气体环境下的石墨烯电输运性能检测方法技术

本发明专利技术的气体环境下的石墨烯电输运性能检测方法涉及一种多层石墨烯的电输运性能检测方法，目的是为了克服石墨烯受到空气中成分的影响，导致测量带有误差的问题，具体步骤如下：步骤一、在同一批次制造的多层石墨烯中切割得到多片设定尺寸的多层石墨烯样本，并在多层石墨烯样本的相邻层之间生成金属霍尔条，得到初始状态的石墨烯检测件；步骤二、将石墨烯检测件放置在真空室中，并将石墨烯检测件的金属霍尔条与电输运测量装置的检测端连接；步骤三、向真空室中通入实验气体，并通过电输运测量装置采集电输运性能参数，得到电输运性能变化曲线，完成石墨烯电输运性能的检测。完成石墨烯电输运性能的检测。完成石墨烯电输运性能的检测。

【技术实现步骤摘要】
气体环境下的石墨烯电输运性能检测方法


[0001]本专利技术涉及一种多层石墨烯的电输运性能检测方法。

技术介绍

[0002]石墨烯是一种理想的传感器材料，通常用于制成传感器，但正由于石墨烯的表现过于灵敏，其工作在自然环境中，会容易受到空气中成分的影响，从而容易导致石墨烯的电输运性能产生变化，而这一变化会导致石墨烯所制成的传感器在进行测量时带有误差。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是为了克服石墨烯受到空气中成分的影响，导致测量带有误差的问题，提供了一种气体环境下的石墨烯电输运性能检测方法。
[0004]本专利技术的气体环境下的石墨烯电输运性能检测方法，具体步骤如下：
[0005]步骤一、在同一批次制造的多层石墨烯中切割得到多片设定尺寸的多层石墨烯样本，并在多层石墨烯样本的相邻层之间生成金属霍尔条，得到初始状态的石墨烯检测件；
[0006]步骤二、将石墨烯检测件放置在真空室中，并将石墨烯检测件的金属霍尔条与电输运测量装置的检测端连接；
[0007]步骤三、向真空室中通入实验气体，并通过电输本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.气体环境下的石墨烯电输运性能检测方法，其特征在于，具体步骤如下：步骤一、在同一批次制造的多层石墨烯中切割得到多片设定尺寸的多层石墨烯样本，并在多层石墨烯样本的相邻层之间生成金属霍尔条，得到初始状态的石墨烯检测件；步骤二、将石墨烯检测件放置在真空室中，并将石墨烯检测件的金属霍尔条与电输运测量装置的检测端连接；步骤三、向真空室中通入实验气体，并通过电输运测量装置采集电输运性能参数，得到电输运性能变化曲线，完成石墨烯电输运性能的检测；所述电输运性能参数为石墨烯检测件的载流子浓度和少层石墨烯通道的载流子迁移率；所述实验气体为氮气、氧气、水蒸气和二氧化氮中的一种，或两种以上的组合。2.气体环境下的石墨烯电输运性能检测方法，其特征在于，还包括：步骤四、更换石墨烯检测件，且每次更换石墨烯检测件后返回执行步骤二～步骤三，得到多条电输运性能变化曲线；将多条电输运性能变化曲线进行拟合，得到拟合电输运性能变化曲线。3.根据权利要求1所述的气体环境下的石墨烯电输运性能检测方法，其特征在于，步骤三中，向真空室中通入实验气体，并通过电输运测量装置采集电输运性能参数的具体步骤如下：步骤311、将石墨烯检测件煺火至初始状态；步骤312、向真空室内通入氮气至标准大气压，并保持20～30min；同时每隔2min获得石墨烯检测件电输运参数；步骤313、向真空室内通入氧气，且氧气和氮气的体积比分别为20％和80％，并释放混合后氧气和氮气至标准大气压，保持20～30min；同时每隔2min获得石墨烯检测件电输运参数...

【专利技术属性】
技术研发人员：解伟誉，符琼月，
申请(专利权)人：海南大学，
类型：发明
国别省市：