一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板，属于PVD载板技术领域。本实用新型专利技术包括呈箱体结构的载板本体，载板本体的内部开设有空腔，且载板本体的顶面为承载板，承载板沿宽度方向均匀间隔设置有多个放片区，其中载板本体的内部空腔内设置有加热丝，加热丝与放片区的位置相对应，且加热丝的两端分别连接有正电极和负电极，正电极和负电极也安装于载板本体的内部空腔内。针对上述问题，本实用新型专利技术提供了一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板，能够使载板保持一定的温度，防止水汽冷凝吸附在载板上，有效杜绝水汽进入工艺腔体，大幅度提高电池片的性能，稳定产线效率。稳定产线效率。稳定产线效率。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板


[0001]本技术属于PVD载板
，更具体地说，涉及一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板。

技术介绍

[0002]目前，光伏行业中，通用的PVD载板基本是不绣钢耐高温载板，在生产中，载板作为辅料，起到托起基片运行的作用。但在过程使用中会累积过后的ITO，ITO是一种N型材料，是一种疏松多孔的结构，ITO的厚度达到一定程度，容易吸附空气中的水汽。在实际生产过程中，因停机PM或者维修时，PVD载板恢复常温，载板携带大量水汽，进入工艺腔体，影响电池性能，同时可能带来靶材结瘤等问题。因此，急需设计一款适用于太阳能电池的自热式PVD载板，能够有效杜绝载板携带水汽进入工艺腔体。
[0003]经检索，关于太阳能电池硅片臭氧处理的相关技术应用已有部分专利公开，如中国专利申请号为：2013107506359，公开了一种PVD去气加热腔，包括腔体、多块反射板、支撑装置、加热装置与冷却装置；腔体起屏蔽作用，包括侧壁、第一密封盖与第二密封盖；侧壁围成中空筒，第一密封盖与第二密封盖分别置于中空筒的两端开口上，围成一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板，其特征在于：包括呈箱体结构的载板本体（100），载板本体（100）的内部开设有空腔，且载板本体（100）的顶面为承载板（110），承载板（110）沿宽度方向均匀间隔设置有多个放片区（111），其中载板本体（100）的内部空腔内设置有加热丝（200），加热丝（200）与放片区（111）的位置相对应，且加热丝（200）的两端分别连接有正电极（210）和负电极（220），正电极（210）和负电极（220）也安装于载板本体（100）的内部空腔内。2.根据权利要求1所述的一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板，其特征在于：每个放片区（111）沿长度方向均匀间隔设置有多个放片位（101），其中加热丝（200）呈矩形波状结构，且加热丝（200）穿插设置在相邻放片位（101）之间。3.根据权利要求2所述的一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板，其特征在于：载板本体（100）的长度方向两端设置有与载板本体（100）的内部空腔相连通的连接板（120），连接板（120）包括与载板本体（100）相连的支撑条（123），支撑条（123）沿竖直方向延伸，且支撑条（123）内部安装有正电极（210）或负电极（220）。4.根据权利要求3所述的一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板，其特征在于：所述支撑条（123）的上下两端分别向外侧水平延伸设置有上连接条（122）和下连接条（124），上连接条（122）、下连接条（124）与支撑条（123）共同构成了U型槽（121）。5.根据权利要求1
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4任一一项所述的一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏科胜，薛建峰，王金，徐磊，
申请(专利权)人：通威太阳能安徽有限公司，
类型：新型
国别省市：