一种演示装置制造方法及图纸

一种演示装置，属于气体输送装备技术领域。演示装置包括盒体以及设置于盒体内部的PLC系统和与PLC系统通讯连接的显示器。其中，盒体开设有第一开口部和第二开口部，传输线穿过第一开口部分别与位于盒体内外的PLC系统和气柜通讯连接，以使得PLC系统调控气柜的运行状态，且气柜的运行状态由通过第二开口部与盒体相连的显示器显示。该演示装置结构简单，不受气柜放置场地的限制，能够对不同气柜的运行状态进行查看及调控。状态进行查看及调控。状态进行查看及调控。

【技术实现步骤摘要】
一种演示装置


[0001]本申请涉及气体输送装备
，具体而言，涉及一种演示装置。

技术介绍

[0002]随着半导体产业及新能源产业的大力发展，用以合成芯片或者太阳能板所需的大宗气体及高纯气体的加工工厂应运而生。而气柜作为连接工厂制造设备前端与气体材料供应后端的重要设备，其运行状态是整个制造过程中的关键。
[0003]虽然现在对每台气柜设置有单独的电控箱，但是电控箱的尺寸较大，并且一般放于气柜顶部。当大批量查看气柜设备的运行状态时，由于气柜设备本身位置限制，且不同气柜的操作流程不一致，使得查看过程十分繁琐。

技术实现思路

[0004]基于上述的不足，本申请提供了一种演示装置，以部分或全部地改善、甚至解决相关技术中气柜运行状态查看繁琐的问题。
[0005]本申请的上述技术问题是通过下述技术问题得以实现的：
[0006]本申请的示例提供了一种演示装置，包括：
[0007]盒体，盒体开设有第一开口部和第二开口部；
[0008]PLC系统，PLC系统设置于盒体的内部，PLC系统连接有用于与气柜通讯本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种演示装置，用于显示气柜的运行状态，其特征在于，所述演示装置包括：盒体，所述盒体开设有第一开口部和第二开口部；PLC系统，所述PLC系统设置于所述盒体的内部，所述PLC系统连接有用于与所述气柜通讯连接的传输线，所述传输线穿过所述第一开口部与所述气柜通讯连接；与所述PLC系统通讯连接的显示器，所述显示器通过所述第二开口部与所述盒体相连。2.根据权利要求1所述的演示装置，其特征在于，所述演示装置还包括电源，所述电源设置于所述盒体的内部；所述电源分别与所述PLC系统和所述显示器导电连接。3.根据权利要求2所述的演示装置，其特征在于，所述演示装置还包括设置于所述盒体内部的断路器；其中，所述PLC系统通过所述断路器与所述电源导电连接，所述显示器通过所述断路器与所述电源导电连接。4.根据权利要求1～3任意一项所述的演示装置，其特征在于，所述演示装置还包括：与所述PLC系统导电连接的第一输电线；与所述显示器导电连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐宙，
申请(专利权)人：江苏正帆半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：