本发明专利技术公开了一种大电流测试的探针测试设备，具体涉及芯片测试设备技术领域，包括测试仪，所述测试仪的表面通过导线电性连接有测试探针套筒，所述测试探针套筒的侧面固定连接有对称分布的第一升降杆和第二升降杆，所述第一升降杆和第二升降杆远离测试探针套筒的一端分别固定有第一升降空心螺纹滑块和第二升降空心螺纹滑块，所述第一升降空心螺纹滑块的表面通过导轨滑动连接有第一升降控制箱。本发明专利技术自动控制测试探针套筒上下移动，延长探针使用寿命，避免硅片等待检测物沾染汗渍和杂质提高检测精度，固定硅片等待检测物，避免其在检测台上收到触碰滑动，保证检测过程中硅片等待检测物保持与探针的相对静止，从而保证检测结果准确性。果准确性。果准确性。
【技术实现步骤摘要】
一种用于大电流测试的探针测试设备
[0001]本专利技术涉及芯片测试设备
，更具体地说，本专利技术涉及一种用于大电流测试的探针测试设备。
技术介绍
[0002]近年来半导体制程技术突飞猛进，超前摩尔定律预估法则好几年，现阶段已向7纳米以下挺进。产品讲求轻薄短小，IC体积越来越小、功能越来越强、脚数越来越多，为了降低芯片封装所占的面积与改善IC效能，现阶段覆晶方式封装普遍被应用于绘图芯片、芯片组、存储器及CPU等。上述高阶封装方式单价高昂，如果能在封装前进行芯片测试，发现有不良品存在晶圆当中，即进行标记，直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本。
[0003]但是在实际使用时，现有的探针测试设备大多采用人工手动控制探针上下移动，测试准备程序不够自动化，容易导致探针与硅片冲击，进而损坏探针，缩短探针测试设备使用寿命，同时传统的探针测试设备往往采用人工手动调整硅片等待检测物的位置，进而与探针对准，容易导致硅片等待检测物的表面沾染汗渍和杂质，进而影响检测结果的准确性，且市场上现有的探针测试设备常常将硅片等待检测物直接放置在检测台上，硅片容易收到触碰，进而影响检测过程和检测结果。
技术实现思路
[0004]为了克服现有技术的上述缺陷，本专利技术的实施例提供一种用于大电流测试的探针测试设备，通过设置升降控制机构，自动控制测试探针套筒上下移动，延长探针使用寿命，同时设置移动调节机构，避免硅片等待检测物沾染汗渍和杂质，导致内部短路，从而提高检测精度，确保检测结果的准确性，且设置固定机构，固定硅片等待检测物，避免其在检测台上收到触碰滑动，保证检测过程中硅片等待检测物保持与探针的相对静止，从而保证检测结果准确性，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种用于大电流测试的探针测试设备，包括测试仪，所述测试仪的表面通过导线电性连接有测试探针套筒，所述测试探针套筒的侧面固定连接有对称分布的第一升降杆和第二升降杆，所述第一升降杆和第二升降杆远离测试探针套筒的一端分别固定有第一升降空心螺纹滑块和第二升降空心螺纹滑块，所述第一升降空心螺纹滑块的表面通过导轨滑动连接有第一升降控制箱，所述第二升降空心螺纹滑块的表面通过导轨滑动连接有第二升降控制箱，所述第一升降控制箱和第二升降控制箱的底部固定连接有升降底座，所述升降底座、第一升降控制箱和第二升降控制箱的内部设置有升降控制机构，所述升降底座的顶部固定连接有水平调节箱，所述水平调节箱的内部设置有移动调节机构，所述水平调节箱的顶部固定连接有检测台，所述检测台的表面设置有固定机构。
[0006]进一步的，所述升降控制机构包括升降传动轴，所述升降传动轴的两端通过轴承
座与升降底座的内壁转动连接，所述升降底座的侧面通过安装座固定安装有升降驱动电机，所述升降驱动电机的输出轴通过联轴器固定连接有穿设于升降底座的内部的升降主动轴，所述升降主动轴的表面固定套接有主动升降锥齿轮，所述升降传动轴的表面固定套接有从动升降锥齿轮，所述从动升降锥齿轮与主动升降锥齿轮啮合连接。
[0007]进一步的，所述第一升降控制箱的内部通过轴承座转动连接有穿设于升降底座内部的第一升降螺杆，所述第一升降螺杆的表面与第一升降空心螺纹滑块的内部啮合连接，所述第一升降螺杆伸入升降底座内部的一端表面固定套接有第一从动传动升降锥齿轮，所述升降传动轴的表面固定套接有对称分布的第一主动传动升降锥齿轮和第二主动传动升降锥齿轮，所述第一主动传动升降锥齿轮与第一从动传动升降锥齿轮啮合连接。
[0008]进一步的，所述第二升降控制箱的内部通过轴承座转动连接有穿设于升降底座内部的第二升降螺杆，所述第二升降螺杆的表面与第二升降空心螺纹滑块的内部啮合连接，所述第二升降螺杆伸入升降底座内部的一端表面固定套接有第二从动传动升降锥齿轮，所述第二从动传动升降锥齿轮与第二主动传动升降锥齿轮啮合连接。
[0009]进一步的，所述移动调节机构包括水平调节电机，所述水平调节电机的底部通过安装座与水平调节箱的内壁固定连接，所述水平调节电机的输出轴通过联轴器固定连接有水平调节螺杆。
[0010]进一步的，所述水平调节箱的内部固定连接有滑动支架，所述滑动支架与水平调节箱的内壁之间分别通过导轨滑动连接有上下固定连接的水平调节空心螺纹滑块和竖直调节箱，所述水平调节空心螺纹滑块的内部与水平调节螺杆的表面啮合连接。
