【技术实现步骤摘要】
一种新型清洗槽外接加热装置
[0001]本技术涉及半导体制作
，具体为一种新型清洗槽外接加热装置。
技术介绍
[0002]在半导体制程领域中，腐蚀、清洗工艺在整个工艺流程中是必不可少的环节，在制程中为控制腐蚀稳定性及加强清洗效果，多数需要配备一些外接式加热装置，来起到温控作用。
[0003]但传统的外接式加热器大都为石英加热管，而加热器在作业过程是需要浸泡在化剂槽内进行使用的，在产品作业过程存在撞击、承重等外力因素，会对使用的石英加热管造成损害，损坏后因化剂反应，对作业的产品损害较大。
[0004]基于此，本技术设计了一种新型清洗槽外接加热装置，以解决上述问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种新型清洗槽外接加热装置，以解决上述技术问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型清洗槽外接加热装置，包括：主壳体；所述主壳体外侧壁固定连接有副壳体，所述主壳体与副壳体底部均为开口状，所述副壳体顶部开设有集线孔，所述主壳体内壁设置有第一托板以及第二托板...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种新型清洗槽外接加热装置，包括：主壳体(1)；其特征在于，所述主壳体(1)外侧壁固定连接有副壳体(2)，所述主壳体(1)与副壳体(2)底部均为开口状，所述副壳体(2)顶部开设有集线孔(5)，所述主壳体(1)内壁设置有第一托板(9)以及第二托板(10)，所述第一托板(9)与第二托板(10)外壁依次水平开设有三个分隔孔(18)，所述集线孔(5)内设置有第一特氟龙管(6)，所述第一特氟龙管(6)一端被分隔为三条连接端，所述第一特氟龙管(6)的三条连接端分别贯穿第一托板(9)的分隔孔(18)并固定连接有螺旋状第二特氟龙管(7)，所述第二特氟龙管(7)远离第一特氟龙管(6)连接端的一端固定连接有终端块(12)，所述终端块(12)一侧外壁与主壳体(1)的内壁固定连接，所述第一特氟龙管(6)与第二特氟龙管(7)内均设置有电热丝(8)。2.根据权利要求1所述的一种新型清洗槽外接加热装置，其特征在于：所述终端块(12)外壁固定连接有限位片(13)，所述限位片(13)外壁与主壳体(1)...
【专利技术属性】
技术研发人员：曲艳凯，洪石生，车陆，
申请(专利权)人：厦门吉顺芯微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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