【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸衬底抛光用白垫及其生产工艺
[0001]本专利技术涉及抛光垫
，具体为一种大尺寸衬底抛光用白垫及其生产工艺。
技术介绍
[0002]抛光垫，是由聚乙烯树脂发泡而成，具有较强的磨削力及卓越的耐磨性。该产品性价比高，能节约客户交期等待时长及降低成本，产品尺寸和开槽要求可根据客户需求进行改变。抛光垫适用于半导体、光学元件、晶体及金属和玻璃的终道拋光，也可用来抛光特殊材质，如硅、锗、硒脂锌、砷化镓、合金钢、陶瓷、塑料(丙烯酸玻璃)等。
[0003]在半导体晶片抛光中，可根据经验上获得时间的标准得知对进行抛光的抛光端点的确定。但是，构成待抛光表面的材料很多，并且随材料不同其抛光时间均不同。
[0004]在抛光垫的使用过程中，往往存在以下缺陷：
[0005]1、现有的抛光垫适应性差，无法配合不同的工件同步工作。
[0006]2、抛光效果一般，不具备足够的韧性提高抛光质量。
[0007]针对这些缺陷，设计一种大尺寸衬底抛光用白垫及其生产工艺，是很有必要的。
技术实现思路
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种大尺寸衬底抛光用白垫，包括第一抛光白垫(1)、第二抛光白垫(2)和第三抛光白垫(3)，其特征在于：所述第一抛光白垫(1)、第二抛光白垫(2)和第三抛光白垫(3)之间的位置平行，且所述第一抛光白垫(1)与第二抛光白垫(2)之间的距离和第二抛光白垫(2)与第三抛光白垫(3)之间的距离相同，且所述第二抛光白垫(2)与第三抛光白垫(3)之间设置有第一抛光垫连接板(4)，所述第一抛光垫连接板(4)的两侧分别与第二抛光白垫(2)的一侧和第三抛光白垫(3)的一侧垂直相交，所述第一抛光白垫(1)与第二抛光白垫(2)之间设置有第二抛光垫连接板(5)，所述第二抛光垫连接板(5)的两侧分别与第一抛光白垫(1)的一侧和第二抛光白垫(2)的一侧垂直相交，所述第一抛光垫连接板(4)内部的两端和第二抛光垫连接板(5)内部的两端均安装有压缩弹簧杆(12)。2.根据权利要求1所述的一种大尺寸衬底抛光用白垫，其特征在于：所述第二抛光白垫(2)的前端面和后端面分别设置有第一抛光凹槽(201)和第二抛光凹槽(202)，所述第一抛光凹槽(201)和第二抛光凹槽(202)均与第二抛光白垫(2)设置为一体成型结构，所述第三抛光白垫(3)的前端面和后端面均设置有第三抛光凹槽(301)，所述第三抛光凹槽(301)与第三抛光白垫(3)设置为一体成型结构。3.根据权利要求2所述的一种大尺寸衬底抛光用白垫，其特征在于：所述第三抛光凹槽(301)的深度大于第二抛光凹槽(202)的深度，所述第二抛光凹槽(202)的深度大于第一抛光凹槽(201)的深度，所述第一抛光白垫(1)与第二抛光白垫(2)之间设置有第一抛光槽(6)，所述第二抛光白垫(2)与第三抛光白垫(3)之间设置有第二抛光槽(7)。4.根据权利要求3所述的一种大尺寸衬底抛光用白垫，其特征在于：所述第一抛光白垫(1)的内部中心设置有安装口(101)，所述安装口(101)的外周围设置有定位螺栓孔(102)，所述定位螺栓孔(102)和安装口(101)均与第一抛光白垫(1)设置为一体结构，且所述定位螺栓孔(102)和安装口(101)用于连接固定半导体抛光设备，所述第一抛光垫连接板(4)的内部中心设置有第一固定孔(401)，所述第二抛光垫连接板(5)的内部中心设置有第二固定孔(501)，所述第一固定孔(401)和第二固定孔(501)用于连接固定抛光垫主体。5.根据权利要求4所述的一种大尺寸衬底抛光用白垫，其特征在于：所述第一抛光白垫(1)、第二抛光白垫(2)和第三抛光白垫(3)均包括有毛毡凹槽(13)、固性聚酯层(14)和抛光基圆(16)，所述毛毡凹槽(13)的外表面设置有抛光基圆(16)，所述抛光基圆(16)设置有若干个，所述毛毡凹槽(13)设置在第一抛光白垫(1)、第二抛光白垫(2)和第三抛光白垫(3)的前端面和后端面与第一抛光白垫(1)、第二抛光白垫(2)和第三抛光白垫(3)设置为一体成型结构，所述固性聚酯层(14)设置在第一抛光白垫(1)、第二抛光白垫(2)和第三抛光...
【专利技术属性】
技术研发人员：李加海，杨慧明，李元祥，
申请(专利权)人：安徽禾臣新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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