膜形成方法和膜形成设备技术

一种用于在目标涂布材料上形成膜的膜形成方法，包括通过从多个排出头中的每一个排出液体来涂布目标涂布材料的涂布步骤，所述多个排出头布置在要输送的目标涂布材料的输送方向上，其中，在涂布步骤中，从多个排出头中的每一个排出的液体被施加到在输送方向上目标涂布材料上的不同位置。布材料上的不同位置。布材料上的不同位置。

【技术实现步骤摘要】
膜形成方法和膜形成设备


[0001]本公开涉及膜形成方法和膜形成设备。

技术介绍

[0002]在目标涂布材料上形成膜的膜形成方法是已知的。
[0003]公开了一种用于将涂布液涂布到基底(substrate)上的涂布方法，其中在基底的输送方向上设置多个喷墨头，并且涂布液的液滴分多个阶段排出(例如，参见专利文献1)。
[0004]引用文献列表
[0005]专利文献
[0006][专利文献1]日本未审查专利申请公开号2003
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275663

技术实现思路

[0007][技术问题][0008]然而，在专利文献1的方法中，喷墨头排出第一类型的涂布液和第二类型的涂布液，第一类型的涂布液在基底上形成第一层，而不同于第一类型的涂布液的第二类型的涂布液在第一层上形成第二层，因此对于要形成的膜的均匀性有改进的空间。
[0009]根据本公开，一目的是要改善要形成的膜的均匀性。
[0010][问题的技术方案][0011]根据本公开的一个方面的用于在目标(target)涂布材料上形成膜的膜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于在目标涂布材料上形成膜的膜形成方法，该方法包括：通过从多个排出头中的每一个排出液体来涂布目标涂布材料的涂布步骤，所述多个排出头布置在要输送的目标涂布材料的输送方向上，其中，在涂布步骤中，从多个排出头中的每一个排出的液体被施加到在输送方向上目标涂布材料上的不同位置。2.根据权利要求1所述的膜形成方法，其中，从所述多个排出头中的每一个排出的液体被施加到的目标涂布材料的区域基本上是均匀的。3.根据权利要求1或2所述的膜形成方法，其中，所述多个排出头中包括第一排出头和第二排出头，第二排出头设置在在输送方向上相对于第一排出头的下游，和其中，在第一排出头将液体施加到目标涂布材料上的时间点之后0.3秒或更长时间，第二排出头将液体施加到目标涂布材料上。4.根据权利要求1至3中任一项所述的膜形成方法，其中，在所述多个排出头中，排出头越靠近输送方向上的下游侧，排出的液滴的尺寸越大。5.根据权利要求1至4中任一项所述的膜形成方法，其中，所述目标涂布材料包括非渗透性基底和设置在该非渗透性基底上的层，该层以颗粒作为主要组分。6.根据权利要求1至5中任一项所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：户田直博，
申请(专利权)人：株式会社理光，
类型：发明
国别省市：