放射线检测器制造技术

本发明专利技术所涉及的放射线检测器包括：在第一方向上延伸的多条控制线；在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸的多条数据线；与对应的所述控制线和对应的所述数据线电连接、具有光电转换元件的光电转换部；设置在多个所述光电转换部上的闪烁体；电连接到多个所述光电转换元件的偏置线；与所述偏置线电连接的电压生成电路；以及与所述偏置线电连接的、用于检测在放射线入射开始时产生的电压的变化的放射线入射判定电路。射判定电路。射判定电路。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】放射线检测器


[0001]本专利技术的实施方式涉及一种放射线检测器。

技术介绍

[0002]放射线检测器的一个例子包括X射线检测器。X射线检测器例如设有具有多个光电转换部的阵列基板和设在多个光电转换部上的用于将X射线转换成荧光的闪烁体。此外，光电转换部中设置有将来自闪烁体的荧光转换为电荷的光电转换元件、对电荷的储存和释放进行开关的薄膜晶体管等。
[0003]通常，X射线检测器以如下方式读取图像数据。首先，利用从外部输入的信号识别X射线的入射开始。接着，在经过预定的时间之后，将进行读取的光电转换部的薄膜晶体管设为导通状态，将所存储的电荷作为图像数据读取出。然而，这样一来，需要用于获取X射线源等外部设备与X射线检测器同步的同步接口。
[0004]这里，由闪烁体和光电转换元件得到的图像数据的值在X射线入射时和X射线未入射时变化。因此，提出了检测X射线未入射时图像数据的值与X射线入射时的图像数据的值之差，检测X射线的入射开始的技术。但是，这样一来，需要在拍摄准备阶段预先获取并保存作为比较的基础的X射线未入射时的图像数据，始终取入图像数据进行比较运算。
[0005]因此，即使在没有X射线入射的待机时也始终消耗功率，存在功耗变大的问题。该情况下，以电池为电源的便携式X射线检测器的情况下，电池的消耗变大，长时间的使用变得困难。此外，由于功耗大，电路的温度容易上升，在高温环境中X射线检测器的使用有时会受到限制。并且，由于需要保存比较图像，所以需要大容量的图像存储器。因此，希望开发出一种能够抑制放射线入射时的功耗的放射线检测器。现有技术文献专利文献
[0006]专利文献1：日本专利特开2019
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020141号公报

