一种用于ICP-MS的阀门装置及真空系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于ICP

【技术实现步骤摘要】
一种用于ICP
‑
MS的阀门装置及真空系统


[0001]本技术涉及真空仪器，尤其是涉及一种用于ICP
‑
MS的阀门装置及真空系统。

技术介绍

[0002]电感耦合等离子质谱(ICP
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MS)法由于其具有检出限低、准确度高、线性范围宽且多种元素同时测定等优点，与其他技术相比，显示了较强的竞争力，应用越来越广泛。同时，各生产厂家对ICP
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MS仪器的生产制造过程，愈加精益求精。
[0003]ICP
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MS采用一种称为“差压抽气”的技术，通过几个分立的真空级使压力逐渐降至要求的值。因此，用这种方式时，仪器需将不同的真空区域隔开，每级都有自己的密封真空室和抽气泵。ICP
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MS中第一级真空与第二级真空通过阀门进行联通与隔绝。目前市面上的仪器基本采用气缸制动的阀门。当仪器工作时，气缸动作打开阀门。当仪器待机时，气缸再次动作，关闭阀门，保护真空不泄露。质谱仪的真空系统要求滑动阀打开时，速度应该慢一点，阀门逐渐打开，能够减少对后续真空系统的冲击本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于ICP
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MS的阀门装置，阀门装置(1)设于ICP
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MS仪第一级真空室(21)与第二级真空室(22)之间，其特征在于，所述阀门装置(1)包括阀座(11)，阀座内设有丝杆(12)，丝杆一端连接密封板(13)，丝杆另一端连接驱动电机(14)，阀座还连接导向装置，所述密封板置于导向装置内滑动构成第一级真空室与第二级真空室之间的联通或分隔；所述导向装置包括两个导向杆(15)，导向杆内侧设有滑道，密封板的两侧边分别置于两滑道内。2.根据权利要求1所述的一种用于ICP
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MS的阀门装置，其特征在于，导向杆一端连接阀座，导向杆另一端折弯构成限位端部(151)。3.根据权利要求1所述的一种用于ICP
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MS的阀门装置，其特征在于，密封板的移动前端设有滑动轮(131)，所述滑动轮前端侧边和密封板前端侧边齐平。4.根据权利要求1所述的一种用于ICP
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MS的阀门装置，其特征在于，密封板靠近移动前端部位设有滑动轮(131)，所述滑动轮嵌入密封板内。5.根据权利要求1所述的一种用...

【专利技术属性】
技术研发人员：许梦祥，王冕，梁炎，郭茂坤，
申请(专利权)人：瑞莱谱杭州医疗科技有限公司，
类型：新型
国别省市：