切割液循环利用装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种切割液循环利用装置，包括切割液循环系统和固液分离系统，切割液循环系统包括循环缸和过滤桶，固液分离系统与所述循环缸连通；循环缸经一中隔板分隔成左右设置的粗滤室和储液室，中隔板远离循环缸缸底的一端开设有缺口，以使粗滤室与储液室连通；固液分离系统的进液口与粗滤室的粗滤液出口连通，其出液口与储液室的压滤进口连通，以使对粗滤后的切割混合液进行固液分离；过滤桶与储液室连通，以使对切割混合液进行精滤用于循环再利用。通过本申请实现切割混合液的可循环使用，并且提高切割品质，降低生产成本。降低生产成本。降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
切割液循环利用装置


[0001]本技术属于半导体晶圆用切割液循环利用的
，具体地涉及一种切割液循环利用装置。

技术介绍

[0002]目前芯片的基片材料以蓝宝石晶圆片为主，通常采用多线切割方式将蓝宝石晶棒切割成一定厚度的晶圆片。由于蓝宝石材料硬度非常高，金刚线表面必须要有足够的硬度，才能将蓝宝石晶棒切穿，因此金刚线采取将金刚石微粉电镀到钢线表面，形成足够的切割力来对蓝宝石材料进行切割。
[0003]蓝宝石材料切割过程中金刚线与蓝宝石晶棒剧烈摩擦出很高的温度，并产生大量蓝宝石粉末，行业内通常的做法是配置一定浓度的切割液原液，在切割过程中使用切割液喷嘴，对切割部位进行冷却，清洗。然而不足是每切割5～10次后，切割混合液就会因含有大量切割中产生的蓝宝石粉末而变得混浊，导致切割混合液的冷却和清洗功能变差，对蓝宝石材料切割品质产生较严重的影响。若将所用的切割混合液排放掉，更换新配制的切割液，此时切割液循环缸内的固体蓝宝石粉末会沉积很多，清理困难、耗时长，并且加上切割液材料成本高、用量大，造成生产人力成本和材料成本都较高。
[0004]因此，如何实现对蓝宝石材料切割过程中所使用的切割混合液循环再利用，且确保循环利用的生成成本较低，是一个亟待解决的课题。

技术实现思路

[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种切割液循环利用装置，实现切割混合液的可循环使用，并且提高切割品质，降低生产成本。
[0006]该技术提供一种切割液循环利用装置，包括：
[0007]切割液循环系统，包括循环缸和与所述循环缸连通的过滤桶；
[0008]固液分离系统，与所述循环缸连通，用于所述循环缸内切割混合液的固液分离；
[0009]其中，所述循环缸经一中隔板分隔成左右设置的粗滤室和储液室，所述中隔板远离所述循环缸缸底的一端开设有缺口，以使所述粗滤室与所述储液室连通；所述固液分离系统的进液口与所述粗滤室的粗滤液出口连通，其出液口与所述储液室的压滤进口连通，以使对粗滤后的切割混合液进行固液分离；所述过滤桶与所述储液室连通，以使对切割混合液进行精滤用于循环再利用。
[0010]相比现有技术，本技术的有益效果为：通过回收的切割混合液进入经一中隔板分隔成左右设置的粗滤室和储液室的循环缸内，粗滤的切割混合液经重力沉淀后，一部分进入固液分离系统进行固液分离的液体进入储液室，另一部分直接进入储液室；储液室内的切割混合液再进入过滤桶进行精滤用于蓝宝石材料的切割位的冷却及清洗，冷却及清洗后的切割混合液又进入粗滤室进行重新利用；本申请结合切割液循环系统的粗滤、精滤加工，以及固液分离系统的分离加工，实现切割混合液的可循环使用，洁净的切割混合液对
蓝宝石材料的切割位的冷却和清洗作用发挥的更好，切割品质大幅度提升，生产成本大幅降低。
[0011]较佳地，所述粗滤室内设有第一滤网，且所述第一滤网与所述循环缸拆卸安装；所述第一滤网位于原液进口的下方。
[0012]较佳地，所述过滤桶内设有第二滤网，且所述第二滤网与所述过滤桶拆卸安装；所述第二滤网的网孔数大于所述第一滤网的网孔数。
[0013]较佳地，所述第一滤网的网孔数为30目，所述第二滤网的网孔数为100目。
[0014]较佳地，所述循环缸上设有循环泵，所述循环泵伸至所述储液室内，用于将所述储液室内的切割混合液泵送至所述过滤桶，以及将所述过滤桶的切割混合液泵送至切割位。
[0015]较佳地，所述固液分离系统包括抽液泵和压滤机，所述抽液泵的一端与所述粗滤室的粗滤液出口连通，其另一端与所述压滤机连通，以使所述粗滤室抽取粗滤切割混合液至所述压滤机的滤腔进行压滤处理。
[0016]较佳地，所述压滤机的滤腔内设有滤孔直径为0.8μm的滤膜，且所述滤膜与所述压滤机的滤腔拆卸安装。
[0017]较佳地，所述循环缸内设有液位计。
[0018]较佳地，所述循环缸内设有糖度计，用于监控切割混合液的糖度值来添加切割原液，以使切割混合液的糖度控制在3
°
Be
′
～3.5
°
Be
′
。
[0019]较佳地，所述粗滤室的底部开设有清渣口。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本技术实施例提供的切割液循环利用装置的立体图；
[0022]图2为本技术实施例提供的循环缸剖视图。
[0023]附图标记说明：
[0024]10
‑
切割液循环系统；
[0025]11
‑
循环缸、111
‑
中隔板、1111
‑
缺口、112
‑
粗滤室、1121
‑
第一滤网、1122
‑
清渣口、1123
‑
原液进口、113
‑
储液室、1131
‑
液位计、1132
‑
糖度计、114
‑
循环泵；
[0026]12
‑
过滤桶；
[0027]20
‑
固液分离系统；
[0028]21
‑
抽液泵、
[0029]22
‑
压滤机。
具体实施方式
[0030]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术的实施例，而不能理解为对本
技术的限制。
[0031]在本技术实施例的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0032]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术实施例的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0033]在本技术实施例中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种切割液循环利用装置，其特征在于，包括：切割液循环系统，包括循环缸和与所述循环缸连通的过滤桶；固液分离系统，与所述循环缸连通，用于所述循环缸内切割混合液的固液分离；其中，所述循环缸经一中隔板分隔成左右设置的粗滤室和储液室，所述中隔板远离所述循环缸缸底的一端开设有缺口，以使所述粗滤室与所述储液室连通；所述固液分离系统的进液口与所述粗滤室的粗滤液出口连通，其出液口与所述储液室的压滤进口连通，以使对粗滤后的切割混合液进行固液分离；所述过滤桶与所述储液室连通，以使对切割混合液进行精滤用于循环再利用。2.根据权利要求1所述的切割液循环利用装置，其特征在于，所述粗滤室内设有第一滤网，且所述第一滤网与所述循环缸拆卸安装；所述第一滤网位于原液进口的下方。3.根据权利要求2所述的切割液循环利用装置，其特征在于，所述过滤桶内设有第二滤网，且所述第二滤网与所述过滤桶拆卸安装；所述第二滤网的网孔数大于所述第一滤网的网孔数。4.根据权利要求3所述的切割液循环利用装置，其特征在于，所述第一滤网的网孔数为30目，所述第二滤网的网孔数为100目。5.根据权利要求1所述的切割液循环利用装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵元亚，宋海涛，崔思远，
申请(专利权)人：江西兆驰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：