一种化学品输送柜制造技术

本申请实施例提供一种化学品输送柜，包括：控制室，设置有压力检测装置、流速检测装置和电源开关，其中，所述电源开关分别和所述压力检测装置、所述流速检测装置连接；气路管道，所述气路管道和所述控制室，用于为所述控制室进行充气。利用该化学品输送柜，可以提高化学输送过程的安全性。输送过程的安全性。输送过程的安全性。

A chemical delivery cabinet

The embodiment of the application provides a chemical delivery cabinet, which comprises: a control room, which is provided with a pressure detection device, a flow rate detection device and a power switch, wherein the power switch is respectively connected with the pressure detection device and the flow rate detection device; The gas pipeline, the gas pipeline and the control room are used for inflating the control room. The safety of the chemical conveying process can be improved by using the chemical conveying cabinet. Safety of conveying process. Safety of conveying process< br/>

【技术实现步骤摘要】
一种化学品输送柜


[0001]本申请涉及运输
，具体而言，涉及一种化学品输送柜。

技术介绍

[0002]在半导体制程设备中需要用到有机溶剂类的化学介质，如异丙醇等，根据相关规范此类化学介质属于易燃易爆类，需要做防爆处理。

技术实现思路

[0003]本申请实施例的目的在于提供一种化学品输送柜，用于实现当化学品输送柜内的压力或流速异常时断开电源开关，提高化学品输送柜的安全性。
[0004]本申请实施例提供一种化学品输送柜，包括：
[0005]控制室，设置有压力检测装置、流速检测装置和电源开关，其中，所述电源开关分别和所述压力检测装置、所述流速检测装置连接；
[0006]气路管道，所述气路管道和所述控制室连接，用于为所述控制室充气。
[0007]在上述实现过程中，化学品输送柜包括、控制室和气路管道，气路管道用于向控制室充气和放气，控制室内设置有压力检测装置、和流速检测装置，并且，电源开关分别和压力检测装置、流速检测装置连接，基于上述结构，可以基于控制室的压力状态和流速状态实现对控制室的工作状态进行监测，还可以实现当化学品输送柜内的压力或流速异常时断开电源开关，提高化学品输送柜的安全性。
[0008]进一步地，所述控制室内设置有防爆正压控制器，所述防爆正压控制器分别和所述压力检测装置、流速检测装置和所述电源开关连接。
[0009]在上述实现过程中，通过所述防爆正压控制器，可以基于压力检测装置和流速检测装置设置关于电源开关的控制条件。
[0010]进一步地，所述控制室还包括：稳定装置，所述稳定装置和所述防爆正压控制器连接。
[0011]在上述实现过程中，当所述控制室内的压力或者流速发生异常时，正压控制器可以通过稳定装置对控制室内的状态进行调节。
[0012]进一步地，所述气路管道包括：压差开关和吹扫电磁阀，所述压差开关和所述压力检测装置连接；
[0013]所述吹扫电磁阀和所述流速检测装置连接。
[0014]在上述实现过程中，通过吹扫电磁阀和压差开关，能够进一步实现对气路管道的压力状态和流速状态的检测。
[0015]进一步地，所述压差开关为防爆压差开关。
[0016]进一步地，所述吹扫电磁阀为防爆吹扫电磁阀。
[0017]进一步地，所述稳定装置包括：排气电磁阀。
[0018]进一步地，所述稳定装置还包括：泄压阀。
[0019]进一步地，所述气路管道包括：过滤器、调压阀、单向阀；
[0020]所述吹扫电磁阀上并联有速度调节阀；
[0021]所述过滤器、所述吹扫电磁阀、所述单向阀依次连接，所述单向阀和所述流速检测装置连接。
[0022]进一步地，所述气路管道还包括：
[0023]压差表，并联于所述压差开关。
[0024]本申请公开的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，或者，部分特征和优点可以从说明书推知或毫无疑义地确定，或者通过实施本申请公开的上述技术即可得知。
[0025]为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0027]图1为本申请实施例提供的化学品输送柜的电性连接示意图；
[0028]图2为本申请实施例提供的另一化学品输送柜的电性连接示意图；
[0029]图3为本申请实施例提供的化学品输送柜的阀门连接示意图。
[0030]图标：1
‑
控制室；11
‑
压力检测装置；12
‑
流速检测装置；13
‑
流量开关；14
‑
排气电磁阀；15
‑
泄压阀；16
‑
电源开关；2
‑
气路管道；21
‑
压差开关；22
‑
吹扫电磁阀；23
‑
压差表；24
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单向阀；25
‑
速度调节阀；26
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调压阀；27
‑
过滤器；3
‑
防爆正压控制器。
具体实施方式
[0031]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行描述。
[0032]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0033]在半导体制程设备中需要用到有机溶剂类的化学介质，如异丙醇等，根据相关规范此类化学介质属于易燃易爆类，需要做防爆处理。
[0034]参见图1，本申请实施例提供一种化学品输送柜，包括：
[0035]控制室1，设置有压力检测装置11、流速检测装置12和电源开关16，其中，电源开关16分别和压力检测装置11、流速检测装置12连接；
[0036]气路管道2，气路管道2和控制室1连接，用于为控制室1充气。
[0037]在上述实现过程中，化学品输送柜包括控制室1和气路管道2，气路管道2用于向控制室1充气和放气，控制室1内设置有压力检测装置11、和流速检测装置12，并且，电源开关16分别和压力检测装置11、流速检测装置12连接，基于上述结构，可以基于控制室的压力状态和流速状态实现对控制室的工作状态进行监测，还可以实现当化学品输送柜内的压力或流速异常时断开电源开关16，提高化学品输送柜的安全性。
[0038]可以理解的是，化学品输送柜还包括：桶区、管路区等部分。控制室1包含各类控制元件(如PLC、断路器等)；气控室包含各类气动元件；桶区用于放置化学输送桶；管路区包含各类输送管路和防爆型电器元件。
[0039]示例性地，当压力检测装置11和流速检测装置12检测到整个化学品输送柜的流速状态和压力状态超过预设的阈值时，可以发送信号到电源开关16，电源开关16断开，从而使得气控室停止工作，从而提高化学品运送过程的安全性。
[0040]参见图2，在一种可能的实施方式中，控制室1内设置有防爆正压控制器3，防爆正压控制器3分别和压力检测装置11、流速检测装置12和电源开关16连接。
[0041]在上述实现过程中，通过防爆正压控制器3，可以基于压力检测装置11和流速检测装置12设置关于电源开关16的控制条件。
[0042]示例性地，基于防爆控制器，可以基于防爆控制器设置基于流速状态和压力状态的单重判断条件或者多重判断条件：当压力超过第一预设阈值时或当流速超过第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学品输送柜，其特征在于，包括：控制室，设置有压力检测装置、流速检测装置和电源开关，其中，所述电源开关分别和所述压力检测装置、所述流速检测装置连接；气路管道，所述气路管道和所述控制室连接，用于为所述控制室充气。2.根据权利要求1所述的化学品输送柜，其特征在于，所述控制室内设置有防爆正压控制器，所述防爆正压控制器分别和所述压力检测装置、流速检测装置和所述电源开关连接。3.根据权利要求2所述的化学品输送柜，其特征在于，所述控制室还包括：稳定装置，所述稳定装置和所述防爆正压控制器连接。4.根据权利要求1所述的化学品输送柜，其特征在于，所述气路管道包括：压差开关和吹扫电磁阀，所述压差开关和所述压力检测装置连接；所述吹扫电磁阀和所述流速检测装...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄晓岗，李俊芳，
申请(专利权)人：江苏正帆半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：