使用柔性电子平台的可折叠数字微流体装置及其制造方法制造方法及图纸

本申请公开了一种使用柔性电子平台的可折叠数字微流体(Digital Microfluidic，DMF)装置及其制造方法。可折叠数字微流体装置包括具有薄铜特征的柔性聚酰亚胺基板，柔性聚酰亚胺基板可进行折叠以提供相对的多个基板。可折叠数字微流体装置还包括同样具有薄铜特征的柔性聚酰亚胺介电层。在一些实施例中，用于形成本公开的可折叠数字微流体装置的结构是基于使用盲孔。在一些实施例中，可折叠数字微流体装置包括一个液滴致动层。在其他实施例中，可折叠数字微流体装置包括多个液滴致动层。此外，本申请公开了一种制造可折叠数字微流体装置的方法。置的方法。置的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】使用柔性电子平台的可折叠数字微流体装置及其制造方法


[0001]本专利技术公开的主题一般涉及用于执行分析的微流控装置，更具体地，涉及使用柔性电子平台的可折叠数字微流体(Digital Microfluidic，DMF)装置及其制造方法。

技术介绍

[0002]在数字微流体技术中，数字微流体(Digital Microfluidic，DMF)装置通常是基于印刷电路板(PCB)的数字微流体装置或暗盒(cartridge)(也称为液滴操纵装置)。例如，基于印刷电路板的基板相对于玻璃或塑料基板设置。基于印刷电路板的基板可包括液滴操作电极(例如，电润湿(electrowetting)电极的设置。玻璃或塑料基板可包括基本上光学透明的接地参考电极，例如氧化铟锡(ITO)接地参考电极。基于印刷电路板的基板与玻璃或塑料基板之间存在间隙。间隙可能充满填充液(例如硅油(silicone oil))，或者间隙中可能发生空气和液滴操作。液滴操作的示例可包括但不限于液滴输送、液滴分离、液滴合并、液滴混合、液滴搅拌、液滴稀释等。
[0003]传统数字微流体装置或暗盒本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种可折叠数字微流体(DMF)装置，其特征在于，包括：柔性基板；多个液滴操作电极，设置在所述柔性基板的第一部分处的所述柔性基板的至少第一侧上；接地参考电极，设置在所述柔性基板的第二部分处的所述柔性基板的至少所述第一侧上；以及折叠区域，设置在所述柔性基板的所述第一部分和所述柔性基板的所述第二部分之间。2.根据权利要求1所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，还包括：在所述柔性基板的至少所述第一侧上的介电层，所述介电层在所述多个液滴操作电极的致动电极部分顶端上相对于所述第一部分进行延伸。3.根据权利要求2所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，所述接地参考电极设置在所述介电层的顶端上。4.根据权利要求1所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，还包括：疏水层，设置在所述柔性基板的所述第一侧上，所述疏水层至少相对于所述柔性基板的所述第一部分和所述第二部分进行延伸。5.根据权利要求1所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，所述装置可配置为以下其中一者：所述第一部分和所述第二部分基本上共平面的第一配置；以及所述折叠区域被弯曲以对与所述第二部分相对的所述第一部分进行定位的第二配置，使得所述第一部分通过液滴操作间隙与所述第二部分分离以形成液滴致动层。6.根据权利要求5所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，当处于所述第二配置时，所述第一部分的所述多个液滴操作电极和所述第二部分的所述接地参考电极基本上平行。7.根据权利要求5所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，当处于所述第二配置时，所述可折叠数字微流体装置在三个侧面上被密封，所述三个侧面包括在处于所述第二配置中的所述可折叠数字微流体装置的相对侧上的第一侧部分和第二侧部分以及与所述折叠区域相对的端部分。8.根据权利要求5所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，所述液滴致动层包含填充流体且液滴可在所述填充流体移动。9.根据权利要求5所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，所述液滴致动层包括气隙且液滴可在所述气隙移动。10.根据权利要求5所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，在所述液滴致动层中的液滴包括围绕所述液滴的至少一部分的油壳。11.根据权利要求5所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，还包括：传感器，用于当处于所述第二配置时测量所述可折叠数字微流体装置中的流体。12.根据权利要求11所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，所述传感器可操作为监测在所述液滴致动层中的液滴移动。13.根据权利要求11所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，所述传感器包括表面
等离子体共振(SPR)传感器。14.根据权利要求13所述的可折叠数字微流体装置，其特征在于，所述表面等离子体共振传感器设置在设置于所述液滴致动...

【专利技术属性】
技术研发人员：戈登，
申请(专利权)人：尼科亚生命科学股份有限公司，
类型：发明
国别省市：