一种多腔体抽真空运行控制系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种多腔体抽真空运行控制系统，涉及抽真空设备技术领域，包括底座，分子泵，真空泵，真空腔体，精抽管路，粗抽管路，锁止机构。本实用新型专利技术通过设置锁止机构，此机构可实现对真空腔体的密封锁止，通过将密封顶板以固定转杆为轴心翻转至真空腔体的上表面，并对密封胶垫进行挤压，同时固定转块带动固定转杆对扭力弹簧扭曲，同时密封顶板带动限位块对移动套板挤压，此时移动套板通过挤压带动限位滑块滑动，此时限位滑块通过限位滑杆对复位弹簧限位挤压，然后复位弹簧通过反弹推动限位滑块使得移动套板复位，此时移动套板对限位块限位套接，从而使得密封顶板对真空腔体的上表面进行密封覆盖。面进行密封覆盖。面进行密封覆盖。

【技术实现步骤摘要】
一种多腔体抽真空运行控制系统


[0001]本技术涉及抽真空设备
，具体是一种多腔体抽真空运行控制系统。

技术介绍

[0002]真空炉，即在炉腔这一特定空间内利用真空系统(由真空泵、真空测量装置、真空阀门等元件经过精心组装而成)将炉腔内部分物质排出，使炉腔内压强小于一个标准大气压，炉腔内空间从而实现真空状态。
[0003]目前的真空炉由多个腔体组成，但在抽真空时由于每个真空腔体所处的真空环境的不同，会对腔体内部真空造成很大的影响，而现通过多腔体真空控制系统控制精抽管路和粗抽管路的快速切换，来解决了多个腔体在抽真空时所遇到抽真空问题，但同时真空炉在关闭后由于结构原因无法进行对密封板进行解锁自动翻转，同时在抽真空时无法对腔体内部的真空状况进行检测观察，从而导致使用不便。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于：为了解决无法对腔体内部的真空进行便捷检测观察和密封板无法解锁自动翻转的问题，提供一种多腔体抽真空运行控制系统。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种多腔体抽真空运行控制系统，包括底座，所述底座一侧安装有分子泵，所述底座的一侧且位于分子泵的下方安装有真空泵，所述底座的顶端固定连接有多个真空腔体，所述真空腔体的一侧底端固定连接有与分子泵的输出端固定连接的精抽管路，所述真空腔体远离精抽管路的一侧底端固定连接有与真空泵的输出端固定连接的粗抽管路，所述真空腔体的顶端设置有锁止机构；
[0006]所述锁止机构包括限位块、移动套板、密封顶板、固定转块、固定转杆、扭力弹簧、限位滑杆、复位弹簧以及限位滑块，所述密封顶板设置在真空腔体的上表面，所述固定转块固定在密封顶板的一端，所述固定转块与密封顶板通过焊接固定连接，所述固定转杆固定在固定转块的一侧，且贯穿至固定转块的另一侧内部，所述固定转杆与固定转块通过焊接固定连接，所述扭力弹簧设置在密封顶板的一端，且与固定转杆相互套接，所述限位块固定在密封顶板远离扭力弹簧的一端，所述限位块与密封顶板通过焊接固定连接，所述移动套板设置在密封顶板的一端，且与限位块相互套接，所述限位滑块固定在移动套板一端的下端，且贯穿至真空腔体的内部，所述限位滑杆固定在真空腔体的一端内部，且与限位滑块相互套接，所述复位弹簧设置在限位滑块的一侧，且与限位滑杆相互套接；
[0007]所述密封顶板的一侧设置有贯穿至真空腔体内部的检测机构，用于对真空腔体内部的真空程度进行检测。
[0008]作为本技术再进一步的方案：所述检测机构包括检测滑板、移动推板、连接拉杆以及密封滑块，所述移动推板设置在密封顶板的一侧，所述连接拉杆固定在移动推板的一侧，且贯穿至密封顶板的内部，所述连接拉杆与移动推板通过焊接固定连接，所述密封滑块固定在连接拉杆远离移动推板的一侧，且位于密封顶板的内部，所述密封滑块与连接拉
杆通过焊接固定连接，所述检测滑板固定在移动推板的顶端，且位于密封顶板的上表面，所述检测滑板与移动推板通过焊接固定连接。
[0009]作为本技术再进一步的方案：所述精抽管路、粗抽管路的内部设置有电动阀门，所述电动阀门与外界控制器通过导线电性连接。
[0010]作为本技术再进一步的方案：所述固定转块与真空腔体通过铰链转动连接，所述真空腔体的上表面与密封顶板相接位置处设置有密封胶垫。
[0011]作为本技术再进一步的方案：所述移动套板的一侧上表面呈斜坡状，所述真空腔体与限位滑块相接位置处设置有与其移动轨迹相互匹配的移动滑槽，所述固定转块与扭力弹簧相接位置处设置有与其外壁相互匹配的固定扭槽。
[0012]作为本技术再进一步的方案：所述检测滑板的上表面设置有与真空腔体内部真空程度匹配的刻度条，所述密封顶板与密封滑块、连接拉杆相接位置处设置有与其移动轨迹相互匹配的限位滑槽。
