传感器模块制造技术

提供一种传感器模块。传感器模块具备：传感器部，检测第1成分；第1流路，向传感器部供给被检查流体；和第2流路，向传感器部供给对照流体，该对照流体包含第2成分，该第2成分包含在被检查流体中且不同于第1成分，第2流路具有从对照流体中降低第1成分的量的第1过滤器。对照流体中降低第1成分的量的第1过滤器。对照流体中降低第1成分的量的第1过滤器。

【技术实现步骤摘要】
传感器模块
[0001]本申请是申请日为2017年9月29日、申请号为201780058288.X、专利技术名称为“传感器模块以及检测方法”的专利技术专利申请的分案申请。
[0002]本申请主张日本国专利申请2016
‑
194409号(2016年9月30日申请)的优先权，为了参照而将该申请的公开整体援引于此。


[0003]本公开涉及传感器模块以及检测方法。

技术介绍

[0004]在现有技术中，已知检测流体中的特定的物质的传感器模块。例如，在专利文献1中，公开了具备气体导入部和气体检测部的气体成分检测装置。
[0005]在先技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：JP特开2010
‑
249556号公报

技术实现思路

[0008]本公开的一实施方式涉及的传感器模块具备：检测第1成分的传感器部；向所述传感器部供给被检查流体的第1流路；和向所述传感器部供给对照流体的第2流路，该对照流体包含第2成分，该第2成分包含在所述被检查流体中且不同于所述第1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种传感器模块，具备：传感器部，检测第1成分；第1流路，向所述传感器部供给被检查流体；和第2流路，向所述传感器部供给对照流体，该对照流体包含作为噪声成分的第2成分，该第2成分包含在所述被检查流体中且不同于所述第1成分，所述第2流路具有从所述对照流体中降低所述第1成分的量的第1过滤器，所述第1流路以及所述第2流路分别具有从所述被检查流体或者所述对照流体中降低所述第2成分的量的第2过滤器，所述第2过滤器是吸附作为噪声成分的所述第2成分的吸附材料。2.根据权利要求1所述的传感器模块，其中，所述第1过滤器相比所述第2成分更加降低所述第1成分的量。3.根据权利要求1所述的传感器模块，其中，所述第2过滤器相比所述第1成分更加降低所述第2成分的量。4.根据权利要求1所述的传感器模块，其中，所述第1过滤器比所述第2过滤器更降低所述第1成分的量。5.根据权利要求1所述的传感器模块，其中，在所述第2流路中，所述第1过滤器的位置比所述第2过...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿部真一，
申请(专利权)人：京瓷株式会社，
类型：发明
国别省市：