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本发明涉及一种用于电子部件加工用光刻装置及方法,包括光刻机本体，所述光刻机本体上安装在底座上，还包括安装于所述底座上的立轴，所述立轴上设置有升降套筒，所述升降套筒的内壁上固定安装有凸起，所述凸起与设置在所述立轴上的轨道滑动配合，所述立轴上的...
该专利属于杨留洋所有，仅供学习研究参考，未经过杨留洋授权不得商用。

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