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本实用新型公开了一种用于扫描电镜的位移台机构，位移台机构包括：工作台；负载台，所述负载台可移动地设置于所述工作台上；驱动机构和滚珠丝杠组件，所述驱动机构所输出的动力通过所述滚珠丝杠组件传动至所述负载台以控制所述负载台移动；弹性件，所述弹性件...
该专利属于国仪量子（合肥）技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国仪量子（合肥）技术有限公司授权不得商用。

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