述第三电极并经由所述第三电极与所述第一电极电连接。2.根据权利要求1所述的压电设备，其特征在于，所述第三电极粘接于所述第二电极。3.根据权利要求2所述的压电设备，其特征在于，所述第三电极是包含金属填料的树脂系粘接剂。4.根据权利要求1至3中任一项所述的压电设备，其特征在于，在所述第一基板上，设置有多个所述第一电极，在所述第二基板上，与多个所述第一电极对应地设置有多个所述第二电极，在所述第三基板上，与多个所述第一电极对应地设置有多个所述贯穿孔和多个所述第三电极，一个所述第三电极连接于一个所述第二电极，在所述第二基板与所述第三基板之间设置有将相邻的所述第二电极之间隔开的壁部。5.根据权利要求4所述的压电...

【专利技术属性】
技术研发人员：大泽荣治，岩井光，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：