[0013]作为本技术再进一步的方案：所述密封滑块的外壁设置有密封胶垫，所述密封顶板位于密封滑块远离连接拉杆的一侧设置有贯穿密封顶板至真空腔体内部的抽气槽。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0015]1、通过设置锁止机构，此机构可实现对真空腔体的密封锁止，通过将密封顶板以固定转杆为轴心翻转至真空腔体的上表面，并对密封胶垫进行挤压，同时固定转块带动固定转杆对扭力弹簧扭曲，同时密封顶板带动限位块对移动套板挤压，此时移动套板通过挤压带动限位滑块滑动，此时限位滑块通过限位滑杆对复位弹簧限位挤压，然后复位弹簧通过反弹推动限位滑块使得移动套板复位，此时移动套板对限位块限位套接，从而使得密封顶板对真空腔体的上表面进行密封覆盖；
[0016]2、通过设置检测机构，此机构可实现对真空腔体内部真空检测，通过拉动移动推板使得检测滑板、连接拉杆滑动，此时连接拉杆拉动密封滑块进行移动，当对真空腔体的内部进行抽真空操作时，此时密封顶板通过抽气槽对限位滑槽的内部抽真空，同时密封滑块通过抽气槽在抽真空操作下，通过连接拉杆带动移动推板逐步复位，同时移动推板带动检测滑板同步复位，此时可通过观看检测滑板上表面的刻度条对真空腔体内部的真空程度进行检测。
附图说明
[0017]图1为本技术的结构示意图；
[0018]图2为本技术的真空腔体侧视结构示意图；
[0019]图3为本技术的锁止机构和检测机构剖面示意图；
[0020]图4为本技术的A处局部放大示意图；
[0021]图5为本技术的B处局部放大示意图。
[0022]图中：1、底座；2、锁止机构；201、限位块；202、移动套板；203、密封顶板；204、固定转块；205、固定转杆；206、扭力弹簧；207、限位滑杆；208、复位弹簧；209、限位滑块；3、检测机构；301、检测滑板；302、移动推板；303、连接拉杆；304、密封滑块；4、分子泵；5、真空泵；6、真空腔体；7、精抽管路；8、粗抽管路。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]请参阅图1～5，本技术实施例中，一种多腔体抽真空运行控制系统，包括底座1，底座1一侧安装有分子泵4，底座1的一侧且位于分子泵4的下方安装有真空泵5，底座1的顶端固定连接有多个真空腔体6，真空腔体6的一侧底端固定连接有与分子泵4的输出端固定连接的精抽管路7，真空腔体6远离精抽管路7的一侧底端固定连接有与真空泵5的输出端固定连接的粗抽管路8，真空腔体6的顶端设置有锁止机构2；
[0025]锁止机构2包括限位块201、移动套板202、密封顶板203、固定转块204、固定转杆205、扭力弹簧206、限位滑杆207、复位弹簧208以及限位滑块209，密封顶板203设置在真空本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多腔体抽真空运行控制系统，包括底座(1)，所述底座(1)一侧安装有分子泵(4)、真空泵(5)，所述底座(1)的顶端固定连接有多个真空腔体(6)，所述真空腔体(6)的一侧底端固定连接有精抽管路(7)、粗抽管路(8)，其特征在于，所述真空腔体(6)的顶端设置有锁止机构(2)；所述锁止机构(2)包括限位块(201)、移动套板(202)、密封顶板(203)、固定转块(204)、固定转杆(205)、扭力弹簧(206)、限位滑杆(207)、复位弹簧(208)以及限位滑块(209)，所述密封顶板(203)设置在真空腔体(6)的上表面，所述固定转块(204)固定在密封顶板(203)的一端，所述固定转杆(205)固定在固定转块(204)的一侧，所述扭力弹簧(206)设置在密封顶板(203)的一端，所述限位块(201)固定在密封顶板(203)的一端，所述移动套板(202)设置在密封顶板(203)的一端，所述限位滑块(209)固定在移动套板(202)的一端，所述限位滑杆(207)固定在真空腔体(6)的一端，所述复位弹簧(208)设置在限位滑块(209)的一侧；所述密封顶板(203)的一侧设置有检测机构(3)，用于对真空腔体(6)内部的真空程度进行检测。2.根据权利要求1所述的一种多腔体抽真空运行控制系统，其特征在于，所述检测机构(3)包括检测滑板(301)、移动推板(302)、连接拉杆(303)以及密封滑块(304)，所述移动推板(302)设置在密封顶板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：李金杨，周培，梁夏，
申请(专利权)人：合肥品炙装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：