技术实现思路

专利技术所要解决的技术问题
[0007]本专利技术所要解决的技术问题在于提供一种能够抑制检测到放射线的入射时的功耗的放射线检测器。解决技术问题所采用的技术方案
[0008]实施方式所涉及的放射线检测器包括在第一方向上延伸的多条控制线；在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸的多条数据线；与对应的所述控制线和对应的所述数据线电连接、具有光电转换元件的光电转换部；设置在多个所述光电转换部上的闪烁体；电连接到多个所述光电转换元件的偏置线；与所述偏置线电连接的电压生成电路；以及与所述偏置线电连接、用于检测在放射线入射开始时产生的电压的变化的放射线入射判定电路。
附图说明
[0009]图1是用于例示本实施方式的X射线检测器的示意立体图。图2是阵列基板的电路图。图3是X射线检测器的框图。图4是用于例示图像数据的读取的序列图。图5是用于例示图像数据的读取的时序图。图6是X射线图像的获取动作的内部等效电路。图7是用于例示比较例所涉及的X射线的入射开始的判定的序列图。图8是另一实施方式所涉及的X射线检测器的框图。图9是用于例示X射线入射判定电路的电路图。图10是用于例示X射线的入射开始的判定的序列图。图11是用于例示待机状态的序列图。图12是用于例示X射线图像的拍摄的序列图。图13是在所拍摄的X射线图像和比较图像之间存在差异时的序列图图14是在所拍摄的X射线图像和比较图像之间没有差异时的序列图。
具体实施方式
[0010]下面，参照附图，对实施方式进行例示。另外，各图中，对同样的构成要素标注相同的标号并适当省略详细说明。本实施方式的放射线检测器除了X射线以外，还能应用于γ射线等各种放射线。这里，作为一个例子，以放射线中具有代表性的X射线的情况为例进行说明。因此，通过将以下实施方式的“X射线”替换为“其他放射线”，从而也能应用于其他放射线。另外，X射线检测器1例如能用于一般医疗等。其中，X射线检测器1的用途并不限于一般医疗等。
[0011]图1是用于例示本实施方式的X射线检测器1的示意立体图。图2是阵列基板2的电路图。图3是X射线检测器1的框图。图4是用于例示图像数据100的读取的序列图。图5是用于例示图像数据100的读取的时序图。
[0012]如图1至图3所示，在X射线检测器1中可以设置X射线检测模块10和电路基板20。此外，在X射线检测器1上可以设置有未图示的壳体。X射线检测模块10和电路基板20可以设置在壳体的内部。例如，支承板可以设置在壳体的内部，X射线检测模块10可以设置在支承板的X射线的入射侧的面上，电路基板20可以设置在支承板的X射线的入射侧的相反侧的面上。
[0013]X射线检测模块10中可以设置有阵列基板2和闪烁体3。在阵列基板2中可以设置有基板2a、光电转换部2b、控制线(或栅极线)G、数据线(或信号线)S、布线焊盘2d1、布线焊盘2d2和保护层2f。另外，光电转换部2b、控制线G、以及数据线S的数量等并不限于所例示的情况。
[0014]基板2a呈板状，能够由无碱玻璃等玻璃形成。基板2a的平面形状可以是四边形。
能够在基板2a的一个面侧上设置有多个光电转换部2b。光电转换部2b可以呈矩形，并且设置在由控制线G和数据线S所划分的区域中。多个光电转换部2b排列成矩阵状。另外，一个光电转换部2b例如对应于X射线图像中的一个像素(pixel)。
[0015]可以在多个光电转换部2b中分别设置光电转换元件2b1、以及作为开关元件的薄膜晶体管(TFT；Thin Film Transistor)2b2。此外，在光电转换元件2b1中，可以设置存储转换后的信号电荷的存储电容器。其中，根据光电转换元件2b1的容量，光电转换元件2b1能兼用作存储电容器。以下，例示了光电转换元件2b1兼用作存储电容器的情况。
[0016]光电转换元件2b1例如可以是光电二极管等。薄膜晶体管2b2能够对作为存储电容器发挥作用的光电转换元件2b1的存储电荷和释放电荷进行开关。薄膜晶体管2b2可以具有栅极电极2b2a、漏极电极2b2b以及源极电极2b2c。薄膜晶体管2b2的栅极电极2b2a与对应的控制线G电连接。薄膜晶体管2b2的漏极电极2b2b与对应的数据线S电连接。薄膜晶体管2b2的源极电极2b2c能够电连接到对应的光电转换元件2b1。此外，光电转换元件2b1的阳极侧能够电连接到偏置线Vbias。
[0017]多条控制线G可以隔开规定间隔相互平行地设置。例如，多个控制线G沿行方向(相当于第一方向的一个示例)延伸，沿与行方向交叉的列方向(相当于第二方向的一个示例)排列。一条控制线G与设置在基板2a的边缘附近的多个布线焊盘2d1中的一个电连接。一个布线焊盘2d1与设置在柔性印刷基板2e1上的多条布线中的一条电连接。设置在柔性印刷基板2e1上的多条布线的另一端能够与设置在电路基板20中的栅极驱动电路20a分别电连接。
[0018]多条数据线S可以隔开规定间隔相互平行地设置。数据线S例如在列方向上延伸，在行方向上排列。一条数据线S与设置在基板2a的边缘附近的多个布线焊盘2d2中的一个电连接。一个布线焊盘2d2与设置在柔性印刷基板2e2上的多条布线中的一条电连接。设置在柔性印刷基板2e2上的多条布线的另一端能够与设置在电路基本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种放射线检测器，其特征在于，包括：在第一方向上延伸的多条控制线；在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸的多条数据线；与对应的所述控制线和对应的所述数据线电连接、具有光电转换元件的光电转换部；设置在多个所述光电转换部上的闪烁体；电连接到多个所述光电转换元件的偏置线；电连接到所述偏置线的电压生成电路；以及与所述偏置线电连接、用于检测在放射线入射开始时产生的电压的变化的放射线入射判定电路。2.如权利要求1所述的放射线检测器，其特征在于，所述电压生成电路具有生成第1偏置电压的电路和生成低于所述第1偏置电压的第2偏置电压的电路，所述放射线入射判定电路包括：与生成所述第1偏置电压的电路电连接的第1开关；与生成所述第2偏置电压的电路电连接的第2开关；与所述偏置线电连接的电容器；以及与所述电容器电连接的比较器。3.如权利要求2所述的放射线检测器，其特征在于，生成所述第1偏置电压的电路和生成所述第2偏置电压的电路作为集成电路一体化。4.如权利要求3所述的放射线检测器，其特征在于，所述电压生成电路还具有生...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤田修一，
申请(专利权)人：佳能电子管器件株式会社，
类型：发明
国别省市：