【技术实现步骤摘要】
一种用于电子部件加工用光刻装置及方法
[0001]本专利技术涉及一种光刻机领域，具体是一种用于电子部件加工用光刻装置及方法。
技术介绍
[0002]光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
[0003]在光刻机的使用过程中，需要将待光刻的电子部件置于光刻机的下方，在批量生产的过程中，需要单独安排一个人去配合光刻机，向其中置放待光刻的电子部件，使得在人力资源方面上产生了一定的浪费，同时电子部件在进行光刻前，需要对其进行清理，避免其表面的灰尘影响光刻效果。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种用于电子部件加工用光刻装置及方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0006]一种用于电子部件加工用光刻装置，包括光刻机本体，所述光刻机本体上安装在底座上，还包括：
[0007]垂直安装于所述底座上的立轴，所述立...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于电子部件加工用光刻装置，包括光刻机本体(42)，所述光刻机本体(42)上安装在底座(1)上，其特征在于，还包括：垂直安装于所述底座(1)上的立轴(15)，所述立轴(15)上滑动设置有升降套筒(8)，所述升降套筒(8)的内壁上固定安装有凸起(20)，所述凸起(20)与设置在所述立轴(15)上的轨道(16)滑动配合，所述立轴(15)上的上端部还固定安装有横杆(17)，所述横杆(17)与吸附组件适配，所述吸附组件通过联板(9)与所述升降套筒(8)固定连接，且所述吸附组件与设置在所述底座(1)上的承接组件适配；所述底座(1)上还设置有动力组件，所述动力组件同安装在所述底座(1)上的往复组件连接，所述往复组件可驱使所述升降套筒(8)在所述立轴(15)上运动，所述动力组件还连接设置在所述底座(1)上的传输组件；所述传输组件的上部设置有用于对电子部件进行清理的送风组件，所述送风组件通过安装架(28)与所述底座(1)连接。2.根据权利要求1所述的一种用于电子部件加工用光刻装置，其特征在于，所述吸附组件包括安装在所述联板(9)上的吸盘(11)，所述吸盘(11)与设置在所述联板(9)上的缸体(10)连接并导通，所述缸体(10)内滑动设置有密封塞(12)，所述密封塞(12)与贯穿所述缸体(10)设置的一号立杆(14)固定连接，所述一号立杆(14)与所述横杆(17)适配，且所述一号立杆(14)上套设有一号弹簧(13)，所述一号弹簧(13)的一端与所述缸体(10)连接，另一端与所述缸体(10)连接。3.根据权利要求1所述的一种用于电子部件加工用光刻装置，其特征在于，所述承接组件包括对称安装在所述底座(1)上的两个二号立杆(39)，所述二号立杆(39)上滑动设置有用于装载电子部件的承接台(40)，且在所述二号立杆(39)上套设有二号弹簧(41)，所述二号弹簧(41)的一端与所述承接台(40)连接，另一端与所述底座(1)连接。4.根据权利要求1所述的一种用于电子部件加工用光刻装置，其特征在于，所述动力组件包括固定安装在所述底座(1)上的一号驱动装置(2)，所述一号驱动装置(2)的输出轴通过传动链连接所述往复组件，且所述一号驱动装置(2)的输出轴与设置在所述底座(1)上的马耳他十字机芯结构连接，所述马耳他十字机芯结构通过一号皮带(23)连接设置在所述底座(1)上的锥齿轮组(24)，所述锥齿轮组(24)通过二号皮带(25)与所述传输组件连接。5.根据权利要求4所述的一种用于电子部件加工用光刻装置，其特征在于，所述马耳他十字机芯结构包括转动安装在所述底座(1)上并与所述一号驱动装置(2)的输出轴连接的主动轮(21)，所述主动轮(21)与转动安装在所述底座(1)上的从动轮(22)适配，所述从动轮(22)与所述一号皮带(23)连接。6.根据权利要求4所述的一种用于电子部件加工...
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