一种划片机制造技术

本发明专利技术提供的划片机，属于晶圆划切技术领域，包括：承载支架；底座组件，设置在所述承载台上；所述底座组件具有适于放置晶圆的工作平台，所述工作平台可相对于所述承载台在水平面做横向运动、竖向运动和旋转运动；支撑架；所述升降装置带动所述划刀在竖直方向上进行移动；所述升降装置包括：升降支撑座；主动凸轮；所述主动凸轮的一端与减速电机连接；所述减速电机带动所述主动凸轮发生转动；从动件，一端与所述主动凸轮抵接，另一端通过连接板与划刀连接；本发明专利技术的划片机，通过底座组件带动工作平台做横向运动、竖向运动和旋转运动，调整待切割晶圆的相对位置，实现划刀和待切割晶圆的相对位置的对齐，保证精准切割，降低失败率。降低失败率。降低失败率。

【技术实现步骤摘要】
一种划片机


[0001]本专利技术涉及晶圆划切
，具体涉及一种划片机。

技术介绍

[0002]主要针对砷化镓、磷化铟材质的光通信芯片晶圆在使用前需要进行切割。
[0003]现有的划刀通过气缸驱动，实现切割。
[0004]但是，现有的划片机无法调节划刀和待切割晶圆的相对位置，因此常导致切割失败，造成损失。