[0011]进一步的，所述竖直调节箱的内部通过安装座固定安装有竖直调节电机，所述竖直调节电机的输出轴通过联轴器固定连接有竖直调节螺杆，所述竖直调节箱的内部通过导轨滑动连接有竖直调节空心螺纹滑块，所述竖直调节空心螺纹滑块的顶部与检测台的底部固定连接，所述竖直调节空心螺纹滑块的内部与竖直调节螺杆的表面啮合连接。
[0012]进一步的，所述固定机构包括固定框，所述固定框的侧面固定连接有合页，所述合页远离固定框的一端与检测台固定连接。
[0013]进一步的，所述固定框远离合页的一端固定连接有U型锁紧块，所述检测台远离合页的一端开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部啮合连接有锁紧螺杆，所述锁紧螺杆的表面固定套接有锁紧垫片，所述锁紧垫片和锁紧螺杆与U型锁紧块活动衔接，所述锁紧螺杆伸出螺纹孔的一端表面固定连接有锁紧把手。
[0014]本专利技术的技术效果和优点：
[0015]1、与现有技术相比，通过设置升降控制机构，通过控制升降驱动电机工作，带动升降主动轴和主动升降锥齿轮转动，进而带动从动升降锥齿轮和升降传动轴转动，进而带动第一主动传动升降锥齿轮和第二主动传动升降锥齿轮转动，从而带动第一从动传动升降锥齿轮和第二从动传动升降锥齿轮转动，进而带动第一升降螺杆和第二升降螺杆转动，从而带动第一升降空心螺纹滑块和第二升降空心螺纹滑块上下滑动，进而带动第一升降杆和第二升降杆上下移动，从而自动控制测试探针套筒上下移动，延长探针使用寿命。
[0016]2、与现有技术相比，通过设置移动调节机构，通过控制水平调节电机和竖直调节电机工作，带动水平调节螺杆和竖直调节螺杆转动，进而带动水平调节空心螺纹滑块和竖直调节空心螺纹滑块滑动，进而在探针底部移动调节检测台，避免硅片等待检测物沾染汗
渍和杂质，导致内部短路，从而提高检测精度，确保检测结果的准确性。
[0017]3、与现有技术相比，通过设置固定机构，通过控制锁紧把手转动，带动锁紧螺杆和锁紧垫片转动，进而使固定框与检测台保持固定，从而固定硅片等待检测物，避免其在检测台上收到触碰滑动，保证检测过程中硅片等待检测物保持与探针的相对静止，从而保证检测结果准确性。
附图说明
[0018]图1为本专利技术的整体结构示意图。
[0019]图2为本专利技术升降控制机构结构示意图。
[0020]图3为本专利技术水平调节箱结构示意图。
[0021]图4为本专利技术竖直调节箱结构示意图。
[0022]图5为本专利技术A处放大图。
[0023]附图标记为：1、测试仪；2、测试探针套筒；3、第一升降杆；4、第本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于大电流测试的探针测试设备，包括测试仪(1)，其特征在于：所述测试仪(1)的表面通过导线电性连接有测试探针套筒(2)，所述测试探针套筒(2)的侧面固定连接有对称分布的第一升降杆(3)和第二升降杆(4)，所述第一升降杆(3)和第二升降杆(4)远离测试探针套筒(2)的一端分别固定有第一升降空心螺纹滑块(5)和第二升降空心螺纹滑块(6)，所述第一升降空心螺纹滑块(5)的表面通过导轨滑动连接有第一升降控制箱(7)，所述第二升降空心螺纹滑块(6)的表面通过导轨滑动连接有第二升降控制箱(8)，所述第一升降控制箱(7)和第二升降控制箱(8)的底部固定连接有升降底座(9)，所述升降底座(9)、第一升降控制箱(7)和第二升降控制箱(8)的内部设置有升降控制机构，所述升降底座(9)的顶部固定连接有水平调节箱(10)，所述水平调节箱(10)的内部设置有移动调节机构，所述水平调节箱(10)的顶部固定连接有检测台(11)，所述检测台(11)的表面设置有固定机构。2.根据权利要求1所述的一种用于大电流测试的探针测试设备，其特征在于：所述升降控制机构包括升降传动轴(12)，所述升降传动轴(12)的两端通过轴承座与升降底座(9)的内壁转动连接，所述升降底座(9)的侧面通过安装座固定安装有升降驱动电机(13)，所述升降驱动电机(13)的输出轴通过联轴器固定连接有穿设于升降底座(9)的内部的升降主动轴(14)，所述升降主动轴(14)的表面固定套接有主动升降锥齿轮(15)，所述升降传动轴(12)的表面固定套接有从动升降锥齿轮(16)，所述从动升降锥齿轮(16)与主动升降锥齿轮(15)啮合连接。3.根据权利要求2所述的一种用于大电流测试的探针测试设备，其特征在于：所述第一升降控制箱(7)的内部通过轴承座转动连接有穿设于升降底座(9)内部的第一升降螺杆(17)，所述第一升降螺杆(17)的表面与第一升降空心螺纹滑块(5)的内部啮合连接，所述第一升降螺杆(17)伸入升降底座(9)内部的一端表面固定套接有第一从动传动升降锥齿轮(18)，所述升降传动轴(12)的表面固定套接有对称分布的第一主动传动升降锥齿轮(19)和第二主动传动升降锥齿轮(20)，所述第一主动传动升降锥齿轮(19)与第一从动传动升降锥齿轮(18)啮合连接。4.根据权利要求3所述的一种用于大电流测试的探针测试设备，其特征在于：所述第二升降控制箱(8)的内部通过轴承座转动连...
【专利技术属性】
技术研发人员：王文兵，刘才君，刘泽鑫，
申请(专利权)人：深圳市容微精密电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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