【技术实现步骤摘要】
用于扫描电镜的位移台机构
[0001]本技术涉及精密仪器领域，尤其是涉及一种用于扫描电镜的位移台机构。
技术介绍
[0002]相关技术中，扫描电镜设置有精密的位移台结构，位移台上设置有负载台，利用步进电机与滚珠丝杠的配合可以控制负载台的连续移动，这样的位移台结构可实现单个方向精准定位，但是在负载台在丝杠上件反向移动时，丝杠由于自身的结构原因存在一定的空回行程，空回行程导致位移台具有一定的误差，导致扫描电镜在生成图像后存在断面或缺口，这样的位移台结构精密度低，无法满足扫描电镜的工作需求。
技术实现思路
[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术的一个目的在于提出了一种用于扫描电镜的位移台机构。根据本技术的位移台机构消除了滚珠丝杠组件在反向移动过程时的空回行程，提高了负载台移动的稳定性，进一步提高了负载台移动的精度。
[0004]根据本技术的位移台机构包括：工作台；负载台，所述负载台可移动地设置于所述工作台上；驱动机构和滚珠丝杠组件，所述驱动机构所输出的动力通过所述滚珠丝杠组件传...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于扫描电镜的位移台机构，其特征在于，包括：工作台(9)；负载台(13)，所述负载台(13)可移动地设置于所述工作台(9)上；驱动机构(1)和滚珠丝杠组件，所述驱动机构(1)所输出的动力通过所述滚珠丝杠组件传动至所述负载台(13)以控制所述负载台(13)移动；弹性件(7)，所述弹性件(7)张紧连接于所述负载台(13)与所述工作台(9)之间。2.根据权利要求1所述的用于扫描电镜的位移台机构，其特征在于，所述工作台(9)上设置有第一轨道(3)，所述负载台(13)在第一方向上沿所述第一轨道(3)移动。3.根据权利要求2所述的用于扫描电镜的位移台机构，其特征在于，所述滚珠丝杠组件包括：丝杠(4)，所述丝杠(4)与所述驱动机构(1)相连；螺母(11)，所述螺母(11)与所述负载台(13)相连并与所述丝杠(4)配合，所述螺母(11)在所述丝杠(4)的驱动下沿第一方向移动。4.根据权利要求3所述的用于扫描电镜的位移台机构，其特征在于，所述工作台(9)的两端设置有用于支撑所述丝杠(4)转动的轴承(5)。5.根据权利要求4所述的用于扫描电镜的位移台机构，其特征在于，所述驱动机构(1)构...
【专利技术属性】
技术研发人员：张俊，吴天成，潘结春，
申请(专利权)人：国仪量子合肥技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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