技术实现思路

[0005]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的划片机无法调节划刀和待切割晶圆的相对位置，因此常导致切割失败，造成损失的缺陷，从而提供一种划片机。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术提供的一种划片机，包括：
[0007]承载支架，具有承载台；
[0008]底座组件，设置在所述承载台上；所述底座组件具有适于放置晶圆的工作平台，所述工作平台可相对于所述承载台在水平面做横向运动、竖向运动和旋转运动；
[0009]支撑架，设置在承载台上；所述支撑架上通过升降装置安装有划刀；所述升降装置带动所述划刀在竖直方向上进行移动；
[0010]所述升降装置包括：
[0011]升降支撑座，设置在所述支撑架上；
[0012]主动凸轮，转动设置在所述升降支撑座上；所述主动凸轮的一端与减速电机连接；所述减速电机带动所述主动凸轮发生转动；
[0013]从动件，一端与所述主动凸轮抵接，另一端通过连接板与划刀连接。
[0014]作为优选方案，在所述连接板上通过固定板连接有俯仰调节装置，所述划刀安装在所述俯仰调节装置上；
[0015]所述俯仰调节装置包括：
[0016]俯仰安装座；
[0017]俯仰滑板，与俯仰安装座固定连接；所述俯仰滑板具有弧形的滑动面；
[0018]俯仰滑动块，一端与划刀连接；所述俯仰滑动块具有与所述俯仰滑动面滑动连接的弧形的配合面。
[0019]作为优选方案，在所述俯仰调节装置和划刀之间设置有旋转调节装置；所述旋转调节装置包括：
[0020]旋转安装座，安装在所述固定板上；
[0021]传动结构，具有成角度设置的连接轴和转动轴；所述连接轴的一端与划刀连接，另一端与转动轴连接；
[0022]调节结构，具有旋转驱动件；所述旋转驱动件适于与所述转动轴远离所述连接轴
的一端抵接；所述旋转驱动件驱动所述转动轴发生摆动，带动所述连接轴发生转动。
[0023]作为优选方案，所述调节结构包括：
[0024]第一调节件，设置在旋转安装座上；所述第一调节件具有相对于所述旋转安装座伸缩设置的第一旋转驱动件；
[0025]第二调节件，与所述第二调节件相对的设置在旋转安装座上；所述第二调节件具有相对于所述旋转安装座伸缩设置的第二旋转驱动件。
[0026]作为优选方案，在所述旋转安装座上安装压力调节装置；所述压力调节装置包括：
[0027]导向块，通过旋转轴转动安装在旋转安装座上；所述划刀安装在所述导向块的一端；
[0028]压力调节驱动件，驱动端与所述旋转轴连接；所述压力调节驱动件带动所述旋转轴进行转动，改变所述划刀与晶圆接触时施加的抵接力；
[0029]配重块，与所述旋转轴连接；所述导向块与所述配重块分别设置在所述旋转轴的两侧。
[0030]作为优选方案，还包括：
[0031]拨杆，一端与所述旋转轴呈角度连接，另一端与压力调节驱动件连接；所述压力调节驱动件通过传动结构与所述拨杆连接；所述传动结构将压力调节驱动件的旋转运动转换成直线运动。
[0032]作为优选方案，还包括：
[0033]张力计，通过传动结构与所述压力调节驱动件的驱动端连接；所述张力计具有阻挡杆；所述阻挡杆设置在所述拨杆旋转方向的前端。
[0034]作为优选方案，所述底座组件包括：
[0035]第一安装板，通过第一移动滑台可滑动的设置在承载台上；
[0036]第一驱动装置，驱动端与所述第一安装板连接，用于驱动所述第一安装板进行滑动；
[0037]第二安装板，通过第二移动滑台可滑动的连接在所述第一安装板上；
[0038]第二驱动装置，驱动端与所述第二安装板连接，用于驱动所述第二安装板进行滑动；
[0039]第三安装板，设置在第二安装板的上端；所述第三安装板上转动设置有工作平台；所述工作平台以自身的中心做旋转运动；
[0040]第三驱动装置，驱动端通过传动结构与工作平台连接。
[0041]作为优选方案，在所述支撑架上设置有定位装置；所述定位装置包括：
[0042]第一采集机构，设置在所述支撑架上；所述第一采集机构能够获取工作台上第一区域内晶圆的信息；
[0043]第二采集机构，设置在支撑架上；所述第二采集机构能够获取工作台上第二区域内晶圆的信息；所述第二区域包含于所述第一区域内。
[0044]作为优选方案，所述第一采集机构通过第一调节机构可移动的设置在所述支撑架上；
[0045]所述第二采集机构通过第二调节机构可移动的设置在所述支撑架上。
[0046]本专利技术技术方案，具有如下优点：
[0047]1.本专利技术提供的划片机，包括：承载支架、底座组件和支撑架；支撑架上通过升降装置安装有划刀；升降装置包括：升降支撑座、主动凸轮和从动件；通过底座组件带动工作平台做横向运动、竖向运动和旋转运动，调整待切割晶圆的相对位置，实现划刀和待切割晶圆的相对位置的对齐，保证精准切割，降低失败率。
[0048]2.本专利技术提供的划片机，在连接板上安装有俯仰调节装置；所述俯仰调节装置包括：俯仰安装座、俯仰滑板和俯仰滑动块；通过俯仰滑板和俯仰滑动块之间的相对滑动，实现划刀与晶圆的所成的角度的调节；该调节装置结构简单，调节方式方便。
[0049]3.本专利技术提供的划片机，在俯仰调节装置和划刀之间设置有旋转调节装置；旋转调节装置包括：旋转安装座、传动结构和调节结构；调节结构的旋转驱动件带动转动轴发生摆动，转动轴带动连接轴以其中心轴为轴心发生转动，进而带动划刀进行转动，实现划刀的划刀刃相对于晶圆的待切割位置的调整，无需再拆装下来重新安装，直接调整即可，方便快捷。
[0050]4.本专利技术提供的划片机，调节结构包括：第一调节件和第二调节件；第一调节件和第二调节件可以实现从两侧分别驱动转动轴，实现划刀的左右调节，以满足生产的需要。
[0051]5.本专利技术提供的划片机，在旋转安装座上安装有压力调节装置，压力调节装置包括：导向块、压力调节驱动件和配重块；将导向块通过旋转轴安装在安装座上，所以划刀能围绕旋转轴进行旋转，通过压力调节驱动件带动旋转轴旋转，压力调节驱动件间接带动划刀围绕旋转轴旋转，从而实现压力调节驱动件带动划刀旋转，划刀的旋转一方面可以改变划刀与晶圆的抵接的深度，另一方面可以改变在划刀的轴线的方向上划刀施加到晶圆上的力，进而够调整划刀与晶圆接触时施加的抵接力，从而实现晶圆切割过程中精确调节切割力的大小的优点；
[0052]配重块本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种划片机，其特征在于，包括：承载支架，具有承载台；底座组件，设置在所述承载台上；所述底座组件具有适于放置晶圆的工作平台，所述工作平台可相对于所述承载台在水平面做横向运动、竖向运动和旋转运动；支撑架，设置在承载台上；所述支撑架上通过升降装置安装有划刀；所述升降装置带动所述划刀在竖直方向上进行移动；所述升降装置包括：升降支撑座，设置在所述支撑架上；主动凸轮，转动设置在所述升降支撑座上；所述主动凸轮的一端与减速电机连接；所述减速电机带动所述主动凸轮发生转动；从动件，一端与所述主动凸轮抵接，另一端通过连接板与划刀连接。2.根据权利要求1所述的划片机，其特征在于，在所述连接板上通过固定板连接有俯仰调节装置，所述划刀安装在所述俯仰调节装置上；所述俯仰调节装置包括：俯仰安装座；俯仰滑板，与俯仰安装座固定连接；所述俯仰滑板具有弧形的滑动面；俯仰滑动块，一端与划刀连接；所述俯仰滑动块具有与所述俯仰滑动面滑动连接的弧形的配合面。3.根据权利要求2所述的划片机，其特征在于，在所述俯仰调节装置和划刀之间设置有旋转调节装置；所述旋转调节装置包括：旋转安装座，安装在所述固定板上；传动结构，具有成角度设置的连接轴和转动轴；所述连接轴的一端与划刀连接，另一端与转动轴连接；调节结构，具有旋转驱动件；所述旋转驱动件适于与所述转动轴远离所述连接轴的一端抵接；所述旋转驱动件驱动所述转动轴发生摆动，带动所述连接轴发生转动。4.根据权利要求3所述的划片机，其特征在于，所述调节结构包括：第一调节件，设置在旋转安装座上；所述第一调节件具有相对于所述旋转安装座伸缩设置的第一旋转驱动件；第二调节件，与所述第二调节件相对的设置在旋转安装座上；所述第二调节件具有相对于所述旋转安装座伸缩设置的第二旋转驱动件。5.根据权利要求3所述的划片机，其特征在于，在所述旋转安装座上安装压力调节装置；所述压力调节装置包括：导向块，通过旋转轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：张文杰，张智峰，张一暾，温子勋，马修远，刘亚洲，
申请(专利权)人：河北圣昊光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：