陶瓷电容压力传感器及其制备方法技术

该发明专利技术公开了一种陶瓷电容压力传感器及其制备方法，所述制备方法包括：形成第一生瓷板；于第一生瓷板表面形成第一电容电极；将第一生瓷板和第一电容电极进行烧结以形成第一基板；形成第二生瓷板；于第二生瓷板表面形成第二电容电极；将第二生瓷板和第二电容电极进行烧结以形成第二基板；采用玻璃浆料烧结连接第一基板和第二基板，第一基板和第二基板内形成封闭腔，第一电容电极和第二电容电极均位于封闭腔内且第一电容电极和第二电容电极相对设置。根据本发明专利技术实施例的陶瓷电容压力传感器的制备方法，能够减少至少两次高温烧结，过程简单且能够减少能源浪费。简单且能够减少能源浪费。简单且能够减少能源浪费。

【技术实现步骤摘要】
陶瓷电容压力传感器及其制备方法


[0001]本专利技术涉及压力传感器
，具体涉及一种陶瓷电容压力传感器及其制备方法。

技术介绍

[0002]在传统的陶瓷电容压力传感器的制备过程中，需要在陶瓷板上设置金属层，然后进行高温烧结，而陶瓷板一般为熟陶瓷，这样将金属材料形成在熟陶瓷板上进行再次高温烧结来制备压力膜片，而陶瓷压力传感器至少需要两个压力膜片，这样在形制备陶瓷压力传感器时则需要进行多次高温烧结，导致生产过程过于繁琐，浪费能源。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种陶瓷电容压力传感器的制备方法，能够减少至少两次高温烧结，过程简单且能够减少能源浪费。
[0004]根据本专利技术实施例的陶瓷电容压力传感器的制备方法，包括：形成第一生瓷板；于所述第一生瓷板表面形成第一电容电极；将所述第一生瓷板和所述第一电容电极进行烧结以形成第一基板；形成第二生瓷板；于所述第二生瓷板表面形成第二电容电极；将所述第二生瓷板和所述第二电容电极进行烧结以形成第二基板；采用玻璃浆料烧结连接所述第一基板和所述第二基板，所述第一基板和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种陶瓷电容压力传感器的制备方法，其特征在于，包括：形成第一生瓷板；于所述第一生瓷板表面形成第一电容电极；将所述第一生瓷板和所述第一电容电极进行烧结以形成第一基板；形成第二生瓷板；于所述第二生瓷板表面形成第二电容电极；将所述第二生瓷板和所述第二电容电极进行烧结以形成第二基板；采用玻璃浆料烧结连接所述第一基板和所述第二基板，所述第一基板和所述第二基板内形成封闭腔，所述第一电容电极和所述第二电容电极均位于所述封闭腔内且所述第一电容电极和所述第二电容电极相对设置。2.根据权利要求1所述的陶瓷电容压力传感器的制备方法，其特征在于，形成所述第一生瓷板的步骤包括：采用玻璃陶瓷粉和有机粘接剂混合形成浆体；将所述浆体浇注在移动载带上，流延成型以形成生瓷带；将所述生瓷带进行冲孔切割以制备形成所述第一生瓷板。3.根据权利要求1所述的陶瓷电容压力传感器的制备方法，其特征在于，采用丝网印刷形成所述第一电容电极和所述第二电容电极。4.根据权利要求3所述的陶瓷电容压力传感器的制备方法，其特征在于，采用325目的网板进行丝网印刷。5.根据权利要求1所述的陶瓷电容压力传感器的制备方法，其特征在于，所述第一电容电极和所...

【专利技术属性】
技术研发人员：赫鑫，肖滨，李刚，
申请(专利权)人：昆山灵科传感技术有限公司，
类型：发明
国别省市：